一种量具的制作方法

1.本技术涉及半导体技术领域，尤其涉及一种量具。


背景技术：

2.在晶圆的制备过程中，需要在刻蚀腔体中对晶圆进行蚀刻，而为了避免注入刻蚀腔体的气体尚未参与反应即被排出反应腔外，通常需要在晶圆上方设置一shroud ring(气体阻挡环)，该气体阻挡环用于将反应气体向刻蚀腔体的中心区域引导，以调节刻蚀腔体内中心区域和边缘区域的气体分布均匀性，从而可以调整刻蚀腔体内气压的均匀性。
3.气体阻挡环上设置有对气体进行疏导的栅格，而随着气体阻挡环的使用时间的增长，栅格的宽度会变得越来越大，这会导致气体阻挡环无法正常使用，因此必须在使用气体阻挡环前对栅格进行测量管控。


技术实现要素：

4.本技术提供一种量具，能够对气体阻挡环的栅格进行测量。
5.具体的，一种量具，用于对气体阻挡环的栅格进行测量，所述量具包括：第一分部；第二分部，与所述第一分部相对设置，且与所述第一分部相间隔；连接部，所述第二分部通过所述连接部与所述第一分部连接；其中，所述第一分部包括靠近所述第二分部的第一侧面，所述第二分部包括靠近所述第二分部的第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面平行设置。
6.在一些实施例中，所述第一分部以及所述第二分部的形状大体呈板状。
7.基于上述实施例，可以减少第一分部和第二分部的体积，同时便于测量人员对量具的握持和使用。
8.在一些实施例中，所述连接部与所述第一分部以及所述第二分部固定连接。
9.基于上述实施例，可以加强连接部与第一分部以及第二分部的连接强度，从而可以通过连接部维持第一分部与第二分部之间的间距，防止第一分部与第二分部之间的间距发生变化影响测量结构。
10.在一些实施例中，所述第一分部与所述第二分部以及所述连接部一体成型。
11.基于上述实施例，进一步提高连接部与第一分部以及第二分部的连接强度。
12.在一些实施例中，所述连接部位于所述第一分部以及所述第二分部的侧方。
13.基于上述实施例，使用量具进行测量时，测量人员可以通过握持连接部来持拿量具，便于测量人员对量具的使用。
14.在一些实施例中，所述连接部的一端与所述第一分部的端面连接，所述连接部的另一端与所述第二分部的端面连接。
15.基于上述实施例，使得量具的整体结构更加紧凑。
16.在一些实施例中，所述连接部与所述第一分部以及所述第二分部围合形成一卡槽结构。
17.基于上述实施例，使用量具进行测量时，将气体阻挡环的内圈与卡槽结构进行卡接，若测量位置处的内圈可以卡接入卡槽结构，则表示测量位置处内圈的厚度小于临界值，即测量位置处的栅格的宽度尺寸不符合规定。
18.在一些实施例中，所述量具的形状大体呈u形。
19.基于上述实施例，进一步提升量具的可握持性，便于测量人员对量具的使用。
20.在一些实施例中，所述第一分部以及所述第二分部均为工程塑料分部。
21.基于上述实施例，工程塑料具有刚性大、蠕变小、机械强度高、耐热性好以及电绝缘性好等性能，使用工程塑料制成的第一分部和第二分部对气体阻挡环的内圈进行测量上，不会对气体阻挡环的表面产生损伤。
22.在一些实施例中，所述第一分部以及所述第二分部均为聚醚醚酮分部。
23.基于上述实施例，聚醚醚酮形成的第一分部和第二分部不会对气体阻挡环的表面产生损伤，且使得第一分部和第二分部具有一定的刚性，可以提升第一分部和第二分部的使用寿命。
24.本技术的有益效果为：利用量具对栅格进行测量时，通过测量气体阻挡环的内圈是否可以插入第一侧面与第二侧面之间，即可确定测量位置处的栅格的宽度尺寸是否符合规定，通过该测量方法可以对内圈的各部位进行测量，从而可以完成所有栅格的测量，从而可以防止因栅格的宽度变大影响晶圆的正常生产。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1为本技术一实施例中气体阻挡环的结构示意图；
27.图2为本技术一实施例中量具的平面结构示意图；
