一种管座芯片共晶装置的制作方法

1.本实用新型涉及共晶领域，具体涉及一种管座芯片共晶装置。


背景技术：

2.目前，现有共晶机在芯片与管座共晶过程中，夹取管座的取料手指需经过多次夹取才成最终完成共晶，造成管座表面划痕多而深，主要原因是手指与定位件多次硬接触管座造成的，因此达不到品质要求。另外现有共晶台均通过加热座加热共晶，由于加热座设置于共晶台下方，共晶台上方空气流动快，因此不能有效控制共晶台上方温度的稳定性，影响共晶效果。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是提供一种管座芯片共晶装置，to管座定位夹取仅需一次夹取即完成共晶，配合真空吸嘴的取料，解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题。且在共晶台上方设置氮气加热装置，保证共晶温度的稳定性，共晶效果好，管座芯片共晶成品达到品质要求。
4.本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种管座芯片共晶装置，包括底座、共晶台和控制系统，所述共晶台下方设有加热座，加热座内设有加热棒，用于加热共晶台，还包括氮气加热装置、to管座定位夹取装置和顶杆定位装置；
5.所述to管座定位夹取装置包括管座吸嘴、手指夹片、导轨滑块和气缸，所述手指夹片固定在导轨滑块两侧，通过气缸实现水平移动，所述管座吸嘴设置于手指夹片中间，通过吸嘴安装座固定，并连接气管接头，外接气源；
6.所述氮气加热装置设置于共晶台一侧，包括氮气加热组件和共晶台罩，所述氮气加热组件包括加热管安装座、加热管、进气铜管和出气铜管，所述出气铜管延升至共晶台罩内。
7.作为一种优选，所述to管座定位夹取装置设置两组，交替使用。
8.作为进一步的改进，所述手指夹片后侧设有弹簧组件，所述弹簧组件包括压缩弹簧和弹簧安装座，所述压缩弹簧与上安装座内所设的孔匹配套接，在手指夹片前后移动时起到缓冲作用。
9.作为进一步的改进，所述导轨滑块通过上安装座和下安装座固定，一侧还设有导轨滑块限位块。
10.作为进一步的改进，所述加热管包括石英玻璃管、上端盖和下端盖，形成一个加热腔体，所述石英玻璃管内设有电炉丝和温度传感器，电炉丝通过电炉丝上接头和电炉丝下接头相连通电。
11.作为一种优选，所述加热管通过加热管安装座上的上下固定板固定。
12.作为进一步的改进，所述加热管安装座顶部设有吹氮气块，吹散共晶台上的空气；所述吹氮气块一侧设有气管连接头。
13.作为一种优选，所述共晶台罩的上面板为玻璃面板。
14.作为进一步的改进，所述顶杆定位装置包括顶杆、顶杆安装座、顶杆气缸、气缸安装座和用于连接顶杆与气缸的连接件。
15.作为进一步的改进，所述顶杆定位装置还包括顶杆限位块，限制顶杆上下滑动的最低位置。
16.本实用新型的有益效果是: 设置to管座定位夹取装置，配合真空吸嘴的取料，手指夹片的定位，to管座定位夹取仅需一次夹取即完成共晶，解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题，具有高精度定位夹取，精度可达微米级别，自动化程度高，大大提高良品率，提高生产效率，节约劳动力。且在共晶台上方设置氮气加热装置，将加热的氮气通过铜管输送至共晶台罩，保证共晶温度的稳定性，共晶效果好，使管座芯片共晶成品达到品质要求。
附图说明
17.图1为本实用新型实施例的结构示意图。
18.图2为本实用新型实施例局部结构示意图一。
19.图3为本实用新型实施例局部结构示意图二。
20.图4为本实用新型实施例to管座定位夹取装置结构示意图。
21.图5为本实用新型实施例氮气加热装置结构示意图。
22.图6为本实用新型实施例氮气加热装置剖视示意图。
23.图7为本实用新型实施例顶杆定位装置剖视示意图。
24.其中，1. 底座；2. 共晶台；3. 加热座；4. 氮气加热装置；5. to管座定位夹取装置；6. 共晶台罩；7. 玻璃面板；8. 加热管安装座；9. 加热管；10. 进气铜管；11. 出气铜管；12. 管座吸嘴；13. 手指夹片；14. 吸嘴安装座；15.气管接头；16. 导轨滑块；17. 限位块；18. 气缸；19. 气缸安装座；20. 上安装座；21. 压缩弹簧；22. 弹簧安装座；23.下安装座；24. 石英玻璃管；25. 上端盖；26. 下端盖；27. 电炉丝；28. 上下固定板；29. 吹氮气块；30. 气管连接头；31.电炉丝上接头；32.电炉丝下接头；33. 顶杆；34. 顶杆安装座；35. 顶杆气缸；36. 气缸安装座；37. 连接件；38. 顶杆限位块；39. to管座；40. 温度传感器。
