1.一种perc太阳能电池的制备方法，按制绒、扩散、激光se、去背面psg、碱刻蚀抛光、去正面psg、退火、氧化铝、正面沉积减反射膜、背面激光开槽、丝网印刷、烧结的工艺进行，其特征在于：在激光se后首先进行链式氧化，然后进行臭氧氧化，最后再进行去背面psg及后续步骤，链式氧化为在激光se中进行磷掺杂的面镀一层氧化膜，氧化膜厚度控制在10-100nm,温度控制在500-800℃，臭氧氧化为在链式氧化产生氧化膜后通入臭氧，加强正面保护效果，臭氧浓度控制在10-100ppm。
2.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：硅片制绒、清洗并烘干后，减重控制在0.3-0.7g，反射率控制在9-13%。
3.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：扩散为磷扩散，扩散后方阻控制在90-150ω/□，结深控制在100-100nm。
4.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：激光se后方阻控制在50-80ω/□。
5.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：碱刻蚀抛光时，减重控制在0.2-0.5g，背面反射率控制在35-60%。
6.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：退火时，退火温度控制在600-900℃，氧化膜厚度控制在3-20nm。
7.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：氧化铝为在硅片表面镀双面氧化铝，氧化铝膜厚控制在2-20nm，氧化铝折射率控制在1.6-1.68。
8.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：正面沉积减反射膜时，氮化硅的折射率控制在60-85nm，折射率控制在1.95-2.27，钝化膜厚度控制在80-200nm。
9.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：背面激光开槽时，光斑大小在20-45um。
10.根据权利要求1所述的一种perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：烧结时，烧结温度为300-960℃。