28.图3为本技术一实施例中量具的立体结构示意图；
29.图4为本技术一实施例中使用量具对气体阻挡环的内圈进行测量时，内圈的厚度小于临界值时的示意图；
30.图5为本技术一实施例中使用量具对气体阻挡环的内圈进行测量时，内圈的厚度大于临界值时的示意图。
31.附图标记：
32.10、气体阻挡环；11、本体；12、内圈；13、栅格；20、量具；21、第一分部；211、第一侧面；22、第二分部；221、第二侧面；23、连接部。
具体实施方式
33.为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
34.如图1所示，图1为本技术一实施例中气体阻挡环10的结构示意图。
35.具体的，所述气体阻挡环10包括本体11、位于所述本体11内侧的内圈12以及设置于所述本体11上的多个栅格13，多个所述栅格13设置于所述本体11的侧面上，且绕所述内圈12的周侧排布。
36.栅格13用于对气体进行疏导，以调节刻蚀腔体内中心区域和边缘区域的气体分布均匀性，从而可以调整刻蚀腔体内气压的均匀性，而随着气体阻挡环10的使用时间的增长，栅格13的宽度会变得越来越大，从而会影响晶圆的正常生产。
37.本技术提供一种量具20，用于对气体阻挡环10的栅格13进行测量，以防止因栅格13的宽度变大影响晶圆的正常生产。
38.具体的，如图2至图5所示，所述量具20包括第一分部21、第二分部22以及连接部23。
39.其中，第二分部22与所述第一分部21相对设置，且与所述第一分部21相间隔，即第一分部21与第二分部22之间具有一定的间距。
40.所述第二分部22通过所述连接部23与所述第一分部21连接，连接部23用于连接第一分部21和第二分部22，并用于维持第一分部21与第二分部22之间的间距。
41.具体的，所述第一分部21包括靠近所述第二分部22的第一侧面211，所述第二分部22包括靠近所述第二分部22的第二侧面221，所述第一侧面211与所述第二侧面221平行设置。
42.需要说明的是，由于气体阻挡环10上的栅格13数量较多且较为密集，并且栅格13的宽度也极小，因此直接测量栅格13的宽度具有较大难度，而栅格13的宽度尺寸和气体阻挡环10上与该栅格13对应位置处的内圈12的厚度存在线性关系，并且对应位置处内圈12的厚度大于临界值时，即表示对应的栅格13的宽度尺寸符合规定，气体阻挡环10可以正常使用，因此，通过测量对应位置处内圈12的厚度，可以检测对应的栅格13的宽度尺寸是否符合规定。
43.如图4和图5所示，利用量具20对栅格13进行测量时，第一侧面211以及第二侧面221与本体11的侧面平行，若此时测量位置处的内圈12可以插入第一侧面211与第二侧面221之间，则表示测量位置处内圈12的厚度小于临界值(如图4)，即测量位置处的栅格13的宽度尺寸不符合规定；若测量位置处的内圈12不可以插入第一侧面211与第二侧面221之间，则表示测量位置处内圈12的厚度大于临界值(如图5)，即测量位置处的栅格13的宽度尺寸符合规定，通过该测量方法依次对内圈12的各部位进行测量，即可完成所有栅格13的测量。
44.可以理解的是，第一侧面211与第二侧面221之间的间距尺寸为内圈12的厚度的临界值，内圈12的厚度的临界值可以根据气体阻挡环10的规格尺寸进行选择，一般而言，气体阻挡环10的内圈12的厚度越大，内圈12的厚度的临界值越大。
45.还需要说明的是，采用电子游标卡尺等测量工具对气体阻挡环10的内圈12的厚度进行测量时，测量结果与测量人员的测量手法相关，因此存在较多的人为误差，并且需要人为读取内圈12的厚度的测量数值，并将测量数值与临界值进行比对后，才能确定测量位置处栅格13的宽度尺寸是否符合规定，测量效率较低。
46.而在本技术中，量具20的体积小巧，结构简单，利用量具20对气体阻挡环10的内圈12的厚度进行测量时，采用定量对比的方式进行测量，测量手法简单，测量结果与测量人员
的测量手法的相关性较低，从而可以有效减少人为误差，提高测量精度，并且无需测量内圈12的厚度的具体数值，测量效率较高。
