一种转移装置、转移设备及转移方法与流程

1.本发明涉及机械设备技术领域，特别涉及一种转移装置、转移设备及转移方法。


背景技术：

2.micro/miniled液晶面板的生产过程中需要将大量微型电子元件(如：led晶片)从承载薄膜上转移到基板(衬底)上，承载薄膜通常为透明或半透明材料制成，并具有一定弹性，微型电子元件通常在承载薄膜上阵列排布。
3.现有技术中，微型电子元件粘贴在承载薄膜朝向基板的面上，通过微细顶针扎落的方式将微型电子元件从承载薄膜转移到基板(衬底)上。微型顶针扎落微型电子元件的过程需要高频、高速、高精度等特性，一般通过直线电机或旋转电机带动直线模组来驱动微型顶针。此种方法有如下不足：
4.(1)载体必须带动顶针往复运动，需要频繁加减速，而顶针自身及其载体一般为金属制造，组合体的质量会制约运动速度，从而限制led晶片转移的效率。
5.(2)由于频繁加减速，如果顶针载体为直线电机，需长时间保持大电流，如果顶针载体为旋转电机带动直线模组，则需要频繁挤压传动机构，这两种情况均容易导致顶针载体故障。
6.(3)晶片的扎落依靠顶针的撞击，长期高频撞击会导致顶针针尖损坏，而更换顶针不但会降低生产效率，还会增加生产成本。
7.(4)顶针载体设备损坏时，运动距离及速度不能精确控制，有极大风险损坏玻璃基板，从而造成不必要损失。


技术实现要素：

8.本发明提供了一种转移装置、转移设备及转移方法，能够改善通过微细顶针扎落的方式将微型电子元件从承载薄膜转移到基板上，组合体的质量制约顶针运动速度、顶针载体容易故障、顶针容易损坏的问题。
9.为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
10.本发明提供了一种转移装置，用于将目标基材转移至承载基材上，该转移装置包括：
11.第一管道，所述第一管道包括第一端和第二端，所述第一端用于与流体源连接；
12.喷嘴组件，所述喷嘴组件设于所述第一管道的第二端，用于向对应的所述目标基材或所述承载基材喷射流体；
13.开关组件，设于所述第一管道上，用于控制所述第一管道的通断。
14.本发明提供的转移装置包括第一管道、设于第一管道第二端的喷嘴组件以及设于第一管道上、用于控制第一管道通断的开关组件，喷嘴组件用于与开关组件配合，向对应的目标基材或目标基材承载体喷射流体，从而使得本发明提供的转移装置能够通过流体的作用，辅助目标基材转移至承载基材上。通过开关组件控制流体的通断来实现目标基材向承
载基材的转移，无载体带动顶针的往复运动，因而，不存在组合体的质量制约运动速度、顶针载体故障、顶针损坏的问题，能够使得目标基材向承载基材的转移更平稳、高效(亦即高频)、转移装置的使用寿命更长，更有利于节约成本；同时，流体的可塑性，能够降低甚至避免撞坏目标基材和承载基材，能够减少甚至避免目标基材和承载基材被破坏。
15.可选地，转移装置包括调压组件，所述第一管道的第一端与所述调压组件连接，所述调压组件用于与流体源连接。
16.可选地，所述开关组件包括开关阀。
17.可选地，所述开关组件与所述喷嘴组件之间的距离大于0且小于等于200mm。
18.可选地，转移装置包括第二管道和泄压组件，所述第二管道一端与所述第一管道位于所述喷嘴组件和所述开关组件之间的部位连通，一端与所述泄压组件连通。
19.可选地，所述泄压组件包括泄压阀。
20.可选地，所述泄压组件与所述喷嘴组件之间的距离大于0且小于等于200mm。
21.可选地转移装置还包括喷嘴连接管，所述喷嘴连接管一端与所述喷嘴组件中的流体喷出通道连通，另一端与所述第一管道连通。
22.可选地，转移装置包括与所述喷嘴连接管连接的喷嘴驱动部，所述喷嘴驱动部用于带动所述喷嘴连接管以及所述喷嘴组件沿第一方向、第二方向和第三方向运动；
23.其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。
