一种用于硅片清洗的槽式湿法花篮的制作方法

文档序号:25745515发布日期:2021-07-06 19:09阅读:428来源:国知局
一种用于硅片清洗的槽式湿法花篮的制作方法

1.本实用新型涉及光伏设备技术领域,尤其涉及一种用于硅片清洗的槽式湿法花篮。


背景技术:

2.目前的槽式湿法花篮为了避免硅片粘片,多采用增加压杆的方式,或者采用花篮侧杆朝上的侧放花篮的方式,来改善清洗过程中硅片发生粘片。但是增加压杆或者侧放花篮的方式都会有花篮杆处于花篮上方,如此就会产生花篮杆水印,花篮杆引起的水印会造成很多el不良片,不能满足电池制作要求,尤其是高效率电池,对于清洗和硅片洁净要求更高。
3.另外,为了提高清洗效果和降低清洗成本,目前槽式清洗机更倾向于使用喷淋的水洗方式来替代溢流加鼓泡的水洗方式。喷淋水洗不仅可以节约用水,且可以产生更大的冲洗力,其清洗效果更好。但是,现有的槽式湿法花篮的花篮杆直径都比较大,用于喷淋水洗时花篮杆会阻挡水线而造成清洗不良。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种用于硅片清洗的槽式湿法花篮,不仅可以避免硅片在清洗过程中产生粘片,且清洗效果更好,减少因花篮而产生的el不良片。
5.为实现上述目的,提供以下技术方案:
6.一种用于硅片清洗的槽式湿法花篮,包括:
7.花篮端板,两个所述花篮端板间隔设置;
8.花篮侧杆组,所述花篮端板的两侧均设有两个所述花篮侧杆组,两个所述花篮侧杆组中,其中一个位于所述花篮端板的上部,另一个位于所述花篮端板的下部;所述花篮侧杆组均包括两个间隔设置的花篮杆,位于所述花篮端板同侧的四个所述花篮杆中,中间相邻的两个所述花篮杆之间的间距为a,a满足关系式:a≥40mm,其余两个所述花篮杆之间的间距为b,b满足关系式:b≥120mm;所述花篮杆上均设有多个沿其长度方向间隔设置的卡齿;
9.加固侧杆,所述花篮端板的两侧均设有多个加固侧杆,所述加固侧杆均固定在所述花篮端板之间。
10.可选地,相邻两个所述花篮杆上的所述卡齿沿所述花篮杆的长度方向交错设置。
11.可选地,相邻两个所述花篮杆中相邻的两个所述卡齿之间形成一个硅片卡槽。
12.可选地,所述卡齿的高度为c,c满足关系式:3mm≤c≤8mm。
13.可选地,所述卡齿均形成为宽度逐渐减小的锥状齿,同一所述花篮侧杆组中的两个所述花篮杆上的所述卡齿的锥底相对设置。
14.可选地,所述卡齿的横截面积沿着远离所述花篮杆的方向逐渐减小。
15.可选地,所述花篮杆的直径为d,d满足关系式:5mm≤d≤10mm。
16.可选地,同一所述花篮侧杆组中的两个所述花篮杆之间均设有一个所述加固侧杆,所述加固侧杆位于所述花篮杆的外侧。
17.可选地,所述加固侧杆与和其相邻的所述花篮杆之间设有间隙;所述间隙的高度为e,e满足关系式:2mm≤e≤7mm。
18.可选地,所述槽式湿法花篮还包括花篮底托杆,多个所述花篮底托杆均固定在所述花篮端板之间并位于所述花篮端板的底部。
19.与现有技术相比,本实用新型的有益效果:
20.本实用新型的槽式湿法花篮,包括花篮端板、花篮侧杆组和加固侧杆,两个花篮端板间隔设置;花篮端板的两侧均设有两个花篮侧杆组,两个花篮侧杆组中,其中一个位于花篮端板的上部,另一个位于花篮端板的下部;花篮侧杆组均包括两个间隔设置的花篮杆,位于花篮端板同侧的四个花篮杆中,中间相邻的两个花篮杆之间的间距为a,a满足关系式:a≥40mm,其余两个花篮杆之间的间距为b,b满足关系式:b≥120mm;花篮杆上均设有多个沿其长度方向间隔设置的卡齿;花篮端板的两侧均设有多个加固侧杆,加固侧杆均固定在花篮端板之间。一侧的花篮杆由两个增加到四个,且增加了花篮杆之间的间距,使得固定硅片的支点间距更大,保证硅片不会粘片。花篮杆的直径由12

