一种单晶圆传递装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种单晶圆传递装置。


背景技术：

2.半导体器件是现代日常生活中必不可缺的元器件，广泛应用于消费电子、高速数据通信、光互联以及3d识别等领域。半导体器件的制造通常是在晶圆上进行外延生长、光刻、薄膜、刻蚀等工艺。为了避免单个晶圆在传递过程中意外损伤，晶圆通常储存在晶圆盒内传输于各个工艺站点。
3.在半导体晶圆制备或者工艺研发阶段，时常需要取出特定的晶圆进行不同工艺的作业。工作人员通常是采用真空吸笔，将特定的晶圆从一个晶圆盒内取出，再放置到另一个晶圆盒内，然后将这个放置特定晶圆的晶圆盒通过传递装置传输到需要作业的工艺站点进行作业。
4.但是一个晶圆盒内通常紧密放置有多个晶圆，在使用真空吸笔传递晶圆时，容易划伤晶圆盒内临近的晶圆，并且如果真空吸笔未吸附牢固或者误触使晶圆掉落，也会造成晶圆的损伤甚至裂片。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种单晶圆传递装置，解决了背景技术中指出的将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒的过程中，容易导致晶圆损伤的问题。
6.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：
7.一种单晶圆传递装置，包括基底，所述基底上设有两个对称分布的晶圆盒固定部，所述基底的一端设有推动机构；所述推动机构包括连接板、推进支架和推进器，所述连接板的一端与基底固定连接；所述推进支架包括固定框，所述固定框固定于连接板上，所述固定框内固定有多个固定板，所述固定板沿竖直方向依次等距离排布，每两个相邻的固定板之间预留有推进通道；所述推进器包括推进杆，所述推进杆安装于推进通道内并能够在推进通道内移动，所述推进杆的两端均延伸至推进通道外。
8.通过采用上述方案，当需要在晶圆盒之间传递特定的晶圆时，首先将装有特定晶圆的晶圆盒固定在靠近推动机构一侧的晶圆盒固定部上，将另一个晶圆盒固定在另一个晶圆盒固定部上，使得两个晶圆盒的出口端面对面分布；然后调节推进杆，将推进杆放置在与特定晶圆相对的推进通道内，最后推动推进杆，将晶圆从一个晶圆盒推送到另一个晶圆盒内即可。该装置不仅结构简单，制作成本低，操作便捷，还降低了误伤其他晶圆的风险，并且还使得晶圆能够在两个晶圆盒之间无缝衔接，避免晶圆掉落的问题。
9.进一步，所述推进杆靠近基底的一端固定有柔性板，所述推进杆远离基底的一端固定有推进板；所述固定框内沿竖直方向开设有转换通道，所述转换通道与推进通道连通，所述推进杆能够在转换通道内移动。
10.通过采用上述方案，使用柔性板与晶圆接触，降低了推进杆损伤晶圆的几率，并且
也进一步降低推进器误伤临近晶圆的几率；由于推进杆在端部设置了柔性板，从转换通道内取出较为麻烦，通过设置转换通道，使得推进杆不用取出便能够在固定框内转换不同的推进通道，便于推出特定高度的晶圆。
11.进一步，所述柔性板靠近基底的一侧设有橡胶层。
12.通过采用上述方案，进一步降低柔性板损伤晶圆的几率。
13.进一步，所述固定板上开设有矩形孔，所述矩形孔内滑动安装有限位杆，所述限位杆与固定板之间固定有弹性件，所述限位杆的一端延伸至矩形孔外并设有限位凸起；所述推进杆上开设有与限位凸起相适配的限位滑槽。
14.通过采用上述方案，当推进杆进入不同的推进通道内时，这个推进通道内的限位凸起能够卡进限位滑槽内，使得推进杆只能沿着限位滑槽的方向移动，避免推动推进杆时，推进杆会在推进通道内左右晃动，提高传递晶圆的效率。
15.进一步，所述限位凸起为半圆柱结构，所述限位滑槽的横截面为半圆形结构。
16.通过采用上述方案，使得限位凸起与限位滑槽更好地配合。
17.进一步，所述晶圆盒固定部包括抵板、卡板和放置板，所述抵板、卡板和放置板均固定于基底上，所述卡板固定连接在抵板和置放板之间，所述放置板上设有卡槽。
18.通过采用上述方案，晶圆盒背部的两侧能够抵在抵板的两端上，晶圆盒背部的凸起能够嵌入卡槽内，晶圆盒背部的镂空区能够卡在卡板外，使得晶圆盒固定部的形状能够更好地契合晶圆盒的形状，既便于放置晶圆盒，又能够对晶圆盒起到一个固定作用，提高工作效率。
