1.一种可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机，其特征在于，包括：腔体、晶舟盒、抽真空设备、气密门组件及电浆发射源，所述腔体内形成一腔室，所述腔体具有朝上的进入口，所述晶舟盒内承载着多片晶圆，所述晶舟盒是由所述进入口下沉进入所述腔室内，所述气密门组件安装于所述腔体上且位于所述进入口处，用以开闭且维持所述腔室的密封，所述电浆发射源与所述抽真空设备分别连通所述腔室，所述抽真空设备使所述腔室产生真空并维持所述腔室所需的真空度，所述电浆发射源对所述腔室内发射感应耦合式电浆，以轰击去除所述晶舟盒及所述晶圆表面的污染物。
2.根据权利要求1所述的可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机，其特征在于，所述晶舟盒相对两侧各具有开口，其中一个所述开口对应着所述电浆发射源。
3.根据权利要求1所述的可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机，其特征在于，所述腔室相对的两边分别连通着所述电浆发射源与所述抽真空设备。
4.根据权利要求2所述的可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机，其特征在于，所述腔室内放置多个并排的所述晶舟盒，每个所述晶舟盒的其中一个所述开口皆对应着所述电浆发射源。
5.根据权利要求1所述的可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机，其特征在于，所述气密门组件包括两滑轨、两滑块、门板及驱动装置，所述两滑轨安装于所述腔体上于所述进入口两侧位置，两所述滑块可在相对应的所述滑轨上滑行且安装于所述门板两侧，所述驱动装置带动所述门板产生线性往复移动，由移动所述门板开启或密封所述腔室。