技术特征：
1.一种电极的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一基底；所述基底包括电池片和掩膜；所述掩膜包括基膜、以及粘附在所述基膜一侧上的胶层；所述胶层与所述电池片粘接在一起；在所述基底具有掩膜的表面沉积形成电极，并在形成电极的过程中，对所述掩膜持续的进行冷却处理和/或隔热处理；以及去除所述掩膜。2.根据权利要求1所述的电极的制作方法，其特征在于，在形成电极的过程中，所述掩膜的温度小于或等于所述胶层的耐受温度；对所述掩膜持续的进行冷却处理或隔热处理包括：对所述掩膜持续的进行冷却处理或隔热处理，保持所述掩膜的温度小于或等于所述胶层的耐受温度。3.根据权利要求2所述的电极的制作方法，其特征在于，所述胶层的耐受温度大于90℃；优选为90℃-150℃。4.根据权利要求1所述的电极的制作方法，其特征在于，在形成电极的过程中，保持所述掩膜的温度小于或等于60℃。5.根据权利要求1～4任一项所述的电极的制作方法，其特征在于，所述隔热处理为：在所述基底与沉积材料源之间设置隔热件。6.根据权利要求5所述的电极的制作方法，其特征在于，所述隔热件开设有供沉积材料通过的通孔，所述通孔的直径为10mm～200mm；并且所述隔热件相对所述基底间歇性移动，所述间歇性移动的间隔时间为0.1s～300s。7.根据权利要求5所述的电极的制作方法，其特征在于，所述隔热件为水冷式隔热件或陶瓷隔热件。8.根据权利要求1～4任一项所述的电极的制作方法，其特征在于，所述冷却处理为水冷或空气冷却。9.根据权利要求1～4任一项所述的电极的制作方法，其特征在于，所述胶层的材料为硅胶、亚克力胶、聚氨酯中的一种或多种。10.根据权利要求1～4任一项所述的电极的制作方法，其特征在于，所述沉积为溅射或蒸镀。11.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括权利要求1～10任一项所述的电极的制作方法。12.一种太阳能电池，其特征在于，采用权利要求11所述的太阳能电池的制作方法制作而成。
技术总结
本发明公开一种电极的制作方法、太阳能电池及其制作方法，涉及光伏技术领域，以在制作电极的过程中，确保掩膜的胶层保持较好的粘接性能和完整的图案形状。该电极的制作方法包括以下步骤：提供一基底；基底包括电池片和掩膜；掩膜包括基膜、以及粘附在基膜一侧上的胶层；胶层与电池片粘接在一起；在基底具有掩膜的表面沉积形成电极，并在形成电极的过程中，对掩膜持续的进行冷却处理或隔热处理。本发明提供的电极的制作方法、太阳能电池及其制作方法用于太阳能电池制造。于太阳能电池制造。于太阳能电池制造。
技术研发人员：何秉轩
受保护的技术使用者：隆基绿能科技股份有限公司
技术研发日：2021.09.10
技术公布日：2023/3/14