24.可选地，所述喷嘴组件包括：
25.设有流体喷出通道的喷嘴；
26.内部形成有容纳腔的壳体，所述壳体具有与所述容纳腔连通的第一接口和第二接口，所述第一接口用于与外界流体管路连接，所述第二接口与所述喷嘴密封连接；
27.喷嘴启闭组件，设置于所述壳体的容纳腔中，用于控制所述流体喷出通道与所述容纳腔连通与否。
28.可选地，所述喷嘴启闭组件包括阀杆、阀杆驱动组件和阀杆复位组件，所述阀杆驱动组件用于带动所述阀杆远离所述喷嘴，以使所述流体喷出通道与所述容纳腔连通；
29.所述阀杆复位组件用于促使所述阀杆封堵所述流体喷出通道。
30.可选地，所述阀杆驱动组件包括线圈和铁磁性的驱动杆；
31.所述容纳腔包括用于容纳所述线圈的第一腔体和与所述第一接口、所述第二接口连通的第二腔体，所述线圈位于所述第一腔体中，所述驱动杆伸出过所述第一腔体，并与所述阀杆远离所述喷嘴的一端连接；
32.所述线圈通电时，能够使所述驱动杆带动所述阀杆向背离所述喷嘴的方向运动；所述线圈断电时，所述阀杆在所述阀杆复位组件的作用下复位，封堵所述流体喷出通道。
33.可选地，所述驱动杆靠近所述阀杆的一端设有翻边；
34.所述阀杆复位组件包括套设于所述驱动杆上，并位于所述翻边与所述第一腔体之间的弹性复位件；
35.所述线圈断电时，所述驱动杆在所述弹性复位件的作用下，带动所述阀杆复位，使所述阀杆封堵所述流体喷出通道。
36.可选地，所述容纳腔中，所述第一腔体与所述第二腔体之间设有至少两个环状密封部，所述至少两个环状密封部沿所述阀杆的长度方向间隔设置；
37.所述阀杆穿过各所述环状密封部的环孔。
38.可选地，喷嘴组件包括调节杆；
39.所述壳体远离所述喷嘴的一端设有调节孔，所述调节杆设置于所述调节孔中，并与所述驱动杆相对，且所述调节杆伸入所述调节孔的距离能够调节。
40.可选地，所述喷嘴组件为气体喷嘴组件。
41.本发明还提供一种转移设备，包括：用于承载目标基材的目标基材承载体、用于设置承载基材的承载基材安装体以及上述技术方案中提供的任意一种所述的转移装置，其中，所述目标基材承载体与所述承载基材安装体相对，且所述目标基材承载体用于设置所述目标基材的面朝向所述承载基材安装体；
42.所述转移装置用于减小所述目标基材与所述承载基材安装体之间的距离，以使所述目标基材转移至所述承载基材上。
43.本发明提供的转移设备通过上述转移装置减小目标基材承载体与承载基材安装体之间的距离，从而将目标基材转移至承载基材上，具体地，转移装置通过流体的作用，辅助目标基材转移至承载基材上。通过开关组件控制流体的通断来实现目标基材向承载基材的转移，无载体带动顶针的往复运动，因而，不存在组合体的质量制约运动速度、顶针载体故障、顶针损坏的问题，能够使得目标基材向承载基材的转移更平稳、高效、转移装置的使用寿命更长，更有利于节约成本；同时，流体的可塑性，能够降低甚至避免撞坏目标基材和承载基材，能够减少甚至避免目标基材和承载基材被破坏。
44.可选地，转移设备包括一个所述转移装置。
45.可选地，转移设备包括多个所述转移装置，各所述转移装置均设置于所述目标基材承载体背离所述承载基材安装体的一侧，各所述喷嘴组件均与所述目标基材承载体相对；
46.或者，各所述转移装置均设置于所述承载基材安装体背离所述目标基材承载体的一侧，各所述喷嘴组件均与所述承载基材安装体相对；
47.或者，所述目标基材承载体与所述承载基材安装体构成承载单元，各所述转移装置对称分布于所述承载单元的两侧，各所述喷嘴组件与对应的所述目标基材承载体或者所述承载基材安装体相对。
48.可选地，所述目标基材承载体为弹性承载体，所述弹性承载体朝向所述承载基材安装体的面具有粘性，用于粘接所述目标基材；
49.所述转移装置位于所述目标基材承载体背离所述承载基材安装体的一侧。
50.可选地，所述目标基材承载体为刚性承载体，所述刚性承载体朝向所述承载基材安装体的面具有粘性，用于粘接待转移件；