20mm降低到5

10mm,避免花篮杆阻挡喷淋水线,且花篮杆的位置避开花篮的中心位置,使直喷的喷淋水线直接冲洗在硅片上,清洗效果更好。花篮杆上的卡齿的高度尺寸由10

16mm降低到3

8mm,虽然增加了花篮杆的数量,但卡齿印反而会更小更轻微。同时增加了加固侧杆,避免因减小花篮杆直径而造成花篮强度变低。
附图说明
21.图1为本实用新型实施例中槽式湿法花篮的主视图;
22.图2为本实用新型实施例中槽式湿法花篮的俯视图;
23.图3为本实用新型实施例中槽式湿法花篮的剖视图。
24.附图标记:
25.1、花篮端板;
26.2、花篮侧杆组;21、花篮杆;211、卡齿;
27.3、加固侧杆;
28.4、花篮底托杆。
具体实施方式
29.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
30.因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
31.应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
32.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
33.在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
36.如图1

3所示,本实施例在于提供一种用于硅片清洗的槽式湿法花篮,包括花篮端板1、花篮侧杆组2、加固侧杆3和花篮底托杆4,两个花篮端板1间隔设置;花篮端板1的两侧均设有两个花篮侧杆组2,两个花篮侧杆组2中,其中一个位于花篮端板1的上部,另一个位于花篮端板1的下部;花篮侧杆组2均包括两个间隔设置的花篮杆21,位于花篮端板1同侧的四个花篮杆21中,中间相邻的两个花篮杆21之间的间距为a,a满足关系式:a≥40mm,其余两个花篮杆21之间的间距为b,b满足关系式:b≥120mm;花篮杆21上均设有多个沿其长度方向间隔设置的卡齿211;花篮端板1的两侧均设有多个加固侧杆3,加固侧杆3均固定在花篮端板1之间。多个花篮底托杆4均固定在花篮端板1之间并位于花篮端板1的底部。
37.需要说明的是,位于槽式湿法花篮同侧的花篮杆21的数量由两个增加到四个,且增加了花篮杆21之间的间距,使得固定硅片的支点间距更大,保证硅片不会粘片。在本实施例中,花篮杆21的间距由原来的65

100mm,调整到位于最上方的花篮杆21与位于最下方的花篮杆21之间的间距为120

150mm,中间相邻的两个花篮杆21之间的间距为40

60mm。花篮杆21的间距可以根据硅片尺寸再做调整,在其他实施例中,如182mm的硅片,位于最上方的花篮杆21与位于最下方的花篮杆21之间的间距可以做到130

170mm;中间相邻的两个花篮杆21之间的间距可以做到60

90mm;如210mm的硅片,位于最上方的花篮杆21与位于最下方的花篮杆21之间的间距可以做到150

200mm,中间相邻的两个花篮杆21之间的间距可以做
到80

110mm。
38.进一步地,花篮杆21的直径为d,d满足关系式:5mm≤d≤10mm。花篮杆21的直径由12

20mm降低到5

10mm,避免花篮杆21阻挡喷淋水线,两个花篮侧杆组2,一个位于槽式湿法花篮的上部,另一个位于槽式湿法花篮的下部,使得花篮杆21的位置避开花篮的中心位置,进而使直喷的喷淋水线直接冲洗在硅片上,清洗效果更好。
39.可选地,卡齿211的高度为c,c满足关系式:3mm≤c≤8mm。进一步地,相邻两个花篮杆21上的卡齿211沿花篮杆21的长度方向交错设置。相邻两个花篮杆21中相邻的两个卡齿211之间形成一个硅片卡槽。花篮杆21上的卡齿211的高度尺寸由10

16mm降低到3

8mm,并交错设置,在不增大卡齿211间距的情况下减小了硅片与卡齿211的接触面积,增大了硅片的活动空间,进而提升了药液均匀性,虽然增加了花篮杆21的数量,但卡齿印反而会更小更轻微。
40.可选地,同一花篮侧杆组2中的两个花篮杆21之间均设有一个加固侧杆3,加固侧杆3位于花篮杆21的外侧。加固侧杆3的直径为f,f满足关系式:7mm≤f≤11mm。增加加固侧杆3,避免因减小花篮杆21直径而造成花篮强度变低。
41.可选地,加固侧杆3与和其相邻的花篮杆21之间设有间隙;间隙的高度为e,e满足关系式:2mm≤e≤7mm。加固侧杆3与花篮杆21之间保留足够的空隙,使得加固侧杆3也不会影响喷淋清洗效果,使得槽式湿法花篮不仅可以应用于溢流加鼓泡的水洗方式,也可以应用于喷淋的水洗方式。
42.可选地,如图2结合图1所示,卡齿211均形成为宽度逐渐减小的锥状齿,同一花篮侧杆组2中的两个花篮杆21上的卡齿211的锥底相对设置。进一步地,卡齿211的横截面积沿着远离花篮杆21的方向逐渐减小。在保证硅片稳定性的前提下,进一步减小了卡齿211与硅片的接触面积,从而减小卡齿印,减少不良品。
43.注意,上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本实用新型不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明,但是本实用新型不仅仅限于以上实施例,在不脱离本实用新型构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。
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