一种石英舟的制作方法

1.本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，具体涉及一种石英舟。


背景技术：

2.石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业，其中应用较为广泛的器具包括石英舟。在硅片太阳能电池的制备过程中，石英舟是装载、转移硅片的用具，具体是把硅片直立密排插片在石英舟卡槽内，使硅片在反应室内进行工艺作业；其主要用途有：在太阳能电池的扩散、退火过程中装载硅片，使其相互间不接触，同时降低裂片率；此外在各工序之间的转移，也需用到石英舟。
3.传统的石英舟的尺寸是固定的，仅能装载特定尺寸的硅片(整片硅片)，随着光伏产业的不断发展，增加硅片电池发电量和降低内部功率损耗要求不断提高，出现半片电池，半片电池的电流只有原来的一半，因此功率损耗较低。原有的石英舟已不适用于现有的半片电池的生产过程；此外，由于传统石英舟本身强度有限，当其装载硅片的量较高时，容易发生石英舟的变形、破裂，进而带来巨大经济损失；最重要的是，现有的石英舟的结构，导致其制备工序复杂。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种石英舟。
5.本实用新型第一方面提供了一种石英舟，所述石英舟，包括：
6.端板，所述端板包括平行设置的第一端板和第二端板；
7.固定部，所述固定部垂直连接所述第一端板和第二端板；包括隔离棒，和设于所述隔离棒两侧的固定棒；
8.支撑部，所述支撑部垂直连接所述第一端板和第二端板；包括至少两条平行设置的支撑棒；所述固定部位于所述支撑棒所在平面的同一侧；
9.所述固定部和所述支撑部上设有限位槽；
10.加强部，所述加强部包括隔板；所述隔板设于所述第一端板和第二端板之间，所述支撑部和加强部垂直并贯穿所述隔板；所述隔板为一体成型。
11.根据本实用新型实施方式的石英舟，至少具有如下技术效果：
12.(1)本实用新型提供的石英舟中，支撑部和固定部之间可形成两个硅片的容置空间，因此可容纳两列硅片，因此可提升硅片太阳能电池的生产效率。
13.(2)本实用新型提供的石英舟中，包括加强部，具体的隔板的设置避免了石英舟过长、装载量过多，导致的支撑棒的断裂。
14.(3)本实用新型提供的石英舟中，隔板是一个整体，而不是由连接固定部和支撑部的焊条组成，这一方面进一步提升了石英舟的强度(无焊点)，另一方面整体隔板在所述石英舟的制备过程中，还可起到固定、定位(支撑部和固定部)的作用，最重要的是在其他部件
穿过端板处，仅需进行一次焊接，不需要进行多次焊接，简化了石英舟的制备过程。
15.(4)本实用新型提供的石英舟中，固定部中的隔离棒与固定棒，以及支撑部中的支撑棒，甚至加强部中的加强棒，均贯穿隔板设置，而不是在隔板处焊接，因此避免了焊点过多带来的强度下降。
16.根据本实用新型的一些实施方式，所述隔离棒、固定棒和支撑棒上设有限位槽。
17.所述限位槽等间隔设置，可限定硅片的位置，保证硅片的准确位置并且不会移位，以便顺利进行工艺作业。
18.根据本实用新型的一些实施方式，所述隔离棒和两根所述固定棒的距离可以相等也可以不相等，具体可根据需容纳的硅片的尺寸进行调整。
19.根据本实用新型的一些实施方式，两根所述固定棒与所述支撑棒形成平面间的距离可以相等也可以不相等，即所述固定棒的高度可以依据需容纳的硅片的尺寸进行调整。
20.根据本实用新型的一些实施方式，所述隔离棒和固定棒的截面为圆形、多边形和圆角多边形中的至少一种。
21.根据本实用新型的一些优选的实施方式，所述隔离棒和固定棒的截面为多边形。
22.根据本实用新型的一些优选的实施方式，所述隔离棒和固定棒的截面为菱形。
23.根据本实用新型的一些实施方式，所述支撑棒的条数≥4。
24.根据本实用新型的一些实施方式，所述支撑棒的截面为圆形、多边形和圆角多边形中的至少一种。
25.根据本实用新型的一些实施方式，所述支撑棒的截面为圆形。
26.根据本实用新型的一些实施方式，所述第一端板上设有舟脚a，所述第二端板上设有舟脚b，所述隔板上设有舟脚c。
27.根据本实用新型的一些实施方式，所述舟脚a～舟脚c的最低点位于同一平面上，起到支撑所述石英舟的作用。
28.根据本实用新型的一些实施方式，所述隔板的个数≥2。
