一种循环系统的制作方法

1.本实用新型涉及循环槽技术领域，尤其涉及一种循环系统。


背景技术：

2.随着半导体行业的发展，各项湿法工艺制程的不断优化，为了提高药液或纯水的利用率，往往对其进行循环流动使用，能提高湿法制程效果，并节省成本。液体在储存槽进行循环时，管路进出流速以及泵体的运行频率往往难以精准控制，就会造成槽体液位失衡；当流入速度大于流出速率时，槽体液位会不断升高并注满，并随着时间的推移，槽体内部压力会越来越大，有严重的爆炸安全隐患。


技术实现要素：

3.鉴于上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种循环系统，旨在解决槽体液位过高或者压力过大的问题，以提高湿法工艺制程的安全性。
4.一种循环系统，包括：
5.循环存储槽，包括密封槽体、进口管和出口管，所述密封槽体分别与所述进口管、所述出口管连通，存储物通过所述进口管流入所述密封槽体内，所述存储物通过所述出口管流出所述密封槽体；
6.高位溢流排放装置，设置在所述密封槽体的侧壁上，包括高位溢流管，所述密封槽体内超过阈值液位的所述存储物通过所述高位溢流管对外排放。
7.上述循环系统，通过在密封槽本体的侧壁上设置包含高位溢流管的高位溢流排放装置，密封槽体内超过阈值液位的存储物通过高位溢流管对外排放，避免了密封槽体内液位或压力过高，更避免了由密封槽体内液位或压力过高可能导致的槽体炸裂等安全隐患，从而提高了湿法工艺制程的安全性。本实用新型提高的循环系统还具有结构简单、实用性强和成本较低的优点。
8.可选的，所述高位溢流排放装置，还包括：
9.高位溢流孔槽，设置在所述密封槽体的侧壁上，包括高位溢流槽体和高位溢流孔，所述高位溢流槽体通过所述高位溢流孔与所述高位溢流管连通，所述密封槽体内的存储物通过所述高位溢流槽体的第一平面流入所述高位溢流槽体内，所述高位溢流槽体内超过阈值液位的所述存储物通过所述高位溢流孔及所述高位溢流管对外排放，所述第一平面平行于所述密封槽体的底面。
10.可选的，所述第一平面为远离所述密封槽体底面的一面。
11.可选的，所述高位溢流排放装置，还包括：
12.液位传感器，设置在所述高位溢流槽上，用于采集所述高位溢流槽的液位；
13.液位调节阀，设置在所述高位溢流管上，用于调节所述高位溢流管内所述存储物的流量；
14.控制模块，设置在所述高位溢流槽体上，分别与所述液位传感器及所述液位调节
阀连接。
15.可选的，所述控制模块中设有比较电路、第一执行电路、第二执行电路及第三执行电路，所述比较电路分别与所述液位传感器、所述第一执行电路、所述第二执行电路及所述第三执行电路连接，所述比较电路中设有两个阈值，所述第一执行电路、所述第二执行电路及所述第三执行电路分别与所述液位调节阀连接。
16.可选的，所述高位溢流管的管径大于所述出口管的管径，所述高位溢流管的管径大于所述进口管的管径。
17.可选的，所述密封槽体上设有进口孔和出口孔，所述密封槽体通过所述进口孔与所述进口管连通，所述密封槽体通过所述出口孔与和所述出口管连通。
18.可选的，所述出口孔设置在所述密封槽体的底面，所述进口孔的设置在所述密封槽体的顶面。
19.可选的，所述循环系统还包括进口调节阀，所述进口调节阀设置在所述进口管上。
20.可选的，所述循环系统还包括出口调节阀，所述出口调节阀设置在所述出口管上。
附图说明
21.图1为本技术在一实施例中的循环系统的一结构示意图；
22.图2为本技术在一实施例中的循环系统的另一结构示意图；
23.图3为本技术在一实施例中的高位溢流装置内部电气连接关系的示意图。
24.附图标记说明：
25.1-密封槽体；2-进口管；3-出口管；4-高位溢流管；5-高位溢流孔槽；
26.6-液位传感器；7-液位调节阀；8-控制模块。
具体实施方式
27.为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施方式。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本技术的公开内容理解的更加透彻全面。
28.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。
29.在湿法工艺制程中，为了提高药液或纯水的利用率，往往对其进行循环流动使用。然而，当流入速度大于流出速率时，槽体液位会不断升高并注满，并随着时间的推移，槽体内部压力会越来越大，有严重的爆炸安全隐患。
30.基于此，本技术希望提供一种能够解决上述技术问题的方案，其详细内容将在后续实施例中得以阐述。
31.请参阅图1，图1为本技术在一实施例中的循环系统的一结构示意图。循环系统包括：循环存储槽，包括密封槽体1、进口管2和出口管3，密封槽体1分别与进口管2、出口管3连通，存储物通过进口管2流入密封槽体1内，存储物通过出口管3流出密封槽体1；高位溢流排放装置，设置在密封槽体1的侧壁上，包括高位溢流管4，密封槽体1内超过阈值液位的存储
物通过高位溢流管4对外排放。在湿法工艺制程中，密封槽体1用于存储存储物(药液或纯水)，密封槽体1内超过阈值液位的存储物通过高位溢流管4对外排放，避免了密封槽体1内液位或压力过高的问题。
