一种多功能晶元烘烤设备的制作方法

本发明涉及半导体器件生产技术领域，尤其涉及一种多功能晶元烘烤设备。

背景技术：

晶元即是指晶圆，是制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。集成电路晶圆生产是在晶圆表面上和表面内制造出半导体器件的一系列生产过程，在该生产过程中，多个阶段需要对晶圆进行加热处理。

市场上现有的晶元烘烤装置大多功能较为单一，难以在晶元烘烤过程中进行调节，容易发生烘烤过程中烘烤不均匀的情况，难以根据实际情况调整晶元与加热机构间的距离，难以全面快速均匀加热，使用起来很不灵活。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本发明提供了一种多功能晶元烘烤设备，解决了市场上现有的晶元烘烤装置难以在晶元烘烤过程中进行调节，功能较为单一的问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种多功能晶元烘烤设备，包括烘烤箱，所述烘烤箱内部设有空腔，所述空腔内壁底面中部固定安装有双轴电机，所述双轴电机两侧输出端均固定连接有转轴，且转轴端部通过轴承与空腔内壁转动连接，所述转轴表面固定套接有第一链轮，所述第一链轮表面啮合有链条，所述链条内壁顶部啮合有第二链轮，所述第二链轮左侧面和右侧面中部固定插接有传动辊，且传动辊一端通过轴承与空腔内壁转动连接，所述空腔内壁与烘烤箱内壁贯通开设有第一转动槽，且第一转动槽内壁通过轴承与传动辊表面转动连接，所述传动辊端部固定连接有第一液压推杆，所述第一液压推杆输出端固定连接有固定盒，所述固定盒内壁底面固定安装有第二液压推杆，所述第二液压推杆输出端固定连接有连接杆，所述固定盒一侧壁贯通开设有滑槽，且滑槽内壁与连接杆表面滑动连接，所述连接杆端部和固定盒侧面底部均固定连接有夹紧板，所述夹紧板表面固定连接有夹紧垫，所述夹紧垫表面搭接有晶元本体，所述烘烤箱顶面中部固定安装有电机，所述电机输出端固定连接有螺纹柱，所述烘烤箱顶面贯通开设有第二转动槽，且第二转动槽内壁通过轴承与螺纹柱表面转动连接，所述螺纹柱表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套，左侧面和右侧面均固定连接有限位杆，所述限位杆端部固定连接有限位块，所述烘烤箱内壁左侧顶部和烘烤箱内壁右侧顶部均开设有限位槽，且限位槽内壁与限位块表面滑动连接，所述螺纹套底面固定连接有固定块，所述固定块底面固定安装有加热机构，所述烘烤箱底面固定连接有支撑块，所述烘烤箱正面左侧和正面右侧均铰接有活动门，所述活动门正面嵌设有观察窗，所述活动门正面固定连接有把手，所述烘烤箱正面右侧设有控制面板。

优选的，所述夹紧垫表面开设有防滑槽。

优选的，所述夹紧垫采用氟橡胶材质制成。

优选的，所述加热机构采用电热丝加热。

优选的，所述第一链轮、链条和第二链轮的数量均为两个，且两个第一链轮、链条和第二链轮以烘烤箱正面竖直中心线为对称轴对称分布。

优选的，所述支撑块的数量为四个，且四个支撑块分别位于烘烤箱底面近四角处。

优选的，所述滑槽为长方形通槽，所述连接杆为长方形棱柱状结构。

优选的，所述限位槽为长方形凹槽，且限位块的规格与限位槽相适配。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、该多功能晶元烘烤设备，通过第二液压推杆、连接杆、夹紧板和夹紧垫配合对晶元本体进行夹持，通过加热机构进行烘烤，通过电机驱动螺纹柱转动，带动螺纹套、固定块和加热机构升降，从而调节与晶元本体间的距离，从而实现了便于对晶元烘烤过程中进行调节的目标，达到了便于根据实际情况调节晶元与加热机构间距离的效果，避免了加热温度过高或过低的情况发生，有效提升了烘烤效果，使得烘烤过程更加灵活。

2、该多功能晶元烘烤设备，通过双轴电机驱动转轴、第一链轮、链条、第二链轮、传动辊转动，从而带动第一液压推杆转动，即可带动晶元本体转动，从而调整晶元本体与加热机构之间的角度，从而实现了便于对晶元进行全面均匀烘烤的效果，避免了晶元表面各区域温度出现差异的情况，进一步提升了烘烤效果。