25.下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
具体实施方式
26.结合附图1、2和3所示，一种管座芯片共晶装置，包括底座1、共晶台2和控制系统，所述共晶台2下方设有加热座3，加热座3内设有加热棒，用于加热共晶台2，然后将管座、热沉和芯片共晶熔合到一起。还包括氮气加热装置4、to管座定位夹取装置5和顶杆定位装置；所述to管座定位夹取装置5设置两组，交替使用，当第一组to管座定位夹取装置5完成管座共晶后，第一组to管座定位夹取装置5退出共晶台，外部吸嘴取走共晶后的管座，同时放入一个新的未共晶的管座。此时，第二组to管座定位夹取装置5把之前取好的管座送入共晶台中共晶，完成共晶后，外部吸嘴取走共晶后的管座，同时放入一个新的未共晶的管座，如此实现交替工作，提高工作效率。
27.如图4所示，所述to管座定位夹取装置5包括管座吸嘴12、手指夹片13、导轨滑块
16、气缸18和气缸安装座19，所述手指夹片13固定在导轨滑块16两侧，通过气缸18实现水平移动，定位to管座39的中心位置。所述管座吸嘴12设置于手指夹片13中间，通过吸嘴安装座14固定，并连接气管接头15，外接气管；所述导轨滑块16通过上安装座20和下安装座23固定，可以使手指夹片13高精度开合水平移动，导轨滑块16一侧还设有限制导轨滑块前后移动的限位块17。所述手指夹片13后侧设有弹簧组件，所述弹簧组件包括压缩弹簧21和弹簧安装座22，所述压缩弹簧21与上安装座20内所设的孔匹配套接，在手指夹片13前后移动时起到缓冲作用。
28.工作时，to管座定位夹取装置5从外部取料吸嘴上把需共晶的to管座39放到管座吸嘴12上，通过左右两个手指夹片13夹紧定位，定位完成后，管座吸嘴12抽真空吸住to管座39，然后将to管座39送到共晶台2中。此时压缩弹簧21起到缓冲作用，防止管座吸嘴12力过大损坏to管座39。to管座39与共晶台2接触后，手指夹片13通过气缸18往两侧打开，与to管座39不接触，防止顶杆33动作时手指夹片13划伤to管座39表面。管座吸嘴12在共晶过程中一直处于抽真空状态，真空状态是通过吸嘴安装座8和气管接头4与外部气路相连来实现的。手指夹片13安装在高精度导轨滑块16上，通过气缸18实现高精度的开合动作。
29.结合附图1、5和6所示，所述氮气加热装置4设置于共晶台2一侧，包括氮气加热组件和共晶台罩6，所述氮气加热组件包括加热管安装座8、加热管9、进气铜管10和出气铜管11，所述出气铜管11延升至共晶台罩6内，所述共晶台罩6的上面板为玻璃面板7，方便观察，更好的保证产品共晶的稳定性。所述加热管9包括石英玻璃管24、上端盖25和下端盖26，形成一个加热腔体，所述石英玻璃管24内设有电炉丝27和温度传感器40，电炉丝27通过电炉丝上接头31和电炉丝下接头32相连通电。所述加热管9通过加热管安装座8上的上下固定板28固定。所述加热管安装座8顶部设有吹氮气块29，吹散共晶台上的空气；所述吹氮气块29一侧设有气管连接头30。
30.工作时，电炉丝27通电发热后使加热管9内氮气加热至420℃，英玻璃管24、上端盖25和下端盖26形成一个加热腔体，在连接处涂上耐高温密封胶。加热后的氮气从下端盖26上所设的进气铜管10进入，再从上端盖25上所设的出气铜管11出来，通过出气铜管11吹入共晶台罩6中，使共晶台2上方的温度保持稳定。
31.如图7所示，所述顶杆定位装置包括顶杆33、顶杆安装座34、顶杆气缸35、气缸安装座36和用于连接顶杆与气缸的连接件37。所述顶杆定位装置还包括顶杆限位块38，限制顶杆33上下滑动的最低位置。
32.工作时，通过顶杆气缸35推动气缸顶杆连接块38和顶杆安装座36，驱动顶杆33向上压紧to管座39，实现to管座39在垂直方向上的定位。
33.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。