一种新型干法刻蚀设备的制作方法

1.本实用新型涉及刻蚀设备技术领域，具体为一种新型干法刻蚀设备。


背景技术：

2.在光通信、微电子、半导体照明、微机电系统、光伏产业等领域里，干法刻蚀是一个重要的工艺步骤。以光通信为例，近年我国宽带接入和光纤到户的发展使平面光波导芯片产品的需求量猛增。平面光波导是将光波导制作到平面基板上的技术，是实现光通信大容量和光器件集成化的有效手段。平面波导可以制成阵列波导光栅，光分路器，多通道可调光衰减器、光开关等光器件。在光通信网络中间，光信号依赖平面光波导制成的阵列波导光栅被广泛用来实现波分复用以提高传输效率。在光通信的最末端，光纤到户阶段，平面光波导光分路器则提供了目前最有效的无源光网络宽带接入方案。干法刻蚀，即在晶圆上使用非液体的方法刻蚀出合乎要求的微观图形，是生产平面光波导芯片产品的重要步骤之一。
3.经检索，授权公告号为“cn203553097u”的一种干法刻蚀设备，该实用新型干法刻蚀设备包括用于放置至少一个被刻蚀件的托盘、用于对所述至少一个被刻蚀件进行刻蚀的刻蚀单元、收容所述托盘的壳体以及与所示壳体相连接的真空发生器，由于该实用新型干法刻蚀设备中的托盘通过限位销对被刻蚀件进行限位，延长了托盘的使用寿命；并且消除了传统方法中托盘凹槽加深需再加工的缺陷，降低了工程成本，但是限位销插在限位孔中，只是普通的插接关系，缺少对限位销的限位，导致存在限位销插在限位孔内不稳定的现象。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种新型干法刻蚀设备，以解决限位销插在限位孔中，只是普通的插接关系，缺少对限位销的限位，导致存在限位销插在限位孔内不稳定的问题。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型干法刻蚀设备，包括用于放置至少一个被刻蚀件的托盘、用于对所述至少一个被刻蚀件进行刻蚀的刻蚀单元、收容所述托盘的壳体以及与所述壳体相连接的真空发生器，所述托盘上安装有至少一组用于限定所述至少一个被刻蚀件的限位销，所述托盘上表面设置有至少一组限位孔，所述限位销与所述限位孔插接，所述限位孔内壁左右两端上侧均开有插口，所述插口上端贯通所述托盘，所述限位孔内壁中间开有一圈环形槽，所述插口下部贯通所述环形槽，所述限位销左右两端下侧均固定有侧块，所述侧块与所述插口一一对应滑动连接，所述侧块下端开有收入槽，所述收入槽内部滑动连接有滑杆，所述滑杆下端延伸出所述收入槽并固定有撑板，所述撑板下端与所述环形槽槽底相接触，所述侧块下端且位于所述收入槽外侧固定有挡环，所述挡环位于所述滑杆外侧，所述挡环下端与所述撑板上端之间固定有弹簧，所述弹簧位于所述滑杆外侧。
6.具体的，每组所述限位销均至少有三个，每组所述限位销与每组所述限位孔相对应。
7.具体的，所述侧块沿着所述插口滑入所述环形槽内部与所述环形槽活动连接。
8.具体的，所述滑杆上端固定有挡板，所述挡板与所述收入槽滑动连接。
9.具体的，所述挡板的外径大于所述挡环的内径。
10.具体的，所述撑板下端开有滚动槽，所述滚动槽内部滚动连接有钢珠，所述环形槽槽底开有一圈环形滑道，所述钢珠与所述环形滑道滚动连接。
11.与现有技术相比，本实用新型实现的有益效果：该种新型干法刻蚀设备，在将限位销插入限位孔中时，通过对准侧块与插口插入，这样随着侧块垂直往下滑入环形槽内的时候，再转动限位销，此时可以带动侧块完全滑入环形槽内，这样通过弹簧上弹的弹力，可以将侧块弹着与环形槽内壁顶端紧贴，此时限位销卡在限位孔中，这样不仅提高了限位销插在限位孔中的稳定性，而且操作不难，便于工作人员进行操作。
附图说明
12.图1为本实用新型的干法刻蚀设备结构示意图；
13.图2为本实用新型图1的a局部放大图；
14.图3为本实用新型的托盘俯视示意图。
15.图中：1
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托盘、11
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限位孔、12
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插口、13
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环形槽、14
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环形滑道、2
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限位销、21
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侧块、22
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收入槽、23
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挡环、24
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滑杆、25
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弹簧、26
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撑板、27
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滚动槽、28
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钢珠、29
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挡板、3
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被刻蚀件。
具体实施方式
16.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
17.如图1至图3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种新型干法刻蚀设备，包括用于放置至少一个被刻蚀件3的托盘1、用于对所述至少一个被刻蚀件3进行刻蚀的刻蚀单元、收容所述托盘1的壳体以及与所述壳体相连接的真空发生器，所述托盘1上安装有至少一组用于限定所述至少一个被刻蚀件3的限位销2，所述托盘1上表面设置有至少一组限位孔11，所述限位销2与所述限位孔11插接，所述限位孔11内壁左右两端上侧均开有插口12，所述插口12上端贯通所述托盘1，所述限位孔11内壁中间开有一圈环形槽13，所述插口12下部贯通所述环形槽13，所述限位销2左右两端下侧均固定有侧块21，所述侧块21与所述插口12一一对应滑动连接，所述侧块21下端开有收入槽22，所述收入槽22内部滑动连接有滑杆24，所述滑杆24下端延伸出所述收入槽22并固定有撑板26，所述撑板26下端与所述环形槽13槽底相接触，所述侧块21下端且位于所述收入槽22外侧固定有挡环23，所述挡环23位于所述滑杆24外侧，所述挡环23下端与所述撑板26上端之间固定有弹簧25，所述弹簧25位于所述滑杆24外侧，每组所述限位销2均至少有三个，每组所述限位销2与每组所述限位孔11相对应，所述侧块21沿着所述插口12滑入所述环形槽13内部与所述环形槽13活动连接，在将限位销2插入限位孔11中时，通过对准侧块21与插口12插入，这样随着侧块21垂直往下滑入环形槽13内的时候，撑板26底面与环形槽13槽底紧贴，并且此时弹簧25压缩，滑杆24滑入收入槽22内部，随后再转动限位销2，此时可以带动侧块21完全滑入环形槽13内，然后松开限位销2，这样通过弹簧25上弹的弹力，可以将侧块21弹着与环形槽13内壁顶端紧贴，此时限位销2卡
在限位孔11中，这样不仅提高了限位销2插在限位孔11中的稳定性，而且操作不难，便于工作人员进行操作；
18.所述滑杆24上端固定有挡板29，所述挡板29与所述收入槽22滑动连接，所述挡板29的外径大于所述挡环23的内径，通过挡板29的设置，可以避免因为弹簧25的弹力而使滑杆24全部滑出收入槽22；
19.所述撑板26下端开有滚动槽27，所述滚动槽27内部滚动连接有钢珠28，所述环形槽13槽底开有一圈环形滑道14，所述钢珠28与所述环形滑道14滚动连接，挡住撑板26与环形槽13槽底紧贴时，钢珠28会正好插入环形滑道14，而转动限位销2时，随着侧块21呈圆周运动，滑杆24可以带动撑板26滑动，此时通过钢珠28与环形滑道14滚动，可以减小撑板26滑动的摩擦力，使得转动限位销2更加省力方便。
20.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。