51.所述刚性承载体上具有粘接所述目标基材的粘接区，所述粘接区中设有流体通过孔，所述流体通过孔的尺寸小于所述粘接区的尺寸；
52.所述转移装置位于所述目标基材承载体背离所述承载基材安装体的一侧。
53.可选地，转移设备包括用于驱动所述目标基材承载体的第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述目标基材承载体运动，以改变所述目标基材所处的方位。
54.可选地，转移设备包括用于驱动所述承载基材安装体的第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述承载基材安装体运动，以改变所述承载基材所处的方位。
55.可选地，转移设备包括摄像组件，所述摄像组件用于确定所述目标基材承载体上的目标基材与所述承载基材的相对位置。
56.可选地，所述目标基材承载体为透明承载体或半透明承载体，所述摄像组件包括摄像头，所述摄像头位于所述目标基材承载体背离所述承载基材安装体的一侧。
57.可选地，所述摄像组件包括摄像头驱动部，所述摄像头驱动部与所述摄像头连接，用于驱动所述摄像头，改变所述摄像头与所述目标基材承载体上的各所述目标基材的相对位置。
58.本发明还提供一种使用上述转移设备的转移方法，该转移方法包括：
59.待转移的目标基材到位；
60.打开开关组件和喷嘴组件，使喷嘴组件向对应的目标基材或承载基材喷射流体。
61.本发明提供的转移方法通过喷嘴组件喷出的流体将目标基材转移至承载基材上，流体的可塑性，能够降低甚至避免撞坏目标基材和承载基材，能够减少甚至避免目标基材和承载基材被破坏。
附图说明
62.图1为本发明实施例提供的一种喷嘴组件的结构示意图；
63.图2为本发明实施例提供的一种转移装置的结构示意图；
64.图3为本发明实施例提供的一种转移设备处于第一工作状态时的结构示意图；
65.图4为本发明实施例提供的一种转移设备处于第二工作状态时的结构示意图；
66.图5为本发明实施例提供的一种转移设备处于第三工作状态时的结构示意图；
67.图6为本发明实施例提供的一种转移设备处于第四工作状态时的结构示意图；
68.图7为本发明实施例提供的一种转移设备处于第五工作状态时的结构示意图。
69.图标：100-目标基材；200-承载基材；300-目标基材承载体；400-承载基材安装体；1-第一管道；11-第一段；12-第二段；13-第三段；14-管路连接件；2-调压组件；3-开关组件；4-喷嘴组件；41-喷嘴；411-流体喷出通道；42-喷嘴连接管；43-喷嘴驱动部；44-壳体；441-第一接口；443-第二腔体；444-第一部；445-第二部；446-环状密封部；447-第一腔体；448-环状导向部；45-阀杆；46-阀杆驱动组件；461-线圈；462-驱动杆；463-翻边；47-阀杆复位组件；48-调节杆；49-控制线缆；5-第二管道；6-泄压组件；7-第一驱动组件；8-第二驱动组件；9-摄像头。
具体实施方式
70.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
71.本实施例提供的一种转移装置用于将目标基材100(例如：微型电子元件)转移至承载基材200(例如：玻璃基板)上，一种可选的实现方式中，如图2所示，该转移装置包括：
72.第一管道1，第一管道1包括第一端和第二端，第一端用于与流体源连接；
73.喷嘴组件4，喷嘴组件4设于第一管道1的第二端，用于向对应的目标基材100或承
载基材200喷射流体；
74.开关组件3，设于第一管道1上，用于控制第一管道1的通断。
