一种转移装置及显示背板的制作方法

文档序号:22784806发布日期:2020-11-03 23:47阅读:168来源:国知局

本实用新型涉及半导体显示技术领域,尤其涉及一种转移装置及显示背板。



背景技术:

目前,microled(microlightemittingdiode,微型发光二极管)面临的一个关键技术就是要通过巨量转移将microled芯片转移到显示背板上,常用的microled转移方式有转移头转移和液体自助装,使用转移头转移将microled从第一基板上拾取后,放置于背板,这种方法常常受到转移头尺寸的影响,尤其是当microled的尺寸很小时,使用该方法难度较大,而使用液体自组装方式,由于液体环境较复杂,在液体中microled受力情况复杂,受影响因素多,比较难以控制。

因此,现有技术还有待改进。



技术实现要素:

鉴于上述现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种转移装置及显示背板,旨在解决现有的转移装置不适用于小尺寸微元件的转移,且转移过程复杂,影响因素较多。

一种转移装置,包括:

容器;

气浮平台,设置在所述容器的底部;

伸缩支架,设置在所述容器的侧壁上;

第一基板,设置在所述伸缩支架上,所述第一基板上设置有待转移的微元件;

解胶光源,设置在所述容器的外部,且与所述第一基板正对设置;

背板,设置在与所述伸缩支架相对的所述容器的另一侧壁上,用于接收从所述第一基板上剥离的所述微元件;

其中,所述伸缩支架用于推动所述第一基板使剥离后的所述微元件获得朝向所述背板的运动速度,所述气浮平台用于使剥离后所述微元件悬浮转移至所述背板。

可选的,所述背板上设置有用于容置所述微元件的槽口,所述槽口内设置有便于所述微元件进入到所述槽口的粘接件。

可选的,所述粘接件的高度小于所述槽口的高度。

可选的,所述容器的底部设置有用于调整所述微元件在所述槽口内的朝向的滚压组件,所述滚压组件包括伸缩杆和滚轮;

所述伸缩杆的一端固定在所述容器的底部,所述伸缩杆的另一端与所述滚轮连接。

可选的,所述微元件上设置有便于所述微元件悬浮稳定的导流体。

可选的,所述导流体包括圆锥体、角锥体或棱锥体。

可选的,所述解胶光源包括激光发射器以及用于驱动所述激光发射器移动的轨道机构。

可选的,所述的转移装置还包括控制器,所述气浮平台、所述伸缩支架和所述解胶光源均与所述控制器相连。

可选的,所述容器包括真空容器。

一种显示背板,包括任意一项所述的背板。

本实用新型提供了一种转移装置及显示背板,其中,所述转移装置包括:容器;设置在所述容器的底部的气浮平台,设置在所述容器的侧壁上的伸缩支架;设置在所述伸缩支架上且载有待转移的微元件的第一基板,设置在所述容器的外部的用于将微元件从所述第一基板上剥离的解胶光源,以及设置在与所述伸缩支架相对的所述容器的另一侧壁上的用于接收剥离后的所述微元件的背板。本实用新型的转移装置由于采用了伸缩支架推动,配合气浮平台来悬浮转移微元件,通过控制气浮平台的气流量可以实现不同的扩晶间距,且转移过程不受微元件尺寸的限制,转移过程简单。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的转移装置的结构示意图;

图2为本实用新型一实施例的背板的结构示意图;

附图标记说明:

10-容器;20-气浮平台;30-伸缩支架;40-第一基板;50-微元件;60-解胶光源;70-背板;80-激光发射器;90-轨道机构;100-槽口;110-粘接件;120-滚压组件;130-伸缩杆;140-滚轮;150-导流体。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型,下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是,本实用新型可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施方式。相反地,提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。

除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本实用新型。

参见图1,本实用新型提供的一种转移装置,包括:

容器10;

气浮平台20,设置在所述容器10的底部;

伸缩支架30,设置在所述容器10的侧壁上;

第一基板40,设置在所述伸缩支架30上,所述第一基板40上设置有待转移的微元件50;本技术方案中的微元件指的是尺寸范围在微米级别以内或以下的微型半导体元件,比如,在某些实施方式中,所述微元件包括microled或miniled,本技术方案在此不做限定。

解胶光源60,设置在所述容器10的外部,且与所述第一基板40正对设置,用于将所述微元件50从所述第一基板40上剥离;在另一种实施方式中,解胶光源60也可以设置在所述容器10的内部,比如设置在所述第一基板40未生长有微元件50的表面的后侧。

背板70,设置在与所述伸缩支架30相对的所述容器10的另一侧壁上,用于接收从所述第一基板40上剥离的所述微元件50。

其中,所述伸缩支架30用于推动所述第一基板40使剥离后的所述微元件50获得朝向所述背板70的运动速度,所述气浮平台20用于使剥离后所述微元件50悬浮转移至所述背板70。

在某些实施方式中,所述容器10包括真空容器。气浮平台20、伸缩支架30、设置有待转移的微元件50的第一基板40、背板60均设置在真空容器内,在真空的环境中,第一基板40上剥离的微元件50的水平运动的阻力更小,便于剥离后的微元件50悬浮转移到背板60上,在另一些实施方式中,所述容器10还包括常压容器。

在某些实施方式中,所述气浮平台20包括气孔板以及通过管道与所述气孔板相连的气体发射装置。气孔板内设置有气流通道,气孔板表面均匀分布有若干的气孔,气孔与气流通道相连,气孔按一定的速度均匀向上发射气体,其中,气体可以采用氮气、氩气等不活泼气体,且在容器10的顶部对应设置有排气口。