29.根据本实用新型的一些实施方式，所述隔板上设有孔。
30.根据本实用新型的一些实施方式，所述隔板上的孔可以是任意形状。
31.根据本实用新型的一些实施方式，所述隔板上的孔的个数≥2。
32.所述隔板中留有的孔，可以保证在硅片的处理过程中，气流不受阻碍，气氛稳定、受热均匀。
33.根据本实用新型的一些实施方式，所述加强部还包括加强棒，所述加强棒垂直连接所述第一端板、第二端板和隔板。
34.根据本实用新型的一些实施方式，所述加强棒的截面为圆形、多边形和圆角多边形中的至少一种。
35.根据本实用新型的一些优选的实施方式，所述加强棒的截面为圆形。
36.加强棒进一步提升了整个石英舟的结构稳定性，抑制了其在承重作用下的变形。
37.根据本实用新型的一些实施方式，所述加强部还包括承重块，所述承重块设于所述端板内侧表面，且支撑所述支撑部。
38.所述承重块对支撑杆起支撑作用，避免支撑杆与端板之间焊点脱落带来的样品损坏，提升了硅片太阳能电池制备过程中的良率。
39.根据本实用新型的一些实施方式，在所述石英舟的俯视视图中，所述隔离棒和固定棒形成的两个间隔中，分别设有两条支撑棒；两条支撑棒、隔离棒和固定棒形成硅片的容置空间；所述石英舟有至少两列硅片的容置空间。
40.根据本实用新型的一些实施方式，所述端板的外侧设有手持部。
41.根据本实用新型的一些实施方式，所述手持部贯穿所述端板与所述承重块形成固定连接。
42.在所述石英舟转移过程中，所述手持部提供了搬运的受力点。
43.当所述手持部和所述承重块固定连接时，在石英舟的制备过程中，可以采用一体成型的石英块穿过所述端板，进而在端板两侧分别形成所述承重块和手持部，这样一方面可简化所述石英舟的制备过程，另一方面整块的石英块，相较于焊接连接的承重块，强度更高，进一步提升了所述石英舟的强度。
44.根据本实用新型的一些实施方式，所述加强部还包括加强筋，所述加强筋垂直连接所述固定棒和加强棒。
45.所述加强筋可进一步限定所述石英舟，避免其承重变形。
46.根据本实用新型的一些实施方式，所述加强棒和相邻的一根支撑棒间并列设置。
47.当所述加强棒和所述支撑棒之间并列设置时，在所述石英舟的制备过程中，可将两者焊接后再与所述端板和隔板连接，所述加强棒和支撑棒焊接后的部件截面为哑铃状，同时充当加强棒和支撑棒，进一步简化所述石英舟的制备过程。
48.根据本实用新型的一些实施方式，所述固定棒与所述端板和隔板可拆卸连接。
49.所述可拆卸连接，可根据需要调整所述固定棒、隔离棒和支撑棒之间形成硅片容置位置的大小，使其适应于更多尺寸硅片的制备过程，拓宽了所述石英舟的应用领域。
50.根据本实用新型的一些实施方式，所述端板上设有与所述固定棒相匹配的端板轨槽；所述隔板上设有与所述固定棒相匹配的隔板轨槽。
51.所述轨槽为锯齿形，生产过程中可根据需要进行所述固定棒的位置调整。
附图说明
52.图1为本实用新型实施例的一种石英舟的结构示意图；
53.图2为图1所示石英舟的a-a向视图；
54.图3为图1所示石英舟的固定棒和隔离棒的相对位置示意图；
55.图4为图1所示石英舟的隔板的结构示意图；
56.图5为图1所示石英舟转载硅片后的示意图；
57.图6为本实用新型实施例中第二种石英舟的a-a向视图；
58.图7为本实用新型实施例中第三种石英舟的a-a向视图；
59.图8为本实用新型实施例中第四种石英舟的a-a向视图；
60.附图标记：
61.110、第一端板；111、舟脚a；120、第二端板；121、舟脚b；
62.210、固定棒；220、隔离棒；
63.310、支撑棒；
64.410、隔板；411、孔；412舟脚c；420、加强棒；430、承重块；440、加强筋；
65.500、手持部；
66.610、端板轨槽；
67.700、硅片。
具体实施方式
68.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
69.在本实用新型的描述中，如果有描述到第一、第二、第三等只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
70.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