32.请参阅图2，图2为本技术在一实施例中的循环系统的另一结构示意图。高位溢流排放装置包括高位溢流孔槽5，设置在密封槽体1的侧壁上，包括高位溢流槽体和高位溢流孔，通过高位溢流孔与高位溢流管4连通，密封槽体1内的存储物通过高位溢流槽体的第一平面流入高位溢流槽体内，高位溢流槽体内超过阈值液位的存储物通过高位溢流孔及高位溢流管4对外排放，第一平面平行于密封槽体1的底面。其中，密封槽体1的底面为密封槽体1靠近地面的一面。
33.在一实施例中，第一平面为远离密封槽体1底面的一面，即第一平面为高位溢流槽体的顶面，其中，高位溢流槽体的顶面为高位溢流槽体远离地面的一面。为了避免密封槽体1内存储物通过高位溢流管4排放过多从而导致密封槽体1内存储物流失过多的问题，采用高位溢流槽体开口的结构，使得密封槽体1内的存储物通过高位溢流槽体顶面后，再流入高位溢流槽体，对密封槽体1内存储物的排放起到延缓的作用，避免了存储物的浪费。
34.请参阅图3，图3为本技术在一实施例中的高位溢流装置内部电气连接关系的示意图。高位溢流排放装置还包括液位传感器6，设置在高位溢流槽上，用于采集高位溢流槽的液位；液位调节阀7，设置在高位溢流管4上，用于调节高位溢流管4内存储物的流量；控制模块8，设置在高位溢流槽体上，分别与液位传感器6及液位调节阀7连接。液位传感器6采集高位溢流槽体的液位，并将采集到的液位传送给控制模块8，控制模块8接收液位传感器6所采集的高位溢流槽体的液位；控制模块8将接收的液位和液位阈值进行比较，若接收的液位大于液位阈值，生成调节指令，调节指令为调节液位调节阀7开关以及开关程度的指令；控制模块8将调节指令发送给液位调节阀7，液位调节阀7接收到调节指令后完成开关和开关程度的调节。通过采集到的高位溢流槽的液位调节液位调节阀7既能避免密封槽体1内液位或压力过高的问题，也能避免密封槽体1存储物过多通过高位溢流管4排放的问题。
35.在一实施例中，控制模块8中设有比较电路、第一执行电路、第二执行电路及第三执行电路，比较电路分别与液位传感器6、第一执行电路、第二执行电路及第三执行电路连接，比较电路中设有两个阈值，第一执行电路、第二执行电路及第三执行电路分别与液位调节阀7连接，其中两个阈值包括第一液位阈值和第二液位阈值。
36.在一实施例中，液位传感器6采集高位溢流槽的液位，并将采集到的液位发送给控制模块8。比较电路将控制模块8接收到的液位与第一液位阈值进行比较，当高位溢流槽液位低于第一液位阈值时，比较电路将比较结果发送至第一执行电路，第一执行电路将自动阀保持关闭状态的信号发送给液位调节阀7，液位调节阀7为关闭状态。当高位溢流槽液位高于第一液位阈值时，比较电路将控制模块8接收到的液位与第二液位阈值进行比较，当高位溢流槽液位低于第二液位阈值时，比较电路将比较结果发送至第二执行电路，第二执行电路将自动阀保持45
°
开的信号发送给液位调节阀7，液位调节阀7调节至45
°
开。当高位溢流槽液位高于第二液位阈值时，比较电路将比较结果发送至第三执行电路，第三执行电路将自动阀为全开的信号发送给液位调节阀7，液位调节阀7调节至全开。通过采集到的高位溢流槽液位调节液位调节阀7的开关程度既能避免密封槽体1内液位或压力过高的问题，也能避免密封槽体1存储物过多通过高位溢流管4排放的问题。
37.在一实施例中，高位溢流管4的管径大于出口管3的管径，高位溢流管4的管径大于进口管2的管径。通过采用高位溢流管4的管径大于出口管3的管径和高位溢流管4的管径大于进口管2的管径可以避免密封槽体1内液位或压力过高的问题。
38.在一实施例中，密封槽体1上设有进口孔和出口孔，密封槽体1通过进口孔与进口管2连通，密封槽体1通过出口孔与和出口管3连通。具体地，进口孔的设置在密封槽体1的顶面，其中，密封槽体1的顶面为密封槽体1远离地面的一面。以地面为参考系，若将进口孔设置在密封槽体1侧壁较低的位置，当密封槽体1内液位过高时，存储物通过进口孔流入密封槽体1会受到位于密封槽体1内液位较高的存储物的阻碍，通过将进口孔的设置在密封槽体1的顶面，便于存储物通过进口孔流入密封槽体1。
39.在一实施例中，出口孔设置在密封槽体1的底面，以地面为参考系，若将出口孔设置在密封槽体1侧壁较高的位置，当密封槽体1内液位过低时，密封槽体1内的存储物不能直接通过出口孔直接流出密封槽体1，通过将出口孔的设置在密封槽体1的底面，便于密封槽体1内存储物通过出口孔流出。
40.在一实施例中，循环系统还包括进口调节阀，设置在进口管2上，密封槽体1液位过高时，可以通过调小进口调节阀的阀门开度来降低密封槽体1液位，从而避免密封槽体1内液位或压力过高的问题。
41.在一实施例中，循环系统还包括出口调节阀，设置在出口管3上，当密封槽体1内存储物通过高位溢流装置排放过多而导致密封槽体1液位过低时，可以通过调小出口调节阀的阀门开度来避免密封槽体1内存储物排放过多从而导致密封槽体1内存储物流失过多的问题。
42.应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。