47.继续参见图2至图5所示，在一实施例中，所述第一分部21以及所述第二分部22的形状大体呈板状，以减少第一分部21和第二分部22的体积，同时便于测量人员对量具20的握持和使用。
48.继续参见图2至图5所示，在一实施例中，所述连接部23与所述第一分部21以及所述第二分部22固定连接，以加强连接部23与第一分部21以及第二分部22的连接强度，从而可以通过连接部23维持第一分部21与第二分部22之间的间距，防止第一分部21与第二分部22之间的间距发生变化影响测量结构。
49.其中，所述连接部23可以通过焊接、铆接、螺纹连接或铰接等方式与第一分部21以及所述第二分部22固定连接。当然，所述第一分部21也可以与所述第二分部22以及所述连接部23一体成型，以进一步提高连接部23与第一分部21以及第二分部22的连接强度。
50.需要说明的是，实际实施中，还可以设置为：连接部23与第一分部21以及第二分部22中的一者固定连接，连接部23与第一分部21以及第二分部22中的另一者滑动连接，连接部23的滑动方向为第一分部21以及第二分部22的厚度方向，从而可以通过滑动连接部23调整第一分部21以及第二分部22之间的间距，以适应各种规格尺寸的气体阻挡环10的测量需求。
51.继续参见图2至图5所示，在一实施例中，所述连接部23位于所述第一分部21以及所述第二分部22的侧方。使用量具20进行测量时，测量人员可以通过握持连接部23来持拿量具20，便于测量人员对量具20的使用。
52.其中，所述连接部23的一端与所述第一分部21的端面连接，所述连接部23的另一端与所述第二分部22的端面连接，以使得量具20的整体结构更加紧凑。
53.进一步的，所述连接部23与所述第一分部21以及所述第二分部22围合形成一卡槽结构。使用量具20进行测量时，将气体阻挡环10的内圈12与卡槽结构进行卡接，若测量位置处的内圈12可以卡接入卡槽结构，则表示测量位置处内圈12的厚度小于临界值，即测量位置处的栅格13的宽度尺寸不符合规定。
54.更进一步的，所述量具20的形状大体呈u形，以进一步提升量具20的可握持性，便于测量人员对量具20的使用。
55.当然，实际实施中，也可以将量具20设计成“工”字形、“[”字形或“山”字等。
[0056]
在一实施例中，所述第一分部21以及所述第二分部22均为工程塑料分部，即所述第一分部21以及所述第二分部22的制备材料为工程塑料。工程塑料具有刚性大、蠕变小、机械强度高、耐热性好以及电绝缘性好等性能，使用工程塑料制成的第一分部21和第二分部22对气体阻挡环10的内圈12进行测量上，不会对气体阻挡环10的表面产生损伤。
[0057]
进一步的，所述第一分部21以及所述第二分部22可以均为聚醚醚酮分部，即所述第一分部21以及所述第二分部22的制备材料为聚醚醚酮，聚醚醚酮形成的第一分部21和第二分部22不会对气体阻挡环10的表面产生损伤，且使得第一分部21和第二分部22具有一定的刚性，可以提升第一分部21和第二分部22的使用寿命。
[0058]
其中，连接部23的制备材料可以与第一分部21以及第二分部22的制备材料相同或不同。
[0059]
综上所述，在本技术中，利用量具20对栅格13进行测量时，通过测量气体阻挡环10的内圈12是否可以插入第一侧面211与第二侧面221之间，即可确定测量位置处的栅格13的宽度尺寸是否符合规定，通过该测量方法可以对内圈12的各部位进行测量，从而可以完成所有栅格13的测量，并且量具20的体积小巧，结构简单，利用量具20对气体阻挡环10的内圈12的厚度进行测量时，采用定量对比的方式进行测量，测量手法简单，测量结果与测量人员的测量手法的相关性较低，从而可以有效减少人为误差，提高测量精度，并且无需测量内圈12的厚度的具体数值，测量效率较高。
[0060]
以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。