附图说明

图1为本发明结构正剖图；

图2为本发明a处结构放大图；

图3为本发明结构正视图；

图4为本发明防滑槽结构示意图。

图中：1烘烤箱、2空腔、3双轴电机、4转轴、5第一链轮、6链条、7第二链轮、8传动辊、9第一转动槽、10第一液压推杆、11固定盒、12第二液压推杆、13连接杆、14滑槽、15夹紧板、16夹紧垫、17晶元本体、18电机、19螺纹柱、20第二转动槽、21螺纹套、22限位杆、23限位块、24限位槽、25固定块、26加热机构、27支撑块、28活动门、29观察窗、30把手、31控制面板、32防滑槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：参照图1-4，一种多功能晶元烘烤设备，包括烘烤箱1，烘烤箱1内部设有空腔2，空腔2内壁底面中部固定安装有双轴电机3，双轴电机3两侧输出端均固定连接有转轴4，且转轴4端部通过轴承与空腔2内壁转动连接，转轴4表面固定套接有第一链轮5，第一链轮5表面啮合有链条6，链条6内壁顶部啮合有第二链轮7，第一链轮5、链条6和第二链轮7的数量均为两个，且两个第一链轮5、链条6和第二链轮7以烘烤箱1正面竖直中心线为对称轴对称分布，第二链轮7左侧面和右侧面中部固定插接有传动辊8，且传动辊8一端通过轴承与空腔2内壁转动连接，空腔2内壁与烘烤箱1内壁贯通开设有第一转动槽9，且第一转动槽9内壁通过轴承与传动辊8表面转动连接，传动辊8端部固定连接有第一液压推杆10，第一液压推杆10输出端固定连接有固定盒11，固定盒11内壁底面固定安装有第二液压推杆12，第二液压推杆12输出端固定连接有连接杆13，固定盒11一侧壁贯通开设有滑槽14，且滑槽14内壁与连接杆13表面滑动连接，滑槽14为长方形通槽，连接杆13为长方形棱柱状结构，连接杆13端部和固定盒11侧面底部均固定连接有夹紧板15，夹紧板15表面固定连接有夹紧垫16，夹紧垫16采用氟橡胶材质制成，并且夹紧垫16表面开设有防滑槽32，通过设置防滑槽32，使得对于晶元本体17的触压更加紧密，防止烘烤过程中晶元本体17发生掉落，夹紧垫16表面搭接有晶元本体17，烘烤箱1顶面中部固定安装有电机18，电机18输出端固定连接有螺纹柱19，烘烤箱1顶面贯通开设有第二转动槽20，且第二转动槽20内壁通过轴承与螺纹柱19表面转动连接，螺纹柱19表面螺纹连接有螺纹套21，螺纹套21，左侧面和右侧面均固定连接有限位杆22，限位杆22端部固定连接有限位块23，烘烤箱1内壁左侧顶部和烘烤箱1内壁右侧顶部均开设有限位槽24，限位槽24为长方形凹槽，且限位块23的规格与限位槽24相适配，且限位槽24内壁与限位块23表面滑动连接，通过限位杆22、限位块23和限位槽24配合，避免螺纹套21发生转动，螺纹套21底面固定连接有固定块25，固定块25底面固定安装有加热机构26，加热机构26采用电热丝加热，烘烤箱1底面固定连接有支撑块27，支撑块27的数量为四个，且四个支撑块27分别位于烘烤箱1底面近四角处，通过设置四个支撑块27，使得装置放置更加稳定，烘烤箱1正面左侧和正面右侧均铰接有活动门28，活动门28正面嵌设有观察窗29，活动门28正面固定连接有把手30，烘烤箱1正面右侧设有控制面板31，该多功能晶元烘烤设备，通过第二液压推杆12、连接杆13、夹紧板15和夹紧垫16配合对晶元本体17进行夹持，通过加热机构26进行烘烤，通过电机18驱动螺纹柱19转动，带动螺纹套21、固定块25和加热机构26升降，从而调节与晶元本体17间的距离，从而实现了便于对晶元烘烤过程中进行调节的目标，达到了便于根据实际情况调节晶元与加热机构间距离的效果，避免了加热温度过高或过低的情况发生，有效提升了烘烤效果，使得烘烤过程更加灵活，通过双轴电机3驱动转轴4、第一链轮5、链条6、第二链轮7、传动辊8转动，从而带动第一液压推杆10转动，即可带动晶元本体17转动，从而调整晶元本体17与加热机构26之间的角度，从而实现了便于对晶元进行全面均匀烘烤的效果，避免了晶元表面各区域温度出现差异的情况，进一步提升了烘烤效果。

在使用时：通过两侧的第一液压推杆10驱动固定盒11相互靠近，将晶元本体17置于夹紧板15之间，通过第二液压推杆12驱动连接杆13、夹紧板15和夹紧垫16下降，从而对晶元本体17进行夹持，通过加热机构26进行烘烤，通过电机18驱动螺纹柱19转动，带动螺纹套21升降，螺纹套21带动限位杆22、限位块23升降，同时螺纹套21带动固定块25和加热机构26升降，从而调节加热机构26与晶元本体17间的距离，通过双轴电机3驱动转轴4、第一链轮5、链条6、第二链轮7、传动辊8转动，从而带动第一液压推杆10转动，即可带动晶元本体17转动，从而调整晶元本体17与加热机构26之间的角度。

综上所述，该多功能晶元烘烤设备，通过第二液压推杆12、连接杆13、夹紧板15和夹紧垫16配合对晶元本体17进行夹持，通过加热机构26进行烘烤，通过电机18驱动螺纹柱19转动，带动螺纹套21、固定块25和加热机构26升降，从而调节与晶元本体17间的距离，从而实现了便于对晶元烘烤过程中进行调节的目标，达到了便于根据实际情况调节晶元与加热机构间距离的效果，避免了加热温度过高或过低的情况发生，有效提升了烘烤效果，使得烘烤过程更加灵活，通过双轴电机3驱动转轴4、第一链轮5、链条6、第二链轮7、传动辊8转动，从而带动第一液压推杆10转动，即可带动晶元本体17转动，从而调整晶元本体17与加热机构26之间的角度，从而实现了便于对晶元进行全面均匀烘烤的效果，避免了晶元表面各区域温度出现差异的情况，进一步提升了烘烤效果，解决了市场上现有的晶元烘烤装置难以在晶元烘烤过程中进行调节，功能较为单一的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。