71.本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
72.如无特殊说明，具体实施方式部分中提到的部件，均为石英部件。
73.参考图1～5描述本实用新型实施例第一方面的石英舟。
74.一种石英舟，由端板、固定部、支撑部、加强部和手持部500组成；图1是本实施例中石英舟的结构示意图，图2是图1所示石英舟a-a向视图，具体显示了固定部、支撑部以及部分加强部在第一端板110上的投影；
75.端板包括平行设置的第一端板110和第二端板120；第一端板110上设有舟脚a111(图中未显示，表示第一端板110与地面接触的部位)；第二端板120上设有舟脚b121；端板对整个石英舟起支撑作用；
76.固定部垂直连接第一端板110和第二端板120；由隔离棒220，和对称设于隔离棒220两侧的固定棒210组成；如图3俯视视角的相对位置示意图中所示，隔离棒220和固定棒210的截面形状为菱形，且隔离棒220和固定棒210上均设有与硅片700厚度相匹配的槽；固定部用于固定放置于其中的硅片700，避免其大幅运动；隔离棒220和固定棒210之间的距离，应与硅片700的宽度相匹配；
77.支撑部垂直连接第一端板110和第二端板120；由四条平行设置的支撑棒310组成(生产中，支撑棒310的数量可根据所需承受的硅片700的重量进行增设，至少应为两根)；支撑棒310平行设于固定部下方；支撑棒的截面为圆形，朝向固定部的一侧设有限位槽(槽的形状与图3所述固定部上设置的槽相同)；一根隔离棒220、一根固定棒210和两根支撑棒310共同构成硅片700的容置空间；
78.加强部由隔板410、加强棒420、承重块430和加强筋440组成；两个隔板410等距，且平行设于第二端板120和第一端板110之间，固定部和支撑部均贯穿隔板410；隔板上设有供
气体流动的孔411、提供支撑作用的舟脚c412；以及供其他部件穿过的通孔，具体结构如图4所示；加强棒420垂直连接第一端板110和第二端板120；截面为圆形，设置于固定棒210的正下方，支撑棒310的侧下方；其中固定棒210和加强棒420之间通过加强筋440垂直连接；承重块430设于端板内侧表面，且支撑部；支撑部的作用是提升石英舟的强度，确保在装载量提升的前提下，不发生破裂、变形等问题；
79.手持部500设于端板的外侧，作为石英舟转移过程中的受力点(如图2中虚线部分所示)。
80.当本实施例的石英舟装载有硅片700时，其示意图如图5所示，本实施例中的石英舟，由于加强部加强作用，因此可提升其对硅片700的装载量，由于其采用的隔板是整体的，因此简化了石英舟的制备过程。
81.作为本实用新型的第二种实施方式，参考图6所示(视图角度与图2相同)具体与图1所示石英舟的的区别在于：
82.两个手持部500分别贯穿第一端板110和第二端板120，并与承重块430固定连接，因此在石英舟的制备过程中，手持部500和承重块430是一体成型的，因此结构更加牢固；从图6中看，手持部500和承重块430在第一端板110上的投影恰好重合。
83.作为本实用新型的第三种实施方式，参考图7所示(视图角度与图2相同)，具体与图6所示石英舟的区别在于：
84.加强棒420平移至与支撑棒310相切的位置，同时加强筋440依旧同时垂直固定棒210和加强棒420；如此，在石英舟的制备过程中可以将加强棒420和相邻的一根支撑棒310先焊接，形成截面为哑铃状的部件后，再与其他部件进行组装，如此会简化石英舟的制备过程。
85.作为本实用新型的第四种实施方式，参考图8所示(视图角度与图2相同)，具体与图6所示石英舟的区别在于：
86.图8所示石英舟中固定棒210与端板和隔板410之间呈可拆卸连接；且省略了加强筋440；
87.可拆卸连接的实现方式为，端板上设有锯齿状的端板轨槽610，隔板410上设有与端板轨槽610形状相同的隔板轨槽；由于隔离棒220、支撑部以及加强棒420对石英舟的固定作用，因此在移动固定棒210的过程中，石英舟并不会发生变形。
88.本实用新型通过调整现有石英舟的结构，提升了其对硅片700的装载量，提升了其强度，更拓宽了同一个石英舟对不同尺寸硅片700的适应性。
89.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。