一种硅片花篮定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体花篮技术领域，尤其是指一种硅片花篮定位装置。


背景技术：

2.在光伏扩散/热氧/氧化工艺自动化中，有些场景需要人工上下硅片载具，即花篮(cassette)。由于工艺的优化，硅片规格越来越大，导致花篮易掉落并且花篮尺寸越来大，重量越来越重，给人工上下定位花篮带来一定的困难，并使放置找位的时间变长。原有的旧式定位结构已无法满足现有大规格花篮正常上下，因此设计出一款可以前后推进硅片花篮的新型便捷式硅片花篮定位装置是本领域亟需解决的技术问题。


技术实现要素：

3.为此，本实用新型的目的在于提供一种硅片花篮定位装置，采用位于同一矩形的四条边位置的四个限位机构，位于矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿矩形的长度方向延伸并且延伸至矩形的两短边位置，每一者的阻挡部沿矩形的长度方向延伸并且延伸至矩形的两短边位置，位于矩形的两个长边位置的两个限位机构导向被定位花篮沿矩形的长度方向滑入四个限位机构之间，有效稳固定位硅片花篮，减少了放置找位的时间，提高了工作的效率。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片花篮定位装置，包括支架板和安装于所述支架板上的定位单元，所述定位单元包括限位组件和顶紧组件，所述限位组件包括分别位于同一矩形的四条边位置的四个限位机构，每个所述限位机构包括支撑部和阻挡部，所述支撑部具有朝向所述矩形内侧的内边缘和朝向所述矩形外侧的外边缘，所述支撑部的内边缘与所述阻挡部的下边缘相接，所述顶紧组件位于所述矩形其中一个短边位置的外侧并包括可沿所述矩形的长度方向伸缩的伸缩杆，被定位花篮设于所述矩形的内侧，所述四个限位机构支撑被定位花篮和限制被定位花篮向所述矩形的外侧方向移动，所述顶紧组件的伸缩杆伸入所述矩形的内侧后顶紧被定位硅片花篮的其中一块花篮端板并使另一块花篮端板顶紧在位于所述矩形另一个短边位置的限位机构的阻挡部上；
5.其特征在于，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的长度方向延伸并且延伸至所述矩形的两短边位置，每一者的阻挡部沿所述矩形的长度方向延伸并且延伸至所述矩形的两短边位置，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构导向被定位花篮沿所述矩形的长度方向滑入所述四个限位机构之间。
6.在本实用新型的一个实施例中，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的宽度方向延伸，每一者的阻挡部沿所述矩形的宽度方向延伸。
7.在本实用新型的一个实施例中，所述阻挡部具有朝向所述矩形内侧的内表面、朝向上方的上表面以及过渡连接所述内表面和所述上表面的倒角面。
8.在本实用新型的一个实施例中，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构
中，其中一者的支撑部的支撑面低于另一者的支撑部的支撑面，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部的支撑面倾斜设置，被定位花篮被倾斜的定位于所述定位单元中。
9.在本实用新型的一个实施例中，所述四个限位机构中，每一者的横截面为l形。
10.在本实用新型的一个实施例中，位于所述矩形与所述顶紧组件之间的限位机构中，其阻挡部设有可供所述伸缩杆穿过的避让区。
11.在本实用新型的一个实施例中，所述避让区为槽口朝向上方的凹槽。
12.在本实用新型的一个实施例中，位于所述矩形的两个长边位置的两个阻挡部中，每一者设有减重孔。
13.在本实用新型的一个实施例中，所述支架板上设有与所述矩形内侧对应的镂空区和设于相邻两个所述镂空区之间的减重孔。
14.在本实用新型的一个实施例中，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿上下方向的高度为第一高度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿上下方向的高度为第二高度，所述第一高度大于所述第二高度，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的长度方向的厚度为第一厚度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的短边方向的厚度为第二厚度，所述第一厚度大于所述第二厚度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的长度方向的两端上设有固定在支架板上的固定支架。
15.本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
16.1)本实用新型所述的一种硅片花篮定位装置，采用位于同一矩形的四条边位置的四个限位机构，位于矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿矩形的长度方向延伸并且延伸至矩形的两短边位置，每一者的阻挡部沿矩形的长度方向延伸并且延伸至矩形的两短边位置，位于矩形的两个长边位置的两个限位机构导向被定位花篮沿矩形的长度方向滑入四个限位机构之间，有效稳固定位硅片花篮，减少了放置找位的时间，提高了工作的效率。