75.本实施例提供的转移装置包括第一管道1、设于第一管道1第二端的喷嘴组件4以及设于第一管道1上、用于控制第一管道1通断的开关组件3，喷嘴组件4用于与开关组件3配合，向对应的目标基材100或目标基材承载体300喷射流体，从而使得本实施例提供的转移装置能够通过流体的作用，辅助目标基材100转移至承载基材200上。通过开关组件3控制流体的通断来实现目标基材100向承载基材200的转移，无载体带动顶针的往复运动，因而，不存在组合体的质量制约运动速度、顶针载体故障、顶针损坏的问题，能够使得目标基材100向承载基材200的转移更平稳、高效(亦即高频)、转移装置的使用寿命更长，更有利于节约成本；同时，流体的可塑性，能够降低甚至避免撞坏目标基材100和承载基材200，能够减少甚至避免目标基材100和承载基材200被破坏。
76.目标基材承载体300用于承载目标基材100。一种实现方式中，目标基材承载体300具有一定粘性且有一定弹性，可粘住目标基材100，防止其因重力而脱落，并能够在外力作用下朝向承载基材安装体400上的承载基材200拱起，从而实现目标基材100向承载基材200的转移。承载基材200上目标基材100贴合部位通过涂覆、点胶、焊锡或电镀等方式设有粘性层，并且该粘性层对目标基材100的粘结力略大于目标基材承载体300对目标基材100的粘结力，从而能够保证与目标基材承载体300分离的目标基材100牢固贴合在承载基材300上。
77.本实施例中提到的微型电子元件包括但不限于microled/miniled晶片。
78.为了使得喷嘴组件4喷出的流体的流速可以根据实际情况进行调节，同时使得喷嘴组件4喷出的流体的流速更为平稳，一种可选的实现方式中，转移装置包括调压组件，第一管道1的第一端与调压组件2连接，调压组件2用于与流体源连接。
79.具体设置上述调压组件2时，为了使得管道中流体压力达到所需压力、目标基材100向承载基材200的转移更平稳，一种可选的实现方式中，调压组件2包括恒压调压阀。
80.具体设置上述开关组件3时，一种可选的实现方式中，开关组件3包括开关阀。
81.转移装置可能用于多个目标基材100的连续转移，为了避免两个目标基材100转移的间隔中流体对目标基材承载体300的影响，一种可选的实现方式中，转移装置包括第二管道5和泄压组件6，第二管道5一端与第一管道1位于喷嘴组件4和开关组件3之间的部位连通，一端与泄压组件6连通。
82.具体地，第一管道1可以包括第一段11、第二段12和第三段13，第二段12、第三段13和第二管道5通过管路连接件14(例如：三通接头)连接，第一段11用于连接调压组件2和开关组件3，第二段12连接开关组件3和管路连接件14，第三段13连接管路连接件14和喷嘴组件4，第二管道5远离连接件的一端与泄压组件6连接。
83.第一段11、第二段12和第二管道5均可以软管。
84.一种具体实现方式中，泄压组件6可以包括泄压阀。
85.泄压阀在目标基材100与承载基材200贴合完成后打开，以泄压；并在开关阀再次打开(供气)前关闭，以避免喷嘴喷出的流体压力不足。
86.恒压调压阀、开关阀和泄压阀均可以为电磁阀。
87.开关组件3和泄压组件6与喷嘴组件4之间的距离均可以大于0且小于等于200mm，具体地，上述距离可以是指管路长度。
88.一种可选的实现方式中，转移装置包括喷嘴连接管42，喷嘴连接管42一端与喷嘴组件4中的流体喷出通道连通，另一端与第一管道1连通。即，喷嘴组件4通过喷嘴连接管42与第一管道1连通。
89.进一步地，一种可选的实现方式中，转移装置包括与喷嘴连接管42连接的喷嘴驱动部43，喷嘴驱动部43用于带动喷嘴连接管42以及喷嘴41沿第一方向、第二方向和第三方向运动；
90.其中，第一方向、第二方向和第三方向可两两垂直。
91.以目标基材承载体300水平设置为例，此时，第一方向可以为与目标基材承载体300所在平面平行的x轴方向，第二方向可以为与目标基材承载体300所在平面平行的y轴方向，第三方向可以为与目标基材承载体300所在平面垂直的z轴方向。
92.具体设置上述喷嘴连接管42时，喷嘴连接管42可以为刚性连接管，刚性连接管耐腐蚀，能够延长使用寿命，同时，提高其在喷嘴驱动部43带动下运动的稳定性。
