一种基片定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种定位装置，具体为一种基片定位装置。


背景技术：

2.晶圆键合设备在生产过程中，工艺前后需要自动化系统完成基片的装卸载，由于各种原因导致基片传送时位置偏斜，机械手抓取基片前需要在传输带上先完成定位，传统的定位装置是刚性的，仅适用于基片的平行移动定位，当基片位置偏斜时容易挤碎基片。因此我们对此做出改进，提出一种基片定位装置。


技术实现要素：

3.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
4.本实用新型一种基片定位装置，包括活塞缸缸体，所述活塞缸缸体的一端固定连接有驱动连接板，所述活塞缸缸体的内部设置有活塞杆和活塞弹簧，所述活塞杆的一端设置有定位销和锥面摆动推块，所述活塞杆的中部固定连接有阻尼限位块，所述活塞缸缸体底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构，两个所述阻尼机构均由一个固定连接板、一个l形阻尼杆、两个阻尼弹簧和一个限位螺栓组成。
5.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述活塞杆的外部与活塞缸缸体远离驱动连接板的一端穿插连接，所述活塞杆的一端与活塞弹簧的一端固定连接，所述活塞弹簧的另一端与活塞缸缸体内部的一侧固定连接。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述定位销固定安装在活塞杆远离活塞弹簧的一端，所述定位销的中部与锥面摆动推块的一端穿插连接。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述固定连接板的中部分别与两个l形阻尼杆底部穿插连接，两个所述限位螺栓的外部分别与两个l 形阻尼杆的底端螺纹连接。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述阻尼弹簧分别设置在两个l形阻尼杆的外部，两个所述阻尼弹簧的一端分别与螺杆固定连接板的顶部贴合，两个所述阻尼弹簧的另一端分别与两个l形阻尼杆的中部贴合。
9.本实用新型的有益效果是：该种基片定位装置，当基片移动至锥面摆动推块正前方时，外部气缸通过驱动连接板将整个定位装置前推，使得基片与锥面摆动推块自由接触，属于柔性推基片，当整个装置移动至阻尼限位块与l 形阻尼杆接触时，l形阻尼杆顶着阻尼弹簧向下移动，活塞杆遇到阻力，移动变慢，此时活塞缸缸体原速移动，与活塞杆产生速度差，活塞杆移动至阻尼限位块与l形阻尼杆限位顶点处时，活塞杆停止移动，随着活塞缸缸体继续移动，将锥面摆动推块套牢归正，完成基片推正，使基片位置不易偏斜，进而防止基片挤碎。
附图说明
10.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
11.图1是本实用新型一种基片定位装置的结构示意图；
12.图2是本实用新型一种基片定位装置的俯视结构示意图。
13.图中：1、活塞缸缸体；2、活塞杆；3、活塞弹簧；4、阻尼机构；5、定位销；6、锥面摆动推块；101、驱动连接板；201、阻尼限位块；401、固定连接板；402、l形阻尼杆；403、阻尼弹簧；404、限位螺栓。
具体实施方式
14.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
15.实施例：如图1和图2所示，本实用新型一种基片定位装置，包括活塞缸缸体1，活塞缸缸体1的一端固定连接有驱动连接板101，活塞缸缸体1 的内部设置有活塞杆2和活塞弹簧3，活塞杆2的一端设置有定位销5和锥面摆动推块6，活塞杆2的中部固定连接有阻尼限位块201，活塞缸缸体1底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构4，两个阻尼机构4均由一个固定连接板401、一个l形阻尼杆402、两个阻尼弹簧403和一个限位螺栓 404组成。
16.其中，活塞杆2的外部与活塞缸缸体1远离驱动连接板101的一端穿插连接，活塞杆2的一端与活塞弹簧3的一端固定连接，活塞弹簧3的另一端与活塞缸缸体1内部的一侧固定连接，通过活塞弹簧3的弹力，可以实现活塞缸缸体1和活塞杆2的相对运动，使活塞杆2可以在活塞缸缸体 1的内部移动。
