技术特征：
1.一种化学液浓度控制系统，其特征在于，包括：储液模块，所述储液模块用于储存化学液，所述化学液中溶有至少一种化学品；至少一条化学品输送管路，用于向所述储液模块输送所述化学品，所述化学品输送管路上设置有流量计；浓度测量模块，用于测量所述化学液的浓度；流量控制模块，所述流量控制模块分别与所述流量计、所述浓度测量模块连接，用于根据所述流量计测得的当前流量数据、所述浓度测量模块测得的当前浓度数据和目标浓度控制所述化学品输送管路的流量。2.根据权利要求1所述的化学液浓度控制系统，其特征在于，所述流量控制模块包括控制器和与所述化学品输送管路一一对应的流量控制开关，所述流量控制开关设置在对应的所述化学品输送管路上；所述控制器分别与所述流量计、所述浓度测量模块、所述流量控制开关电连接，用于根据各所述化学品输送管路的当前流量数据、所述当前浓度数据和目标浓度确定目标开度数据，所述目标开度数据包括各所述流量控制开关分别对应的目标开度，并根据所述目标开度数据控制各所述流量控制开关的开度。3.根据权利要求2所述的化学液浓度控制系统，所述控制器包括数值比对单元和与所述数值比对单元电连接的执行单元，所述数值比对单元分别与所述流量计、所述浓度测量模块连接，用于根据所述当前流量数据、所述当前浓度数据和预设对应关系输出目标开度数据至所述执行单元，所述执行单元用于根据目标开度数据向各所述流量控制开口输出对应的目标控制信号以控制所述流量控制开关的开度。4.根据权利要求1所述的化学液浓度控制系统，其特征在于，包括两条化学品输送管路，两条所述化学品输送管路用于输送不同化学品。5.根据权利要求1所述的化学液浓度控制系统，其特征在于，所述化学品输送管路上还设置有流通控制开关，所述流通控制开关用于控制所述化学品输送管路的流通状态。6.根据权利要求1所述的化学液浓度控制系统，其特征在于，还包括腔室和供给管路，所述供给管路连通所述储液模块和所述腔室。7.根据权利要求6所述的化学液浓度控制系统，所述浓度测量模块设置在所述供给管路或者所述储液模块。8.根据权利要求1所述的化学液浓度控制系统，其特征在于，所述化学品输送管路的材料为聚四氟乙烯材质。9.一种清洗装置，其特征在于，包括权利要求1
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8任一项所述的化学液浓度控制系统。
技术总结
本实用新型实施例公开了一种化学液浓度控制系统和清洗装置，该化学液浓度控制系统包括储液模块，储液模块用于储存化学液，化学液中溶有至少一种化学品；至少一条化学品输送管路，用于向储液模块输送化学品，化学品输送管路上设置有流量计；浓度测量模块，用于测量化学液的浓度；流量控制模块，流量控制模块分别与流量计、浓度测量模块连接，用于根据流量计测得的当前流量数据、浓度测量模块测得的当前浓度数据和目标浓度控制化学品输送管路的流量。本实用新型实施例通过流量控制模块根据当前流量数据、当前浓度数据和目标浓度控制化学品输送管路的流量以使清洗晶片的化学液始终维持在目标浓度，进而保证对晶片完全且适度清洗。洗。洗。
技术研发人员：李嘉伦 杨昱霖 许忠晖 苏财宝
受保护的技术使用者：泉芯集成电路制造（济南）有限公司
技术研发日：2020.11.02
技术公布日：2021/9/13