93.一种可选的实现方式中，如图1所示，上述喷嘴组件4包括：
94.设有流体喷出通道411的喷嘴41；
95.内部形成有容纳腔的壳体44，壳体44具有与容纳腔连通的第一接口441和第二接口，第一接口441用于与外界流体管路连接，第二接口与喷嘴41密封连接；
96.喷嘴启闭组件，设置于壳体44的容纳腔中，用于控制流体喷出通道411与容纳腔连通与否。
97.本实施例提供的喷嘴组件4包括壳体44、密封连接于壳体44第二接口的喷嘴41以及设置于壳体44容纳腔中的喷嘴启闭组件，壳体44的第一接口441用于与外界流体管路连接，喷嘴启闭组件能够控制流体喷出通道411与容纳腔连通与否。当壳体44的第一接口441与外界流体管路连通时，通过喷嘴启闭组件使流体喷出通道411与容纳腔连通，进入容纳腔的流体即能够由喷嘴41喷出，使得本实施例提供的喷嘴组件能够将目标基材承载体300上的目标基材100转移至承载基材安装体400上的承载基材200上。
98.示例性地，喷嘴41与壳体44的第二接口螺纹连接；具体地，喷嘴组件中，喷嘴41的数量可以为一个，也可以为多个。各喷嘴41之间的相对位置可以固定的，也可以是能够调整的；各喷嘴41可以同时动作(即同时喷出流体，同时停止流体的喷出)，也可以不同时动作。
99.喷嘴41用于喷出气流，使目标基材100由目标基材承载体300转移至承载基材200。示例性地，喷嘴41的喷口可以为细小的圆形，以使喷出的气流更集中且更顺畅；当转移装置位于目标基材承载体300背离承载基材安装体400的一侧时，喷嘴41在喷气时的位置与目标基材承载体300的距离可以为0.5mm左右，以尽可能减少气流扩散；喷嘴41直径可以为目标基材100尺寸的20％-30％左右，以保证对目标基材承载体300的作用力和作用范围。
100.具体设置上述喷嘴启闭组件时，一种可选的实现方式中，喷嘴启闭组件包括阀杆45、阀杆驱动组件46和阀杆复位组件47，阀杆驱动组件46用于带动阀杆45远离喷嘴41，以使流体喷出通道411与容纳腔连通；阀杆复位组件47用于促使阀杆45封堵流体喷出通道411。
101.具体设置上述阀杆驱动组件46时，一种可选的实现方式中，阀杆驱动组件46包括线圈461和铁磁性的驱动杆462；
102.容纳腔包括用于容纳线圈461的第一腔体447和与第一接口441、第二接口连通的第二腔体443，线圈461位于第一腔体447中，驱动杆462伸出过第一腔体447，并与阀杆45远
离喷嘴41的一端连接；
103.线圈461通电时，能够使驱动杆462带动阀杆45向背离喷嘴41的方向运动；线圈461断电时，阀杆45在阀杆复位组件47的作用下复位，封堵流体喷出通道411。
104.示例性地，线圈461与控制线缆49连接，以实现通电和断电；壳体44包括形成有第一容纳腔的第一部444和形成有第二容纳腔的第二部445，第一部444包括用于为线圈461限位的限位台阶，下文提及的至少两个环状密封部446均设置于第二部445上，第一部444与第二部445固定连接。
105.作为一种替换方式，线圈461也可以电磁铁，电磁铁通电时，能够使驱动杆462带动阀杆45向背离喷嘴41的方向运动；断电时，阀杆45在阀杆复位组件47的作用下复位，封堵流体喷出通道411。
106.一种具体实现方式中，驱动杆462靠近阀杆45的一端可以设有翻边463；
107.阀杆复位组件47包括套设于驱动杆462上，并位于翻边463与第一腔体447之间的弹性复位件；
108.线圈461断电时，驱动杆462在弹性复位件的作用下，带动阀杆45复位，使阀杆45封堵流体喷出通道411。
109.通过弹性复位件实现驱动杆462的复位，能够简化喷嘴组件的结构、节约成本。
110.一种可选的实现方式中，容纳腔中，第一腔体447与第二腔体443之间设有至少两个环状密封部446，至少两个环状密封部446沿阀杆45的长度方向间隔设置；
111.阀杆45穿过各环状密封部446的环孔。