17.其中，定位销5固定安装在活塞杆2远离活塞弹簧3的一端，定位销 5的中部与锥面摆动推块6的一端穿插连接，通过定位销5，使锥面摆动推块6可以在活塞杆2的一端上摆动。
18.其中，两个固定连接板401的中部分别与两个l形阻尼杆402底部穿插连接，两个限位螺栓404的外部分别与两个l形阻尼杆402的底端螺纹连接，通过l形阻尼杆402穿过固定连接板401实现其相下移动。
19.其中，两个阻尼弹簧403分别设置在两个l形阻尼杆402的外部，两个阻尼弹簧403的一端分别与螺杆固定连接板401的顶部贴合，两个阻尼弹簧403的另一端分别与两个l形阻尼杆402的中部贴合，通过阻尼弹簧 403的弹力，使l形阻尼杆402可以复位。
20.工作时，首先将驱动连接板101与外接的动力气缸的输出轴连接在一起，将固定连接板401与外接的产线机架固定连接，将基片放置在外接的传送带上，传送带将基片移动至锥面摆动推块6正前方，外部气缸通过驱动连接板 101将整个定位装置前推，使得基片与锥面摆动推块6自由接触，当整个装置移动至阻尼限位块201与阻尼杆402接触时，阻尼杆402顶着阻尼弹簧403 向下移动，活塞杆2遇到阻力，移动变慢，此时活塞缸缸体1原速移动，与活塞杆2产生速度差，活塞杆2移动至阻尼限位块201与阻尼杆402限位顶点处时，活塞杆2停止移动，随着活塞缸缸体1继续移动到图中虚线位置，将锥形摆动推块6套牢归正，此时完成基片推正，到此定位动作结束。
21.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员
来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种基片定位装置，其特征在于，包括活塞缸缸体(1)，所述活塞缸缸体(1)的一端固定连接有驱动连接板(101)，所述活塞缸缸体(1)的内部设置有活塞杆(2)和活塞弹簧(3)，所述活塞杆(2)的一端设置有定位销(5)和锥面摆动推块(6)，所述活塞杆(2)的中部固定连接有阻尼限位块(201)，所述活塞缸缸体(1)底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构(4)，两个所述阻尼机构(4)均由一个固定连接板(401)、一个l形阻尼杆(402)、两个阻尼弹簧(403)和一个限位螺栓(404)组成。2.根据权利要求1所述的一种基片定位装置，其特征在于，所述活塞杆(2)的外部与活塞缸缸体(1)远离驱动连接板(101)的一端穿插连接，所述活塞杆(2)的一端与活塞弹簧(3)的一端固定连接，所述活塞弹簧(3)的另一端与活塞缸缸体(1)内部的一侧固定连接。3.根据权利要求1所述的一种基片定位装置，其特征在于，所述定位销(5)固定安装在活塞杆(2)远离活塞弹簧(3)的一端，所述定位销(5)的中部与锥面摆动推块(6)的一端穿插连接。4.根据权利要求1所述的一种基片定位装置，其特征在于，两个所述固定连接板(401)的中部分别与两个l形阻尼杆(402)底部穿插连接，两个所述限位螺栓(404)的外部分别与两个l形阻尼杆(402)的底端螺纹连接。5.根据权利要求1所述的一种基片定位装置，其特征在于，两个所述阻尼弹簧(403)分别设置在两个l形阻尼杆(402)的外部，两个所述阻尼弹簧(403)的一端分别与螺杆固定连接板(401)的顶部贴合，两个所述阻尼弹簧(403)的另一端分别与两个l形阻尼杆(402)的中部贴合。

技术总结
本实用新型公开了一种基片定位装置，包括活塞缸缸体，活塞缸缸体的一端固定连接有驱动连接板，活塞缸缸体的内部设置有活塞杆和活塞弹簧，活塞杆的一端设置有定位销和锥面摆动推块，活塞杆的中部固定连接有阻尼限位块，活塞缸缸体底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构，两个阻尼机构均由一个固定连接板、一个L形阻尼杆、两个阻尼弹簧和一个限位螺栓组成。该种基片定位装置，当基片移动至锥面摆动推块正前方时，外部气缸通过驱动连接板将整个定位装置前推，使得基片与锥面摆动推块自由接触，属于柔性推基片，并且锥面摆动推块套牢归正，完成基片推正，使基片位置不易偏斜，进而防止基片挤碎。片挤碎。片挤碎。


技术研发人员：吴龙
受保护的技术使用者：天津中科晶禾电子科技有限责任公司
技术研发日：2021.07.09
技术公布日：2022/5/6