一种用于自动键合机的载具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体的说是涉及一种用于自动键合机的载具。


背景技术：

2.微电子组装中，引线键合作为一门复杂的组装和制造工艺技术，是提高通用微电子器件、专用集成电路、薄厚膜混合集成电路、多芯片组装、系统集成电路等微电子电路性能的关键技术。在键合过程中常用到自动键合机，将待加工的器件固定在夹具上，利用自动键合机的键合头对待加工器件进行键合，形成产品。但是，自动键合机的键合头的竖向行程距离是固定的，一般是15mm左右，高度较高或较低的待加工器件很难适应键合头的高度，需要多次手动调整夹具的位置；而且传统的夹具的上表面为平面，只能放置底部为平面的待加工器件，不能放置底部多样式、多结构的待加工器件。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是提供一种夹具的高度可调节，且夹具可更换，适应底部形状不同的待加工器件的用于自动键合机的载具。
4.为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：
5.一种用于自动键合机的载具，其包括：l型支架、设置在所述支架上的调高装置、以及设置在所述调高装置上部且与所述调高装置可拆卸连接的夹具，所述夹具的上表面与待加工器件的形状相适配；
6.所述支架包括水平板和竖直板；所述竖直板靠近所述水平板的一侧设有两条导轨；
7.所述调高装置包括动力机构和与所述动力机构连接的升降块，所述升降块背部设有与两条所述导轨相配合的导条；所述夹具可拆卸设置在所述升降块的上部，所述动力机构用于驱动所述升降块上下运动，从而调节所述夹具的高度。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述动力机构包括电机、螺纹杆、滑块和两根连接杆；所述螺纹杆水平设置，其一端与所述电机的输出轴连接，另一端与所述竖直板连接，所述滑块与所述螺纹杆螺纹连接，所述滑块的两侧壁上分别铰接两根所述连接杆的一端，两根所述连接杆的另一端与所述升降块的两侧壁铰接；
9.所述电机用于驱动所述螺纹杆旋转，使所述滑块沿远离或靠近所述竖直板的方向运动，通过所述连接杆将动力传递给所述升降块，带动所述升降块上下运动。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述水平板的端部设有与所述竖直板平行的固定板，所述电机安装在所述固定板上。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述水平板上部开设有凹槽，所述滑块底部设置有与所述凹槽相配合的凸台。
12.作为本实用新型的进一步改进，其还包括开关按钮，所述开关按钮用于控制所述
电机的启停以及转动方向。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述升降块上部设有安装板，所述安装板与所述夹具通过螺栓连接。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述升降块远离所述竖直板的一侧设有加热块，所述加热块内部设有加热管。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述夹具的上表面为平面。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述夹具的上表面设有与所述待加工器件相配合的沟槽。
17.作为本实用新型的进一步改进，所述升降台底部设有让位槽。
18.采用上述技术方案所产生的有益效果在于：
19.本实用新型设置支架和调高装置，将夹具可拆卸安装在调高装置上部，对底部结构不同的待加工器件键合加工时，更换不同的夹具；通过动力机构驱动升降块上下运动，带动升降块上的夹具上下运动，达到调节夹具高度的目的，使夹具的高度与键合头的高度相适应。
20.由于夹具可拆卸设置在升降块上部，工作人员可根据待加工器件的底部形状以及结构选择适合的夹具安装在所述调高装置上，键合形成多样式、多结构的产品，因此，能放置底部结构不同的待加工器件。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
22.图1是本实用新型的立体结构示意图。
23.图2是图1中a处放大图。
24.图3是本实用新型调高装置的立体结构示意图。
25.其中：1支架、2夹具、3水平板、4竖直板、5导轨、6动力机构、7升降块、8导条、9电机、10螺纹杆、11滑块、12连接杆、13固定板、14凹槽、15凸台、16安装板、17加热块、18让位槽。
具体实施方式
26.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合具体实施例对实用新型进行清楚、完整的描述，需要理解的是，术语“中心”、“竖向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.如图1-图3所示的一种用于自动键合机的载具，其包括：l型支架1、设置在所述支架1上的调高装置、以及设置在所述调高装置上部且与所述调高装置可拆卸连接的夹具2，所述夹具2的上表面与待加工器件的形状相适配；所述支架1包括水平板3和竖直板4；所述
竖直板4靠近所述水平板3的一侧设有两条导轨5；所述调高装置包括动力机构6和与所述动力机构6连接的升降块7，所述升降块7背部设有与两条所述导轨5相配合的导条8；所述夹具2可拆卸设置在所述升降块7的上部，所述动力机构6用于驱动所述升降块7上下运动，从而调节所述夹具2的高度。
28.导轨5与升降块7背部的导条8配合，对升降块7的运动方向进行限位，防止升降块7左右晃动，动力机构6带动升降块7升降，从而调节与升降块7连接的夹具2的高度，适应键合头的高度；由于夹具2可拆卸设置在所述升降块7上部，工作人员可根据待加工器件的底部形状以及结构选择适合的夹具2安装在所述调高装置上，键合形成多样式、多结构的产品。进一步地，所述夹具2的上表面为平面；或，所述夹具2的上表面设有与所述待加工器件相配合的沟槽；尤其是在键合加工两侧带有连接片的封装器件时，更适合使用沟槽式夹具。
29.在本实施例中，所述动力机构6包括电机9、螺纹杆10、滑块11和两根连接杆12；所述螺纹杆10水平设置，其一端与所述电机9的输出轴连接，另一端与所述竖直板4连接，所述滑块11与所述螺纹杆10螺纹连接，所述滑块11的两侧壁上分别铰接两根所述连接杆12的一端，两根所述连接杆12的另一端与所述升降块7的两侧壁铰接；所述电机9用于驱动所述螺纹杆10旋转，使所述滑块11沿远离或靠近所述竖直板4的方向运动，通过所述连接杆12将动力传递给所述升降块7，带动所述升降块7上下运动。当然，电机9也可替换成其他旋转组件，例如旋钮，通过手动正反转动旋钮使滑块11运动，通过连接杆12将动力传递给升降块7，带动升降块7上下运动，达到调节升降块7上夹具2高度的目的。
30.且，为便于电机9的安装，所述水平板3的端部设有与所述竖直板4平行的固定板13，所述电机9安装在所述固定板13上；为便于螺纹杆10的安装，所述升降台底部设有让位槽18；为防止滑块11左右移动，对其进行限位，所述水平板3上部开设有凹槽14，所述滑块11底部设置有与所述凹槽14相配合的凸台15；为便于控制电机9的转动，从而控制夹具2的调节高度，本载具还包括开关按钮，所述开关按钮用于控制所述电机9的启停以及转动方向。
31.进一步地，所述升降块7远离所述竖直板4的一侧设有加热块17，所述加热块17内部设有加热管。所述夹具2的四角上设置沉孔，所述升降块7上部设有安装板16，所述安装板16四角上设有与所述沉孔相对应的螺纹孔，所述安装板16与所述夹具2通过螺栓连接。
32.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。