技术特征：
1.一种用于硅片清洗的槽式湿法花篮，其特征在于，包括：花篮端板(1)，两个所述花篮端板(1)间隔设置；花篮侧杆组(2)，所述花篮端板(1)的两侧均设有两个所述花篮侧杆组(2)，两个所述花篮侧杆组(2)中，其中一个位于所述花篮端板(1)的上部，另一个位于所述花篮端板(1)的下部；所述花篮侧杆组(2)均包括两个间隔设置的花篮杆(21)，位于所述花篮端板(1)同侧的四个所述花篮杆(21)中，中间相邻的两个所述花篮杆(21)之间的间距为a，a满足关系式：a≥40mm，其余两个所述花篮杆(21)之间的间距为b，b满足关系式：b≥120mm；所述花篮杆(21)上均设有多个沿其长度方向间隔设置的卡齿(211)；加固侧杆(3)，所述花篮端板(1)的两侧均设有多个加固侧杆(3)，所述加固侧杆(3)均固定在所述花篮端板(1)之间。2.根据权利要求1所述的槽式湿法花篮，其特征在于，相邻两个所述花篮杆(21)上的所述卡齿(211)沿所述花篮杆(21)的长度方向交错设置。3.根据权利要求2所述的槽式湿法花篮，其特征在于，相邻两个所述花篮杆(21)中相邻的两个所述卡齿(211)之间形成一个硅片卡槽。4.根据权利要求3所述的槽式湿法花篮，其特征在于，所述卡齿(211)的高度为c，c满足关系式：3mm≤c≤8mm。5.根据权利要求4所述的槽式湿法花篮，其特征在于，所述卡齿(211)均形成为宽度逐渐减小的锥状齿，同一所述花篮侧杆组(2)中的两个所述花篮杆(21)上的所述卡齿(211)的锥底相对设置。6.根据权利要求5所述的槽式湿法花篮，其特征在于，所述卡齿(211)的横截面积沿着远离所述花篮杆(21)的方向逐渐减小。7.根据权利要求1所述的槽式湿法花篮，其特征在于，所述花篮杆(21)的直径为d，d满足关系式：5mm≤d≤10mm。8.根据权利要求1所述的槽式湿法花篮，其特征在于，同一所述花篮侧杆组(2)中的两个所述花篮杆(21)之间均设有一个所述加固侧杆(3)，所述加固侧杆(3)位于所述花篮杆(21)的外侧。9.根据权利要求8所述的槽式湿法花篮，其特征在于，所述加固侧杆(3)与和其相邻的所述花篮杆(21)之间设有间隙；所述间隙的高度为e，e满足关系式：2mm≤e≤7mm。10.根据权利要求1
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9任一项所述的槽式湿法花篮，其特征在于，所述槽式湿法花篮还包括花篮底托杆(4)，多个所述花篮底托杆(4)均固定在所述花篮端板(1)之间并位于所述花篮端板(1)的底部。