一种晶圆胶膜裁切用载具的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶圆胶膜裁切用载具，属于晶圆加工技术领域。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在切割时需要在晶圆的圆周外侧设有铁圈，在铁圈的底面上粘贴有胶膜，晶圆粘贴在铁圈的内圈的胶膜上，以便晶圆后续加工工作的进行。
3.现有的晶圆胶膜裁切用载具，其使用不具备限位固定功能，在切割时若是出现误动作导致晶圆偏移，会影响到裁切的效果，而且还会造成不必要的经济损失，所以需要一种晶圆胶膜裁切用载具，以便于供人们使用。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆胶膜裁切用载具，能通过安装铁环内的限位安装孔配合限位安装杆，实现快速安装晶圆，使晶圆的安装偏差较小，利于后续调节与裁切工作的进行，安装后的晶圆，还能在强力弹簧的作用下，通过固定环进行压紧铁环以对晶圆进行限位，防止其安装时出现倾斜，避免影响到后续裁切工作的进行，并且，限位后的晶圆，还可在调节推杆与调节夹持板的工作下进行微调，避免因限位安装孔与限位安装杆之间空隙较大，防止出现裁切偏差而导致材料损坏，防止了造成经济损失，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种晶圆胶膜裁切用载具，包括裁切载具，所述裁切载具的内侧开设有载具槽，所述载具槽的内侧设有安装铁环，所述安装铁环的内侧开设有限位安装孔，所述安装铁环的内侧设有晶圆本体，所述晶圆本体的一侧设有晶圆胶膜，所述裁切载具的内侧固定连接有限位安装杆，所述裁切载具的一侧转动连接有载具封装板，且所述裁切载具的一侧与载具封装板的一侧均设有固定卡扣，所述载具封装板的内侧开设有裁切孔。
7.进一步的，所述限位安装孔的尺寸结构与限位安装杆的尺寸结构相匹配，且所述限位安装孔与限位安装杆均为两个一组且呈环形阵列分布。
8.进一步的，所述裁切载具的左右两端均固定连接有调节推杆，所述调节推杆的一端贯穿裁切载具固定连接有调节夹持板。
9.进一步的，所述调节夹持板呈弧形设置，且所述调节夹持板的一侧设有防静电层。
10.进一步的，所述载具封装板的内侧贯穿滑动连接有调节连杆，所述调节连杆的一端固定连接有固定环，所述固定环的内侧开设有安装接槽，且所述调节连杆与安装接槽的尺寸结构分别与安装铁环和限位安装杆的尺寸结构相匹配。
11.进一步的，所述调节连杆的另一端固定连接有防脱环，所述调节连杆的外侧套接有强力弹簧，且所述强力弹簧的一端固定连接于防脱环，且所述强力弹簧的另一端固定连
接于载具封装板。
12.本实用新型的有益效果是：
13.通过设置的限位安装杆、调节夹持板、固定环与强力弹簧等，能通过安装铁环内的限位安装孔配合限位安装杆，实现快速安装晶圆，使晶圆的安装偏差较小，利于后续调节与裁切工作的进行，安装后的晶圆，还能在强力弹簧的作用下，通过固定环进行压紧铁环以对晶圆进行限位，防止其安装时出现倾斜，避免影响到后续裁切工作的进行，并且，限位后的晶圆，还可在调节推杆与调节夹持板的工作下进行微调，避免因限位安装孔与限位安装杆之间空隙较大，防止出现裁切偏差而导致材料损坏，防止了造成经济损失，值得推广使用。
附图说明
14.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
15.图1是本实用新型一种晶圆胶膜裁切用载具的整体结构示意图；
16.图2是本实用新型一种晶圆胶膜裁切用载具的图2的a处结构示意图；
17.图3是本实用新型一种晶圆胶膜裁切用载具的防脱环的安装结构示意图；
18.图4是本实用新型一种晶圆胶膜裁切用载具的强力弹簧的安装结构示意图；
19.图中标号：1、裁切载具；2、载具槽；3、安装铁环；4、限位安装孔；5、晶圆胶膜；6、晶圆本体；7、限位安装杆；8、调节推杆；9、调节夹持板；10、载具封装板；11、裁切孔；12、调节连杆；13、固定环；14、安装接槽；15、防脱环；16、强力弹簧。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.实施例1，请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：
22.一种晶圆胶膜裁切用载具，包括裁切载具1，裁切载具1的内侧开设有载具槽2，载具槽2的内侧设有安装铁环3，安装铁环3的内侧开设有限位安装孔4，安装铁环3的内侧设有晶圆本体6，晶圆本体6的一侧设有晶圆胶膜5，裁切载具1的内侧固定连接有限位安装杆7，裁切载具1的一侧转动连接有载具封装板10，且裁切载具1的一侧与载具封装板10的一侧均设有固定卡扣，载具封装板10的内侧开设有裁切孔11。
23.作为本实用新型的一种优选技术方案，限位安装孔4的尺寸结构与限位安装杆7的尺寸结构相匹配，且限位安装孔4与限位安装杆7均为两个一组且呈环形阵列分布；方便了进行快速且准确的安放晶圆。
24.作为本实用新型的一种优选技术方案，调节夹持板9呈弧形设置，且调节夹持板9的一侧设有防静电层；对晶圆提供了有效的防护，避免因静电对晶圆造成伤害。
25.作为本实用新型的一种优选技术方案，载具封装板10的内侧贯穿滑动连接有调节连杆12，调节连杆12的一端固定连接有固定环13，固定环13的内侧开设有安装接槽14，且调节连杆12与安装接槽14的尺寸结构分别与安装铁环3和限位安装杆7的尺寸结构相匹配；方
便了对铁环进行限位，防止其出现倾斜安装，避免影响到裁切工作的进行。
26.作为本实用新型的一种优选技术方案，调节连杆12的另一端固定连接有防脱环15，调节连杆12的外侧套接有强力弹簧16，且强力弹簧16的一端固定连接于防脱环15，且强力弹簧16的另一端固定连接于载具封装板10；利用弹簧的弹性性能，有效的对铁环限位的同时，也可使得固定环13自动复位，使用较为方便。
27.实施例2，请参阅图1，本实施例与实施例1的区别在于：
28.裁切载具1的左右两端均固定连接有调节推杆8，调节推杆8的一端贯穿裁切载具1固定连接有调节夹持板9；能够对安放后的晶圆进一步的调节，避免因限位安装孔4与限位安装杆7之间空隙较大，防止出现裁切偏差而导致材料损坏，防止了造成经济损失。
29.本实用新型工作原理：打开载具封装板10后，将带有铁环的晶圆放置到载具槽2内，利用限位安装孔4与限位安装杆7进行快速安装，安装后，关闭载具封装板10，利用固定卡扣进行连接裁切载具1，而在关闭载具封装板10时，固定环13内的安装接槽14会插入限位安装杆7内，并利用强力弹簧16的弹性性能进行压紧限位铁环，随后可通过调节推杆8带动调节夹持板9对安装铁环3进行调节，避免因限位安装孔4与限位安装杆7之间空隙较大，防止出现裁切偏差而导致材料损坏，最后可通过裁切孔11进行裁切。
30.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
31.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。