一种桌面型晶圆检测机的视窗结构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种桌面型晶圆检测机的视窗结构。


背景技术：

2.现有技术中，用于对晶圆等高精密零部件的测试柜，不设置防护门，安全性低，或者设置的门框结构是通过手动推开或翻开，操作不方便并且存在安全隐患的问题。
3.因此，急需设计一种桌面型晶圆检测机的视窗结构以解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种桌面型晶圆检测机的视窗结构，用于解决现有技术中，开门方式需要手动操作，操作不方便，并且存在安全隐患的问题。
5.为解决上述问题，本实用新型提供以下技术方案：桌面型晶圆检测机的视窗结构，包括晶圆检测机本体，所述晶圆检测机本体的一侧设有开口，在开口处设有门框，在所述开口的两侧设有无杆气缸，在所述门框的两侧分别设有与两侧无杆气缸配合连接的连接件a和连接件b，通过无杆气缸与门框的连接，因此，门框可滑动开合于晶圆检测机本体。
6.进一步的，在所述开口的一侧设置有阻挡部件，所述阻挡部件用于对门框的位置进行限位。
7.进一步的，所述阻挡部件为气缸，所述气缸的输出端设有限位杆，所述连接件a设有与所述限位杆适配的第一限位孔和第二限位孔，分别用于在闭合和开启状态下对门框进行限位。
8.进一步的，在所述开口的两侧还设有滑轨，在滑轨上设有滑块，所述滑块与所述门框连接，所述滑块随所述门框滑动。
9.进一步的，在所述开口的两侧均设有安全光栅。
10.进一步的，所述门框还设有透明的挡板。
11.与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：
12.本实用新型通过无杆气缸带动门框进行上下滑动，实现对晶圆检测机本体的打开和闭合，自动化程度高，并且无杆气缸可节省安装空间，上下滑动的方式也减少了占用空间，实用性强。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1是本实用新型实施例中晶圆检测机本体闭合状态下的结构示意图；
15.图2是本实用新型实施例中晶圆检测机本体打开状态下的结构示意图；
16.图3是本实用新型实施例中的部分结构爆炸示意图；
17.图4是本实用新型实施例中的部分结构示意图；
18.图5是图4中a处的放大图；
19.图6本实用新型实施例中门框的结构示意图；
20.其中，1、晶圆检测机本体，101、开口，2、门框，3、挡板。4、连接件a，41、第一限位孔，42、第二限位孔，5、连接件b，6、滑轨安装件a，7、安装件，8、无杆气缸，9、气缸，91、限位杆，10、安全光栅，11、滑轨安装件b，12、滑块，13、滑轨。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。可以理解的是，附图仅仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。附图中显示的连接关系仅仅是为了便于清晰描述，并不限定连接方式。
22.需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件时，它可以是直接连接到另一个组件，或者可能同时存在居中组件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。
23.还需要说明的是，本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
24.请参阅图1至图6，包括晶圆检测机本体1，所述晶圆检测机本体1的一侧设有开口101，在开口101处设有门框2，在所述开口101的两侧设有无杆气缸8，无杆气缸8通过安装件7安装于开口101的左右两侧。
25.在所述门框2的两侧分别设有与两侧无杆气缸8的输出端配合连接的连接件a4和连接件b5，通过无杆气缸8与门框2的连接，因此，门框2可滑动开合于晶圆检测机本体1。
26.在所述开口101的一侧设置有阻挡部件，所述阻挡部件用于对门框的位置进行限位。在本实施例中，所述阻挡部件为气缸9，所述气缸9的输出端设有限位杆91，所述连接件a4设有与所述限位杆91适配的第一限位孔41和第二限位孔42，分别用于在闭合和开启状态下对门框进行限位。
27.在所述开口101的两侧还设有滑轨13，在滑轨13上设有滑块12，所述滑块12与所述
门框2的两侧连接，所述滑块12随所述门框2滑动。通过滑轨安装件a6和滑轨安装件b11将滑轨13安装于开口两侧。
28.在所述开口101的两侧均设有安全光栅10。安全光栅10安装于开口101的侧壁，紧凑又美观，并且提高了设备的安全性。
29.在本实施例中，所述门框2还设有透明的挡板3。便于实时观察晶圆检测机本体1内部的测试情况。
30.本实用新型的工作原理：门框2随无杆气缸8的滑动而实现晶圆检测机本体1的打开或闭合，在开口101处设置的滑轨13上的滑块12也随门框2移动，用于限制门框2移动的方向和位置，保证了门框2滑动的一致性和平稳性，以及还设置有阻挡部件，包括气缸9和限位杆91，用于对门框2的位置进行限位，保证门框2在闭合状态下不被随意开启以及在打开状态下能够避免滑落，提高了安全性。
31.本技术的说明书和权利要求书中，词语“包括/包含”和词语“具有/包括”及其变形，用于指定所陈述的特征、数值、步骤或部件的存在，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、数值、步骤、部件或它们的组合。
32.本实用新型的一些特征，为阐述清晰，分别在不同的实施例中描述，然而，这些特征也可以结合于单一实施例中描述。相反，本实用新型的一些特征，为简要起见，仅在单一实施例中描述，然而，这些特征也可以单独或以任何合适的组合于不同的实施例中描述。
33.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包括在本实用新型的保护范围之内。