技术特征：
1.一种基板容器系统，其特征在于，包括：一容器主体，包括一顶面、与所述顶面相对的一底面，以及连接所述顶面与所述底面的一背板，所述容器主体具有一前开口及一后开口，所述前开口位于所述顶面与所述底面之间，用以供一基板通过，所述后开口位于所述背板上，与所述前开口相对，所述背板具有一第一高度，所述后开口具有小于所述第一高度的一第二高度；一过滤组件，覆盖于所述后开口；以及一后盖，用以与所述容器主体建立密封接合，所述后盖与所述容器主体间形成一导气通道，沿所述第一高度的方向延伸，所述后盖与所述过滤组件共同定义了一缓冲室，所述导气通道具有一出口，连接于所述缓冲室。2.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：所述第二高度为所述第一高度的10％至90％。3.如权利要求2所述的基板容器系统，其特征在于：所述第二高度为所述第一高度的10％至50％，且所述后开口位于邻近所述顶面处。4.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：所述过滤组件具有一气体释放面，所述气体释放面的面积大于所述后开口的面积，所述气体释放面具有平行于所述背板的一平面。5.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：所述过滤组件具有一气体释放面，所述气体释放面的面积大于所述后开口的面积，所述气体释放面具有与所述背板夹有一锐角的一平面。6.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：所述过滤组件具有一气体释放面，所述气体释放面的面积大于所述后开口的面积，所述气体释放面具有一波浪面。7.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：所述过滤组件具有一气体释放面，所述气体释放面的面积大于所述后开口的面积，所述气体释放面通过所述后开口朝向所述容器主体延伸，形成一弯曲轮廓。8.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：所述过滤组件具有一气体释放面，所述气体释放面的面积大于所述后开口的面积，所述气体释放面通过所述后开口朝向所述后盖延伸，形成一弯曲轮廓。9.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：所述后盖具有朝所述容器主体凸出的多个凸肋，用来抵接于所述过滤组件，所述凸肋为间隔配置以于其中形成多个凹槽，所述导气通道的所述出口至少包括所述凹槽。10.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：进一步包括一密封构件，具有一第一密封环部及一第二密封环部，所述第一密封环部布置在所述后盖与所述容器主体之间，所述第二密封环布置在所述过滤组件与所述容器主体之间。11.如权利要求1所述的基板容器系统，其特征在于：所述后盖包括一进气结构，弯曲地延伸在所述容器主体的所述底面下方，所述进气结构包括与所述底面相对并且面朝下的一进气端口，从而连接于一外部净化设备。12.如权利要求11所述的基板容器系统，其特征在于：进一步包括一气阀组件，用以供一净化气体通过，所述进气端口具有一连接结构，所述气阀组件经由所述连接结构连接至所述进气埠。
13.如权利要求12所述的基板容器系统，其特征在于：所述气阀组件包括一气阀主体以及一第一弹性材料，所述第一彈性材料设置于所述气阀主体的一侧，并且具有一翼片，当所述气阀组件组装在所述连接结构时，所述翼片发生形变，从而与所述连接结构建立密封接合。14.如权利要求13所述的基板容系统，其特征在于：所述气阀组件进一步包括一第二弹性材料，设置于所述气阀主体的另一侧，具有一对接面，用以供所述外部净化设备对接，从而形成密封接合。
技术总结
本发明公开了一种基板容器系统，包括容器主体、过滤组件以及后盖，容器主体包括顶面、与顶面相对的底面以及连接顶面与底面的背板，容器主体具有前开口及后开口，前开口位于顶面与底面之间，用以供基板通过，后开口位于背板，与前开口相对，背板具有第一高度，后开口具有小于第一高度的第二高度，过滤组件覆盖于后开口，后盖用以与容器主体建立密封接合，后盖与容器主体间形成导气通道沿第一高度的方向延伸，后盖与过滤组件共同定义了缓冲室，导气通道具有出口，连接于缓冲室。通过非整面方式提供净化气体，让内部空间在高度方向上具有不同的气体流速，避免门外气体带着灰尘、微粒或湿气等污染物进入容器主体内，维持洁净度以及减缓湿度回升。缓湿度回升。缓湿度回升。
技术研发人员：邱铭乾 庄家和 李国华 林书弘 夏浩刚
受保护的技术使用者：家登精密工业股份有限公司
技术研发日：2021.09.17
技术公布日：2022/1/14