一种晶圆载具的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆载具领域，具体是涉及一种晶圆载具。


背景技术：

2.在半导体传载产业中，各种半导体组件或半导体半成品的储存或传送已经成为相当重要的问题。在自动化机台已经普遍被使用的情况下，如何将所需的材料或是半导体组件运送到所需之处，考验的将会是载具的各项性质，例如减少微小粒子产生、抗静电或是气密性等性质。其中，晶圆载具亦可称为贴合框架，又其主要的功能是作为晶圆切割时固定用的半导体组件。而晶圆载具多半通过特别的载具运送。
3.企业在生产加工晶圆之后，经常需要利用到相对应的载具来对其进行放置，而现有的晶圆载具在实际使用的过程中，尽管可以实现对晶圆的放置作用，但是其自身缺乏相对应的防护结构，从而容易受到外界碰撞而发生弯曲变形，进而不利于操作人员的长期使用，因此需要对其进行改进，且现有的晶圆载具不便于移动，移动过程中晶圆容易滑落。为解决上述问题，有必要提供一种晶圆载具。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，提供一种晶圆载具，本技术方案解决了上述背景技术中提出的自身缺乏相对应的防护结构，从而容易受到外界碰撞而发生弯曲变形，进而不利于操作人员的长期使用和现有的晶圆载具不便于移动，移动过程中晶圆容易滑落的问题。
5.为达到以上目的，本实用新型采用的技术方案为：
6.一种晶圆载具，包括两个支撑架，两个所述支撑架顶部之间固定连接有顶板，顶板顶部中间固定连接有上托板，上托板左端与左侧所述支撑架固定连接，上托板右端与右侧所述支撑架固定连接，两个所述支撑架底部之间固定连接有横板，横板顶部固定连接有底板，底板两端分别与对应所述支撑架固定连接，支撑架侧面开设有开口，支撑架侧面开口内固定连接有若干个支撑柱，支撑柱内侧表面固定连接有若干个支撑件，支撑架后方内侧固定连接有若干个后托块，支撑架前端内侧固定连接有若干个前托块。
7.优选的，所述上托板顶部中间固定连接有两个固定条，固定条两端均转动连接有提拉把手，上托板顶部两端均固定连接有若干个边块，边块外侧固定连接在支撑架顶部内侧。
8.优选的，右侧所述支撑架前端固定连接有挡件，挡件与支撑架所呈夹角为四十五度。
9.优选的，两个支撑架平行设置。
10.优选的，多个所述支撑件等间距排列在支撑柱表面。
11.优选的，多个所述前托块和后托块分别等间距排列在支撑架的前后两端。
12.优选的，相邻所述后托块之间的间距与相邻所述支撑件之间的间距相等。
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆载具，具备以下有益效果：
14.1、通过设置支撑件和后托块，可以将晶圆分别放在支撑件和后托块上，从而将晶圆分开放置，便于管理和转移单个晶圆，并且该装置的尺寸与晶圆相匹配，晶圆左右两端抵接在支撑架内侧，从而当外部撞击该装置时，晶圆不会与支撑架发生相对位移，从而不会与支撑架发生撞击，使得晶圆发生弯曲变形；
15.2、通过设置固定条和提拉把手，当要对该装置进行转移时，通过抓取提拉把手，就能十分便捷的移动该装置，同时配合挡件倾斜该装置，避免晶圆在移动过程中跌落，使晶圆产生不必要的损伤。
附图说明
16.图1为本实用新型的正面立体结构示意图；
17.图2为本实用新型的俯视结构示意图；
18.图3为本实用新型的正视结构示意图。
19.图中标号为：
20.101、支撑架；102、支撑柱；103、支撑件；104、顶板；105、后托块；106、横板；107、底板；108、挡件；109、前托块；
21.201、上托板；202、固定条；203、边块；204、提拉把手。
具体实施方式
22.以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
23.参照图1-3所示，一种晶圆载具，包括两个支撑架101，两个所述支撑架101顶部之间固定连接有顶板104，顶板104顶部中间固定连接有上托板201，上托板201左端与左侧所述支撑架101固定连接，上托板201右端与右侧所述支撑架101固定连接，两个所述支撑架101底部之间固定连接有横板106，横板106顶部固定连接有底板107，底板107两端分别与对应所述支撑架101固定连接，支撑架101侧面开设有开口，支撑架101侧面开口内固定连接有若干个支撑柱102，多个支撑柱102对支撑架101的强度进行了补强，使得支撑架101不容易在撞击下变形，支撑柱102内侧表面固定连接有若干个支撑件103，支撑架101后方内侧固定连接有若干个后托块105，支撑架101前端内侧固定连接有若干个前托块109；
24.参照图1，使用时，将晶圆横着从相邻后托块105的空隙中插入，并继续水平插入，直到晶圆被支撑件103所支撑，则完成对晶圆的放置；
25.参照图1和图2，在转移该装置时，提拉把手204转动并垂直竖起，由于提拉把手204的把手端为倾斜的杆，在提拉时，该倾斜杆由于人的习惯，自动保持水平，因而导致支撑架101前端下降，从而晶圆是有向挡件108滑落的趋势，但由于挡件108，所以晶圆不会滑落，同时，支撑架101后端略微上翘，晶圆不可能从后托块105处滑出，因而在提拉转移过程中，该装置可以避免晶圆滑落。
26.具体的，上托板201顶部中间固定连接有两个固定条202，固定条202两端均转动连接有提拉把手204，上托板201顶部两端均固定连接有若干个边块203，边块203外侧固定连接在支撑架101顶部内侧。
27.右侧所述支撑架101前端固定连接有挡件108，挡件108与支撑架101所呈夹角为四
十五度，两个支撑架101平行设置，多个所述支撑件103等间距排列在支撑柱102表面，多个所述前托块109和后托块105分别等间距排列在支撑架101的前后两端，相邻所述后托块105之间的间距与相邻所述支撑件103之间的间距相等。
28.本实用新型的工作原理及使用流程：通过设置支撑件103和后托块105，可以将晶圆分别放在支撑件103和后托块105上，从而将晶圆分开放置，并且该装置的尺寸与晶圆相匹配，晶圆左右两端抵接在支撑架101内侧，从而当外部撞击该装置时，晶圆不会与支撑架101发生相对位移，从而不会与支撑架101发生撞击，使得晶圆发生弯曲变形；通过设置固定条202和提拉把手204，当要对该装置进行转移时，通过抓取提拉把手204，就能十分便捷的移动该装置，避免装置在移动过程中跌落，使晶圆产生不必要的损伤。
29.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。


