一种自动化上料硅片推齐装置的制作方法

文档序号:29221076发布日期:2022-03-12 12:32阅读:47来源:国知局

1.本发明属于pecvd镀膜及自动插片机装取片技术领域,尤其涉及一种自动化上料硅片推齐装置。


背景技术:

2.随着工业社会的不断发展,人类对能源的需求量与日俱增,能源短缺已经成为阻碍经济发展与世界和平的关键因素。近些年来,国际原油储量的下降和价格的不断上升,进一步引起了人们对能源问题的重视,深知寻找可替代资源迫在眉睫。其中太阳能因其清洁、储量大,分布广泛等优点备受关注,以太阳能电池为核心的光伏产业直接将太阳能转化成电能,是目前公认的“绿色能源”。
3.太阳能电池中属晶硅太阳能电池发展最为迅猛,晶体硅类太阳能电池的制备一般经过制绒、扩散、镀膜、丝网印刷、烧结等工序。其中镀膜工艺是为了减少少数载流子在电池表面的复合,提高晶体硅太阳能电池片的转换效率,而在对硅片表面镀膜时,需要将未镀膜的硅片插入pecvd 真空镀膜设备的载片器上。目前,由于石墨舟优良的导热及导电性能,载片器通常采用石墨舟,具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上,然后,将载有硅片的石墨舟放置在pecvd 真空镀膜设备中,采用pecvd 工艺对硅片进行镀膜。
4.在pecvd自动插片机装取片时,花篮在运转过程中会出现硅片脱离花篮底部向外突出的状况,从而导致硅片在自动传输过程中出现位置偏差,导致不必要的堵片问题,机台报警,停工检查,人工将硅片推进花篮中归位,严重影响进度。


技术实现要素:

5.鉴于以上,本发明提供一种自动化上料硅片推齐装置,该装置充分利用机械原理设计,可以完全弥补自动化传输过程中的不足,减少因花篮内硅片不齐导致的不必要的堵片问题,大大节约人力,充分提升机台利用率,同时,自动化推片机构可直接安装到pecvd自动插片机或其他需要推片的装置内使用,便捷、安全可靠,杜绝因传输问题导致的硅片不齐的现象,工作效率高,应用前景广阔。具体技术方案如下:
6.一种自动化上料硅片推齐装置,其特征在于,包括固定支撑架、推手模组和推片臂,推手模组中的固定端设置在固定支撑架上,推片臂设置在推手模组中的活动端上,推片臂可在推手模组中的活动端的驱动下进行远离和靠近固定支撑架的直线往复运动。
7.进一步,固定支撑架上规则排列设置至少两组推手模组。
8.进一步,所述推片臂上远离推手模组的一侧设置有橡胶垫板。
9.进一步,所述推手模组为气缸组件。
10.本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
11.本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
12.图1所示为自动化上料硅片推齐装置的侧面角度结构示意图;
13.图2所示为自动化上料硅片推齐装置的后面角度结构示意图;
14.其中,1-固定支撑架,2-推手模组,3-推片臂,4-橡胶垫板。
具体实施方式
15.下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能解释为对本发明的限制。
16.参照图1-2所示,本实施例优选提供的一种自动化上料硅片推齐装置,包括固定支撑架1、推手模组2和推片臂3,推手模组2中的固定端设置在固定支撑架1上,推片臂3设置在推手模组2中的活动端上,推片臂3可在推手模组2中的活动端的驱动下进行远离和靠近固定支撑架2的直线往复运动。固定支撑架1和推片臂3优选采用铝型材进行搭建,提升机架的稳定性,减轻自身重量,减少拍片时机架的晃动,节约成本。
17.进一步,固定支撑架1上规则排列设置至少两组推手模组2,具体可根据需要选择设置几组。在本实施例中推手模组2优选气缸组件作为推手,气缸推手选用smc标准气缸,通过气缸推动推片臂3共同运行,形成连贯的推片动作,增加拍片的稳定性。
18.进一步,推片臂3上远离推手模组2的一侧设置有橡胶垫板4,防止磕碰硅片。
19.另外需要说明的是,本发明中还具有电气控制单元,包括到位感应器和控制器,感应器用以自动检测有无硅片突出花篮,控制器用于接收感应器信号并控制推片机构进行推片运动,在本实施例中电气控制模组可以为基于可编程控制器plc(programmable logic controller)的工控机,利用花篮到位传感器和气缸磁敏作为输入信号,电磁阀作为输出信号,两种信号写入plc,达到拍齐上料硅片的目的,因其为成熟技术且不影响本发明的理解,图示中并没有对电气控制单元做具体的展示,同时在此也不作具体展开说明。
20.本实施例的该自动化推片机构结构合理,可直接安装于自动化插片机中使用,配合拍舟器使用,当花篮自动运行于推片器前方时,对突出于花篮的硅片可自动推片,无需担心在推片过程中出现不拍的情况,节省人力,提高了机台利用率,安全、操作便捷,故而能够达成本发明的目的。
21.本发明未详述之处,均为本领域技术人员的公知技术。
22.尽管参照本发明的示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述,但是必须理解,本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例,这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言,在前述公开、附图以及权利要求的范围之内,可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进,而不会脱离本发明的精神。


技术特征:
1.一种自动化上料硅片推齐装置,其特征在于,包括固定支撑架、推手模组和推片臂,推手模组中的固定端设置在固定支撑架上,推片臂设置在推手模组中的活动端上,推片臂可在推手模组中的活动端的驱动下进行远离和靠近固定支撑架的直线往复运动。2.根据权利要求1所述的自动化上料硅片推齐装置,其特征在于,固定支撑架上规则排列设置至少两组推手模组。3.根据权利要求2所述的自动化上料硅片推齐装置,其特征在于,所述推片臂上远离推手模组的一侧设置有橡胶垫板。4.根据权利要求1所述的自动化上料硅片推齐装置,其特征在于,所述推手模组为气缸组件。

技术总结
本申请提供一种自动化上料硅片推齐装置,其特征在于,包括固定支撑架、推手模组和推片臂,推手模组中的固定端设置在固定支撑架上,推片臂设置在推手模组中的活动端上,推片臂可在推手模组中的活动端的驱动下进行远离和靠近固定支撑架的直线往复运动,固定支撑架上规则排列设置至少两组推手模组。该装置充分利用机械原理设计,可以完全弥补自动化传输过程中的不足,减少因花篮内硅片不齐导致的不必要的堵片问题,大大节约人力,充分提升机台利用率,同时,自动化推片机构可直接安装到PECVD自动插片机或其他需要推片的装置内使用,便捷、安全可靠,杜绝因传输问题导致的硅片不齐的现象,工作效率高,应用前景广阔。应用前景广阔。应用前景广阔。


技术研发人员:梅余晶 王银 汪剑 蔡兆勇
受保护的技术使用者:江苏润阳世纪光伏科技有限公司
技术研发日:2021.07.01
技术公布日:2022/3/11
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