1.一种微电子元器件的大规模转移装置,包括支撑平台(7),其特征在于,所述支撑平台(7)上设置有y轴直线运动平台,所述y轴直线运动平台上活动设置有z轴直线运动平台,所述z轴直线运动平台的底端设置有转移头(3),所述转移头(3)的下表面设置有一层用于粘接微电子元器件(10)的粘性薄膜(4),所述粘性薄膜(4)上设置有多个粘黏凸起;
支撑平台(7)上设置有位于z轴直线运动平台下方的初始平台(8),所述初始平台(8)的顶面设置有用于承载微电子元器件(10)的源基底板(9),初始平台(8)的一侧设置有目标平台(6),所述目标平台(6)的顶面设置有带电路结构的接收基板(5)。
2.根据权利要求1所述的一种微电子元器件的大规模转移装置,其特征在于,所述转移头(3)与所述z轴直线运动平台的底端可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的一种微电子元器件的大规模转移装置,其特征在于,多个粘黏凸起的直径均为1微米-1000微米,高度为10微米-1000微米。
4.根据权利要求3所述的一种微电子元器件的大规模转移装置,其特征在于,所述粘性薄膜(4)的材料为改性聚二甲基硅氧烷、聚丙烯酸酯或聚乙酸乙烯酯。
5.根据权利要求1所述的一种微电子元器件的大规模转移装置,其特征在于,所述粘性薄膜(4)的材料为改性聚二甲基硅氧烷,粘性薄膜(4)的制备方法为:
s1:根据微电子元器件(10)的规格确定粘黏凸起的凸起形状、尺寸、排列方式及排列间距;
s2:通过光刻工艺将粘黏凸起的凸起形状、尺寸、排列方式及排列间距转印到硅片上形成带有微结构的硅阳膜;
s3:将硅阴膜上的微结构转印到聚二甲基硅氧烷上,成为聚二甲基硅氧烷阴膜;
s4:通过稀释剂对改性聚二甲基硅氧烷进行稀释,将稀释后的材料均匀喷涂在聚二甲基硅氧烷阴膜上;
s5:在90℃温度下,加热聚二甲基硅氧烷阴膜20min-30min,使改性聚二甲基硅氧烷为半凝固状态;
s6:在半凝固的改性聚二甲基硅氧烷表面放置玻璃片,在90℃温度下,加热10-20min至改性的聚二甲基硅氧烷凝固,从聚二甲基硅氧烷阴膜内取下凝固的薄膜,得到含粘黏凸起的粘性薄膜(4)。
6.根据权利要求5所述的一种微电子元器件的大规模转移装置,其特征在于,改性聚二甲基硅氧烷的制备方法为:将聚二甲基硅氧烷与乙氧基化的聚乙烯亚胺溶液按照10g:20-50ul的比例搅拌均匀后,抽真空得到改性聚二甲基硅氧烷。
7.根据权利要求5所述的一种微电子元器件的大规模转移装置,其特征在于,稀释剂为有机溶剂,包括正已烷、正十六烷、环己烷、甲苯、二甲苯或醋酸丁脂。
8.一种根据权利要求1-7任一所述的微电子元器件的大规模转移装置的转移方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1:y轴直线运动台(1)水平运动将转移头(3)运动至初始平台(8)上方,转移头(3)与源基底板(9)对齐,z轴直线运动台(2)向下移动,直到转移头(3)上粘性薄膜(4)的粘黏凸起与微电子元器件(10)接触后,z轴直线运动台(2)停止,微电子元器件(10)粘附在粘性薄膜(4)上;
步骤2:启动z轴直线运动台(2),z轴直线运动台(2)带动转移头(3)上移;粘性薄膜(4)带动微电子元器件(10)脱离源基底板(9);
步骤3:y轴直线运动台(1)带动转移头(3)和z轴直线运动台(2)运动至目标平台(6)正上方,z轴直线运动台(2)带动转移头(3)向下运动,直到粘性薄膜(4)上的微电子元器件(10)与带电路结构的接收基板(5)接触时,z轴直线运动台(2)停止;
步骤4:将微电子元器件(10)焊接固定在带电路结构的接收基板(5)上,微电子元器件(10)完成后,启动z轴直线运动台(2)带动转移头(3)脱离带电路结构的接收基板(5);
步骤5:重复步骤1~步骤4,实现微电子元器件(10)从源基底板(9)大规模转移固定至带电路结构的接收基板(5)上。