19.本实用新型的有益效果：
20.本实用新型通过设置推动机构和两个晶圆盒固定部，在两个晶圆盒之间传递特定晶圆时，只需将两个晶圆盒分别固定在两个晶圆盒固定部上，然后将推进器移动到与特定晶圆相同高度的推进通道内，最后推动推进器，将这个特定晶圆从一个晶圆盒内推到另一个晶圆盒内即可。该装置不仅结构简单，制作成本低，操作便捷，还降低了误伤其他晶圆的风险，并且还使得晶圆能够在两个晶圆盒之间无缝衔接，避免晶圆掉落的问题。
附图说明
21.图1是本实用新型实施例的结构示意图；
22.图2是本实用新型实施例工作时的结构示意图；
23.图3是本实用新型实施例的剖视图；
24.图4是本实用新型实施例图3中a处的放大示意图。
25.图中：1、基底；2、晶圆盒固定部；21、抵板；22、卡板；23、放置板；24、卡槽；3、推动机构；31、连接板；32、推进支架；321、固定框；322、固定板；323、推进通道；324、转换通道；325、限位杆；326、限位凸起；327、弹簧；33、推进器；331、推进杆；332、柔性板；333、橡胶层；334、推进板；4、晶圆盒。
具体实施方式
26.以下将结合附图1-图4对本实用新型进行详细说明：
27.实施例：一种单晶圆传递装置，包括基底1，基底1为矩形板，基底1的上侧设有两个
晶圆盒固定部2，两个晶圆盒固定部2对称设置，晶圆盒固定部2包括抵板21、卡板22和放置板23，抵板21、卡板22和放置板23均固定于基底1上，卡板22固定连接在抵板21和置放板之间，抵板21的两端超出卡板22，放置板23的中心位置开设有卡槽24。当放置晶圆盒4时，将晶圆盒4背面底部的两侧抵靠在抵板21超出卡板22的两端上，然后沿着卡板22和放置板23将晶圆盒4缓慢放下，晶圆盒4底部的镂空区能够卡在卡板22外，晶圆盒4底部的凸起能够嵌入卡槽24内，使得晶圆盒4被固定。
28.基底1的右端设有推动机构3，推动机构3包括连接板31、推进支架32和推进器33，连接板31固定在基底1的右端上；推进支架32包括固定框321，固定框321为矩形框架，固定框321固定在连接板31的上侧面，固定框321内固定有多个固定板322，所有固定板322沿竖直方向依次等距离排布，每两个相邻的固定板322之间预留有推进通道323，每一个推进通道323与晶圆盒4内每一层的晶圆位于同等高度；推进器33包括推进杆331，推进杆331为矩形杆，推进杆331位于推进通道323内，并且能够在推进通道323内移动，推进杆331的两端均延伸至推进通道323外，推进杆331的左端固定有柔性板332，柔性板332的左侧面上粘接有一层橡胶层333，推进杆331的右端固定有推进板334。
29.固定框321内沿竖直方向开设有转换通道324，转换通道324将所有固定板322隔断，并且转换通道324与所有推进通道323连通，转换通道324的宽度与推进杆331的宽度相等，便于推进杆331通过转换通道324进入不同的推进通道323。
30.每个固定板322下侧的中心位置均开设有矩形孔，矩形孔内滑动安装有限位杆325，限位杆325的下端延伸至矩形孔外，限位杆325的下端一体成型有半圆柱结构的限位凸起326，限位杆325的上端固定有弹性件，该弹性件为弹簧327，弹簧327也位于矩形孔内，弹簧327的上端固定在矩形孔的顶部内壁上；推进杆331的上侧开设有与限位凸起326相适配的限位滑槽，限位滑槽与推进杆331平行设置，该限位滑槽为半圆形结构，当限位凸起326进入限位滑槽时，推进杆331只能沿着限位滑槽的方向移动，避免推动推进杆331时，推进杆331在推进通道323内晃动。
31.该技术方案的工作原理：当使用该装置在两个晶圆盒4之间传递特定晶圆时，首先将装有特定晶圆的晶圆盒4固定右侧的晶圆盒固定部2上，将另一个晶圆盒4固定在右侧的晶圆盒固定部2上，使得两个晶圆盒4的出口端面对面分布，然后调节推进杆331，将推进杆331移动到与特定晶圆同等高度的推进通道323内，最后往左侧推动推进杆331，将晶圆从一个晶圆盒4推送到另一个晶圆盒4内即可。
32.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。