17.2)本实用新型所述的一种硅片花篮定位装置，矩形的两个短边位置的两个限位机构中，其中一者的支撑部的支撑面低于另一者的支撑部的支撑面，矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部的支撑面倾斜设置，使安装在定位装置上的硅片花篮中前花篮端板的高度高于后花篮端板的高度，这样可以使硅片花篮中的硅片往一侧倾斜，从而减少毁损率，并可以更好的配合外部的石英舟载具。
18.3)本实用新型所述的一种硅片花篮定位装置，采用硅片花篮顶紧组件，从而更好的固定硅片花篮。
附图说明
19.为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
20.图1是本实用新型公开的硅片花篮定位装置和硅片花篮的结构示意图。
21.图2是图1中a的结构示意图。
22.说明书附图标记说明：1、支架板；2、定位单元；3、限位组件；4、顶紧组件；41、伸缩杆；5、限位机构；51、支撑部；52、阻挡部；6、花篮端板；7、避让区；8、固定支架。
具体实施方式
23.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
24.参照图1所示，本实用新型为一种硅片花篮定位装置，包括支架板1和安装于所述支架板1上的定位单元2，所述定位单元2包括限位组件3和顶紧组件4，所述限位组件3包括分别位于同一矩形的四条边位置的四个限位机构5，每个所述限位机构5包括支撑部51和阻挡部52，所述支撑部51具有朝向所述矩形内侧的内边缘和朝向所述矩形外侧的外边缘，所述支撑部51的内边缘与所述阻挡部52的下边缘相接，所述顶紧组件4位于所述矩形其中一个短边位置的外侧并包括可沿所述矩形的长度方向伸缩的伸缩杆41，被定位花篮设于所述矩形的内侧，所述四个限位机构5支撑被定位花篮和限制被定位花篮向所述矩形的外侧方向移动，所述顶紧组件4的伸缩杆41伸入所述矩形的内侧后顶紧被定位硅片花篮的其中一块花篮端板6并使另一块花篮端板6顶紧在位于所述矩形另一个短边位置的限位机构5的阻挡部52上；
25.位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构5中，每一者的支撑部51沿所述矩形的长度方向延伸并且延伸至所述矩形的两短边位置，每一者的阻挡部52沿所述矩形的长度方向延伸并且延伸至所述矩形的两短边位置，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构5导向被定位花篮沿所述矩形的长度方向滑入所述四个限位机构5之间。
26.本实施例中优选的实施方式，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构5中，每一者的支撑部51沿所述矩形的宽度方向延伸，每一者的阻挡部52沿所述矩形的宽度方向延伸。
27.本实施例中优选的实施方式，所述阻挡部52具有朝向所述矩形内侧的内表面、朝向上方的上表面以及过渡连接所述内表面和所述上表面的倒角面。
28.本实施例中优选的实施方式，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构5中，其中一者的支撑部51的支撑面低于另一者的支撑部51的支撑面，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构5中，每一者的支撑部51的支撑面倾斜设置，被定位花篮被倾斜的定位于所述定位单元2中。
29.本实施例中优选的实施方式，所述四个限位机构5中，每一者的横截面为l形。
30.本实施例中优选的实施方式，位于所述矩形与所述顶紧组件4之间的限位机构5中，其阻挡部52设有可供所述伸缩杆41穿过的避让区7。
31.本实施例中优选的实施方式，所述避让区7为槽口朝向上方的凹槽。
32.本实施例中优选的实施方式，位于所述矩形的两个长边位置的两个阻挡部52中，每一者设有减重孔。
33.本实施例中优选的实施方式，所述支架板1上设有与所述矩形内侧对应的镂空区和设于相邻两个所述镂空区之间的减重孔。
34.本实施例中优选的实施方式，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构5中，每一者的支撑部51沿上下方向的高度为第一高度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限
位机构5中，每一者的支撑部51沿上下方向的高度为第二高度，所述第一高度大于所述第二高度，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构5中，每一者的支撑部51沿所述矩形的长度方向的厚度为第一厚度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构5中，每一者的支撑部51沿所述矩形的短边方向的厚度为第二厚度，所述第一厚度大于所述第二厚度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构5中，每一者的支撑部51沿所述矩形的长度方向的两端上设有固定在支架板1上的固定支架8。
35.使用时，将硅片花篮人工取下放置到定位单元2的矩形长边的限位机构5上，使定位花篮沿所述矩形的长度方向滑入所述四个限位机构5之间，硅片花篮到达对应位置后顶紧组件4开始运动，顶紧组件4的伸缩杆41伸入矩形的内侧后顶紧被定位硅片花篮的其中一块花篮端板6并使另一块花篮端板6顶紧在位于矩形另一个短边位置的限位机构5的阻挡部52上，完成硅片花篮的定位工作。
36.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。