在某些实施方式中,伸缩支架30一侧的容器10的侧壁采用透明材料制作,比如玻璃、亚克力等,在第一基板40后方的容器10外部放置有解胶光源60,参见图1,所述解胶光源50包括激光发射器80以及用于驱动所述激光发射器80移动的轨道机构90。轨道机构90包括导轨,设置在导轨上的滑块以及用于驱动所述滑块运动的电机,激光发射器70安装在所述滑块上。在另一些实施方式中,所述轨道机构90可以采用机械手或丝杆滑块电机等替换。

在某些实施方式中,轨道机构90中的导轨竖向设置,激光发射器70在轨道机构90上移动时,是从导轨的下方逐渐移动到导轨的上方,对应的第一基板40下方的微元件先剥离,第一基板40上方的微元件50后剥离,这样由于下方微元件50的下落速度将大于上方微元件50的下落速度,可以使得上下微元件50之间的间距变大,完成扩晶的过程。

参见图2,在某些实施方式中,所述背板70上设置有用于容置所述微元件50的槽口100,所述槽口100内设置有便于所述微元件50进入到所述槽口100的粘接件110。在某些实施方式中,所述背板70上设置有光刻胶层,通过曝光蚀刻的方式在所述光刻胶层上形成所述槽口100,所述粘接件110包括粘接棒或粘接块,在粘接棒或粘接块的表面涂覆有黏结胶层,微元件50悬浮进入对应槽口100后会被粘附固定在粘接棒或粘接块上,在某些实施方式中,所述槽口内涂覆有粘胶,以便于将微元件50粘附到槽口100内。

在某些实施方式中,所述粘接件110的高度小于所述槽口100的高度。如此,微元件50是进入到所述槽口100后被粘接固定,且微元件50的宽度也要小于粘接件110与槽口100之间的间隔,这样便于后续对微元件50的朝向进行调整。

参见图1,在某些实施方式中,所述容器10的底部设置有用于调整所述微元件50在所述槽口100内的朝向的滚压组件120,所述滚压组件120包括伸缩杆130和滚轮140,所述伸缩杆130的一端固定在所述容器10的底部,所述伸缩杆130的另一端与所述滚轮140连接。微元件50被粘接件110粘接捕获后,可以直接通过伸缩杆130推动滚轮140将微元件50压入槽空100内(即微元件50没有设置电极的一侧与槽口100内表面粘接),从而提高转移效率。

参见图1,在某些实施方式中,所述微元件50上设置有便于所述微元件50悬浮稳定的导流体150。为了能够使得微元件50在气浮平台20的气流中稳定运动,微元件50的表面通过涂覆光刻胶曝光的方式形成有导流体150,在某些实施方式中,所述导流体150包括圆锥体、角锥体或棱锥体,因为圆锥体、角锥体或棱锥体受气流面稳定,所以表面设置有导流体150的微元件50可以稳定下落,在所述微元件为microled或miniled的实施中,所述microled或miniled可以为倒装led,此时,所述导流体设置于倒装led带有电极的一面上,这样在转移过程中通过控制,使得粘接件结合led时靠近led的电极侧,这样led压倒以后电极侧将向上,可以少进行一次转移过程。

在某些实施方式中,所述的转移装置还包括控制器,所述气浮平台20、所述伸缩支架30和所述解胶光源60均与所述控制器相连。所述控制器包括上位机,比如电脑,在电脑内设置有转移装置的控制软件,如此本技术方案的转移装置可以通过控制器实现自动化控制。

在某些实施方式中,本实用新型气浮平台20的气流控制包括三个阶段:第一阶段,气浮平台20表面的气流速度较小,提供的气浮力<重力,微元件50向下做匀加速运动,由于第一基板40下方的微元件50先较第一基板40上方的微元件50先剥离,所以第一基板40下方的微元件50下落速度将大于第一基板40上方的微元件50下落速度,使得上下微元件50的间距变大,通过调节气流速度使上下微元件50间距使其与背板70上的槽口间距对应,从而完成扩晶过程;第二阶段,气流速度较大,提供的气浮力>重力,使得微元件50逐渐减慢下落速度,直至下落速度为0;第三阶段,气流速度中等,提供的气浮力=重力,使微元件50垂直方向保持静止,从而微元件50水平悬浮移动进入背板70的槽口100。

在以上三个过程中,因为在水平方向微元件50未受到任何力的影响,故其在水平方向始终保持匀速运动,故微元件50的运动时间由第一基板40到背板70的距离及微元件50的释放速度决定,可以通过调节第一基板40到背板70的距离和微元件50的释放速度来使得微元件50的运动时间满足微元件50垂直方向上速度变化的所需时间,同时要兼顾效率。

此外,本实用新型还提供了一种显示背板,包括任意一项所述的背板。采用本实用新型转移装置制作背板,微元件的转移速度快,背板上微元件的排列精度高,这样背板具有更好的显示效果。

综上所述,本实用新型提供了一种转移装置及显示背板,其中,所述转移装置包括:容器;设置在所述容器的底部的气浮平台,设置在所述容器的侧壁上的伸缩支架;设置在所述伸缩支架上且载有待转移的微元件的第一基板,设置在所述容器的外部的用于将微元件从所述第一基板上剥离的解胶光源,以及设置在与所述伸缩支架相对的所述容器的另一侧壁上的用于接收剥离后的所述微元件的背板。本实用新型的转移装置由于采用了伸缩支架推动,配合气浮平台来悬浮转移微元件,通过控制气浮平台的气流量可以实现不同的扩晶间距,且转移过程不受微元件尺寸的限制,转移过程简单。

应当理解的是,本实用新型的应用不限于上述的举例,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

当前第1页1 2 
当前第1页1 2 
网友询问留言 留言:0条
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1