112.第一腔体447与第二腔体443之间间隔设置的至少两个环状密封部446不仅能保证第一腔体447与第二腔体443之间的密封，而且能够为阀杆45的运动起到导向作用，保证阀杆45运动方向的准确性。
113.一种可选的实现方式中，第二腔体443靠近喷嘴41处可以设有环状导向部448，阀杆45穿过环状导向部448的环孔，且环状导向部448的环孔与阀杆45的侧壁有间隙。如此一来，环状导向部448既能够起到为阀杆45的运动导向的作用，又不影响第二腔体443中的流体进去喷嘴41的流体喷出通道。
114.一种可选的实现方式中，喷嘴组件包括调节杆48，壳体44远离喷嘴41的一端设有调节孔，调节杆48设置于调节孔中，并与驱动杆462相对，且调节杆48伸入调节孔的距离能够调节。
115.在壳体44远离喷嘴41的一端设置调节孔，调节杆48设置于调节孔中，并与驱动杆462相对，且调节杆48伸入调节孔的距离能够调节，从而使得阀杆45在阀杆驱动组件46作用下远离喷嘴41的距离能够调节，这使得操作人员能够根据实际情况对阀杆45往复运动的行程进行调节，使本实施例提供的喷嘴组件4能够尽可能兼顾反应速度以及喷出流体强度。
116.示例性地，调节杆48朝向驱动杆462的一端可以设有限位槽，驱动杆462靠近调节杆48的一端设有与上述限位槽对应的限位凸起，阀杆45封堵喷嘴41上的流体喷出通道411时，驱动杆462上限位凸起的一部分位于调节杆48上限位槽中。
117.示例性地，调节杆48可以为螺杆，调节孔为与调节杆48对应的螺纹孔。
118.显然，当转移装置采用上述喷嘴组件4时，无需设置泄压组件6。
119.一种可选的实现方式中，喷嘴组件4为气体喷嘴组件，即本实施例提供的转移装置
通过喷气的方式(例如：高压喷气)将目标基材100高频无损害的从目标基材承载体300转移到承载基材200上。
120.此时，通过恒压调压阀调节进气压力，利用开关阀(例如：进气电磁阀)和泄压阀(例如：泄气电磁阀)的配合，控制高压气体的通断与快速排出，保证喷嘴41吹出的气流在目标基材与承载基材贴合后，快速排出，使目标基材承载体300能够快速复原。
121.其中，开关阀和泄压阀均可以采用高频电磁阀；开关阀打开和关闭的动作时间小于1ms，每次打开持续时间不小于2ms，以保证气流强度。在保证有足够组装空间的前提下，开关组件3(例如：开关阀)与喷嘴41距离应尽量短，控制在200mm内，以保证喷射气流的响应速度。泄压阀用于快速泄掉开关阀与喷嘴41间的气压，在保证有足够组装空间的前提下，泄压组件(例如：泄压阀)与喷嘴41之间的距离应尽量短，控制在200mm内，以保证喷射气流停止喷射的响应速度。
122.如图3-图7所述，本实施例提供的一种转移设备包括用于承载目标基材100的目标基材承载体300、用于设置承载基材200的承载基材安装体400以及上述转移装置，其中，目标基材承载体300与承载基材安装体400相对，且目标基材承载体300用于设置目标基材100的面朝向承载基材安装体400；转移装置用于减小目标基材100与承载基材安装体400之间的距离，以使目标基材100转移至承载基材200上。
123.本实施例提供的转移设备通过上述转移装置于减小目标基材承载体300与承载基材安装体400之间的距离，从而将目标基材100转移至承载基材200上，具体地，转移装置通过流体的作用，辅助目标基材100转移至承载基材200上。通过开关组件3控制流体的通断来实现目标基材100向承载基材200的转移，无载体带动顶针的往复运动，因而，不存在组合体的质量制约运动速度、顶针载体故障、顶针损坏的问题，能够使得目标基材100向承载基材200的转移更平稳、高效、转移装置的使用寿命更长，更有利于节约成本；同时，流体的可塑性，能够降低甚至避免撞坏目标基材100和承载基材200，能够减少甚至避免目标基材100和承载基材200被破坏。