技术特征：
1.一种晶圆载具，其特征在于，包括两个支撑架（101），两个所述支撑架（101）顶部之间固定连接有顶板（104），顶板（104）顶部中间固定连接有上托板（201），上托板（201）左端与左侧所述支撑架（101）固定连接，上托板（201）右端与右侧所述支撑架（101）固定连接，两个所述支撑架（101）底部之间固定连接有横板（106），横板（106）顶部固定连接有底板（107），底板（107）两端分别与对应所述支撑架（101）固定连接，支撑架（101）侧面开设有开口，支撑架（101）侧面开口内固定连接有若干个支撑柱（102），支撑柱（102）内侧表面固定连接有若干个支撑件（103），支撑架（101）后方内侧固定连接有若干个后托块（105），支撑架（101）前端内侧固定连接有若干个前托块（109）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述上托板（201）顶部中间固定连接有两个固定条（202），固定条（202）两端均转动连接有提拉把手（204），上托板（201）顶部两端均固定连接有若干个边块（203），边块（203）外侧固定连接在支撑架（101）顶部内侧。3.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：右侧所述支撑架（101）前端固定连接有挡件（108），挡件（108）与支撑架（101）所呈夹角为四十五度。4.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：两个支撑架（101）平行设置。5.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：多个所述支撑件（103）等间距排列在支撑柱（102）表面。6.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：多个所述前托块（109）和后托块（105）分别等间距排列在支撑架（101）的前后两端。7.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：相邻所述后托块（105）之间的间距与相邻所述支撑件（103）之间的间距相等。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆载具，涉及晶圆载具领域，包括两个支撑架，两个所述支撑架顶部之间固定连接有顶板，顶板顶部中间固定连接有上托板，上托板左端与左侧所述支撑架固定连接，上托板右端与右侧所述支撑架固定连接，两个所述支撑架底部之间固定连接有横板，横板顶部固定连接有底板，底板两端分别与对应所述支撑架固定连接，支撑架侧面开设有开口，支撑架侧面开口内固定连接有若干个支撑柱，支撑柱内侧表面固定连接有若干个支撑件，支撑架后方内侧固定连接有若干个后托块，支撑架前端内侧固定连接有若干个前托块。本实用新型通过设置支撑件、后托块和前托块，便于管理和转移单个晶圆，同时避免晶圆与支撑架发生撞击。同时避免晶圆与支撑架发生撞击。同时避免晶圆与支撑架发生撞击。


技术研发人员：白雪山 沙峰
受保护的技术使用者：太仓鼎函自动化科技有限公司
技术研发日：2021.12.02
技术公布日：2022/5/10