多用途晶料舟升降台的制作方法

1.本实用新型涉及晶片加工技术领域，尤其涉及多用途晶料舟升降台。


背景技术：

2.目前生产过程中需在自动涂布机/自动显影机作业4寸与4.33寸两种尺寸材料，由于4.33寸晶料舟比4寸料舟大，目前升降台只能作业4寸不能作业4.33的尺寸，因此通过改造升级升降台面，使得两种料舟可以在自动涂布机/自动显影机共用。


技术实现要素：

3.本实用新型针对以上问题，提供了一种结构紧凑、使用简便、对种规格通用的多用途晶料舟升降台。
4.本实用新型的技术方案是：包括底板、若干限位块和若干调节块；
5.若干所述限位块对称固定设置在所述底板的顶部，与四寸的晶料舟一对支腿的内侧相适配；
6.若干所述调节块通过连接件固定设置在所述底板的顶部，位于所述限位块的外侧；
7.若干所述调节块分别呈矩形结构，与四点三三寸的晶料舟一对支腿的内侧相适配。
8.所述限位块设有四个，呈三角形结构设置。
9.所述调节块包括三个调节块一和一个调节块二。
10.所述调节块内设有锁紧机构；
11.所述锁紧机构包括锁杆臂和螺杆；
12.所述锁杆臂的一端设有弧形部一，另一端设有弧形部二；
13.所述锁杆臂的中部与调节块铰接，通过所述锁杆臂的旋转，使弧形部一或弧形部二与晶料舟连接；
14.所述螺杆通过螺纹可调节设置在所述调节块上，通过所述螺杆在所述调节块上的伸缩量调节所述锁杆臂旋转角度。
15.所述弧形部一上设有若干凹槽一。
16.所述弧形部一上设有若干凹槽二。
17.本实用新型包括底板、若干限位块和若干调节块；若干限位块对称固定设置在底板的顶部，与四寸的晶料舟一对支腿的内侧相适配；若干调节块通过连接件固定设置在底板的顶部。当采用四寸晶料舟加工时，将其放置在四个限位块的外侧，即四个限位块位于四寸的晶料舟的一对支腿的内侧，并与之贴合。当采用4.33寸晶料舟进行加工制备时，将其放置于四个调节块的外侧，即四个调节块的外侧面与支腿的内侧贴合，晶料舟的设置方向与4寸晶料舟设置方向一致。调节块上设有与螺栓适配的通孔，通孔呈椭圆形结构，便于调节块水平方向移动。当使用四寸晶料舟时，可将其向右侧方向移动，与4寸晶料舟的外侧部贴合
卡紧，当使用4.33寸晶料舟时，向左侧方向移动与4.33寸晶料舟的支腿的内侧面贴合卡紧。本实用新型具有结构紧凑、使用简便、对种规格通用等特点。
附图说明
18.图1是本实用新型的结构示意图，
19.图2是调节块一的结构示意图，
20.图3是图2的侧视图，
21.图4是调节块二的结构示意图，
22.图5是图4的侧视图，
23.图6是锁杆臂连接状态结构示意图；
24.图中1是底板，2是限位块，3是调节块，31是调节块一，32是调节块二，4是锁紧机构，41是锁杆臂，411是弧形部一，412是弧形部二，42是螺杆。
具体实施方式
25.本实用新型如图1
‑
6所示，多用途晶料舟升降台，包括底板1、若干限位块2和若干调节块3；
26.若干所述限位块2对称固定设置在所述底板1的顶部，与四寸的晶料舟一对支腿的内侧相适配；
27.若干所述调节块3通过连接件固定设置在所述底板1（底板1为限位块2与调节块3提供底部支撑）的顶部（放置晶料舟的一面设定为顶部或顶面），位于所述限位块2的外侧（限位块2朝向调节块3的一侧设定为外侧）；
28.若干所述调节块3分别呈矩形结构，与四点三三寸的晶料舟一对支腿的内侧相适配。
29.当采用四寸晶料舟加工时，将其放置在四个限位块2的外侧，即四个限位块2位于四寸的晶料舟的一对支腿的内侧，并与之贴合，晶料舟的支腿呈长条形结构，以图1方向为例，竖向设置在限位块2的外侧。
30.当采用4.33寸晶料舟进行加工制备时，将其放置于四个调节块3的外侧，即四个调节块3的外侧面与支腿的内侧贴合，晶料舟的设置方向与4寸晶料舟设置方向一致。
31.进一步优化，调节块3上设有与螺栓适配的通孔，通孔呈椭圆形结构，便于调节块3水平方向（以图1中横向方向设定为水平方向）移动。当使用四寸晶料舟时，可将其向右侧方向移动，与4寸晶料舟的外侧部贴合卡紧，当使用4.33寸晶料舟时，向左侧方向移动与4.33寸晶料舟的支腿的内侧面贴合卡紧。
32.所述限位块2设有四个，呈三角形结构设置。
33.所述调节块3包括三个调节块一31和一个调节块二32。
34.所述调节块内设有锁紧机构4；
35.所述锁紧机构4包括锁杆臂41和螺杆42；
36.所述锁杆臂41的一端设有弧形部一411，另一端设有弧形部二412；
37.所述锁杆臂41的中部与调节块铰接，通过所述锁杆臂41的旋转，使弧形部一411或弧形部二412与晶料舟连接；
38.所述螺杆42通过螺纹可调节设置在所述调节块上，通过所述螺杆42在所述调节块上的伸缩量调节所述锁杆臂41旋转角度。
39.如图6所示，通过螺杆42向下方向移动，促使锁杆臂41的弧形部一411向右下方运动，弧形部二412向左上方运动，与晶料舟的支腿接触压紧。
40.所述弧形部一411上设有若干凹槽一。
41.所述弧形部一411上设有若干凹槽二。本案中通过设置凹槽一与凹槽二，提高与支腿接触时的摩擦力，进一步提升晶料舟安装的稳定性。