124.需要说明的是，未进行目标基材100向承载基材200的转移时，目标基材承载体300与承载基材安装体400之间的距离大于目标基材100的厚度。
125.转移设备中可以包括一个转移装置，也可以包括多个转移装置。
126.当转移设备包括多个转移装置时，各转移装置可以均设置于目标基材承载体300背离承载基材安装体400的一侧，从而通过各喷嘴组件4实现目标基材100向承载基材200的转移；各转移装置也可以均设置于承载基材安装体400背离目标基材承载体300的一侧，从而通过各喷嘴组件4实现目标基材100向承载基材200的转移。
127.还可以是目标基材承载体300与承载基材安装体400构成承载单元，各转移装置对称分布于承载单元的两侧(显然，是目标基材承载体300背离承载基材安装体400的一侧以及承载基材安装体400背离目标基材承载体300的一侧)，各喷嘴组件4与对应的目标基材承载体300或者承载基材安装体400相对。
128.需要说明的是，当承载基材安装体400背离目标基材承载体300的一侧设有转移装置时，承载基材200和承载基材安装体400均具有弹性。
129.当目标基材承载体300背离承载基材安装体400的一侧设有转移装置时，目标基材承载体300可以为弹性承载体，弹性承载体朝向承载基材安装体400的面具有粘性并设有电
路，用于粘接目标基材100。
130.此时，喷嘴41喷出的恒定气流将弹性承载体吹成顶角朝向承载基材200安装体400的锥形(如图5和图7所示)，使目标基材100贴合到承载基材200的对应位置。
131.作为一种替换方式，目标基材承载体300也可以为刚性承载体，刚性承载体朝向承载基材安装体400的面具有粘性，用于粘接待转移件；刚性承载体上具有粘接目标基材100的粘接区，粘接区中设有流体通过孔，流体通过孔的尺寸小于粘接区的尺寸。
132.一种可选的实现方式中，转移设备包括用于驱动目标基材承载体300的第一驱动组件7，第一驱动组件7用于驱动目标基材承载体300运动，以改变目标基材100所处的方位，使得目标基材承载体300上的目标基材100的方向、位置与承载基材200上对应的带贴合位置对应。
133.仍以目标基材承载体300水平设置为例，此时，第一驱动组件7可以是用于驱动目标基材承载体300实现第一方向移动、第二方向移动、第三方向移动以及平面转动。具体地，第一驱动组件7包括第一方向驱动组件、第二方向驱动组件、第三方向驱动组件以及平面转动驱动组件。
134.一种可选的实现方式中，转移设备包括用于驱动承载基材安装体400的第二驱动组件8，第二驱动组件8用于驱动承载基材安装体400运动，以改变承载基材200所处的方位。
135.仍以目标基材承载体300水平设置为例，此时，第二驱动组件8可以是用于驱动承载基材安装体400实现第一方向移动、第二方向移动、第三方向移动以及平面转动。
136.需要说明的是，喷嘴组件4、目标基材承载体300和承载基材安装体400三者中任意两者运动或者三者均运动，使目标基材承载体300上的目标基材100和承载基材安装体400上的承载基材200均达到待贴合方位，通过喷嘴组件4与调压组件2以及开关组件3的配合，即能够实现目标基材100由目标基材承载体300向承载基材200的转移。
137.目标基材100通常是在目标基材承载体300上阵列排布，且相邻目标基材100之间的间距大于目标基材100在同方向上的尺寸。本实施例提供的转移设备可以是一次实现一个目标基材100的转移，也可以是一次实现多个目标基材100的转移。一次实现多个目标基材100的转移可以是通过转移装置中喷嘴组件4包括多个喷嘴41实现的，也可以是通过转移设备包括多个转移装置实现的。
138.一种可选的实现方式中，转移设备包括摄像组件，摄像组件用于检测目标基材承载体300上的目标基材100与承载基材200上的待贴合位置的相对位置。
139.一种可选的实现方式中，摄像组件包括用于照明的光源(例如：led光源)，光源与摄像头9同侧。
140.具体地，目标基材承载体300为透明承载体或半透明承载体，摄像组件包括摄像头9，摄像头9位于目标基材承载体300背离承载基材安装体400的一侧。
141.进一步地，摄像组件可以包括摄像头驱动部，摄像头驱动部与摄像头9连接，用于驱动摄像头9，改变摄像头9与目标基材承载体300上的各目标基材100的相对位置。
142.仍以目标基材承载体300水平设置为例，此时，摄像头驱动部可以是用于驱动摄像头9实现第一方向移动、第二方向移动以及第三方向移动。
143.一种可选的实现方式中，可以是喷嘴驱动部43兼为摄像头驱动部，即，喷嘴驱动部43还能够用于驱动摄像头9。
144.当目标基材承载体300为非透明承载体时，摄像组件可以包括两个摄像头9，两个摄像头9均位于目标基材承载体300与承载基材安装体400之间，一个用于检测目标基材的位置，一个用于检测承载基材上的待贴合位置。
145.下面以喷嘴组件4为气体喷嘴组件为例，对本实施例提供的转移设备的工作过程进行介绍。
146.本实施例提供的一种转移设备的动作步骤可以如下：
147.步骤s1、通过标定，确定第一驱动组件7、第二驱动组件8以及喷嘴驱动部43之间的位置关系；
148.步骤s2、通过摄像头驱动部驱动摄像头9，对承载基材进行拍照，确认承载基材上所有待贴合位置；
149.步骤s3、当目标基材承载体300装载目标基材完成后，通过第一驱动组件7带动目标基材承载体300，同时通过摄像头驱动部驱动摄像头9，对目标基材承载体300上所有待贴合目标基材100拍照，采集数据，确认所有目标基材100与喷嘴41及承载基材200的位置关系；
150.步骤s4、调节调压阀，使喷出气流可以提供合适压力，喷嘴驱动部43驱动喷嘴连接管42，进而带动喷嘴41沿z轴方向向下移动到距离目标基材承载体300达到设定距离；
151.步骤s5、第一驱动组件7驱动承载薄膜移动和旋转，使得目标基材100移动到指定的待贴合位置和角度，同时喷嘴驱动部43驱动喷嘴连接管42，进而带动喷嘴41移动，使喷嘴41对准目标基材(如图4所示)；
152.步骤s6、打开开关阀，高压气体通过第一管道1、喷嘴连接管42等流入到喷嘴41处，以使喷嘴41喷出达到所需压力的气体，将目标基材100从目标基材承载体300上吹到承载基材200的待贴合位置上，从而实现目标基材100在承载基材200上贴合(如图5所示)；
153.步骤s7、关闭开关阀，打开泄压阀，快速泄气，目标基材承载体300恢复原状，泄气后关闭泄压阀；
154.步骤s8、第一驱动组件7带动目标基材承载体300在x轴和/或y轴和/或旋转方向上移动，使下一个目标基材100移动到其待贴合位置及角度，同时喷嘴驱动部43驱动喷嘴连接管42，进而带动喷嘴41沿x轴和/或y轴方向移动到该目标基材100的位置处，准备从目标基材承载体300上吹下该目标基材100，(如图6所示)；
155.步骤s9、重复步骤s6，使目标基材100贴合到承载基材200上(如图7所示)；
156.步骤s10、重复上述步骤s6至步骤s9，完成全部或所需数量目标基材承载体300上的目标基材100全部贴合到承载基材200的相应待贴合位置上。
157.本实施例提供的一种转移方法使用上述转移设备，该转移方法包括：
158.待转移的目标基材到位；
159.打开开关组件3和喷嘴组件，使喷嘴组件4向对应的目标基材100或承载基材200喷射流体。
160.本实施例提供的转移方法通过喷嘴组件4喷出的流体将目标基材100转移至承载基材200上，流体的可塑性，能够降低甚至避免撞坏目标基材100和承载基材200，能够减少甚至避免目标基材100和承载基材200被破坏。
161.显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精
神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。