一种ESD芯片保护机构的制作方法

文档序号:29749046发布日期:2022-04-21 23:34阅读:140来源:国知局
一种ESD芯片保护机构的制作方法
一种esd芯片保护机构
技术领域
1.本实用新型涉及esd芯片领域,具体涉及一种esd芯片保护机构。


背景技术:

2.esd芯片为集成制造中必不可少的部件之一,能有效避免由于静电对集成电路造成损伤的可能性。
3.目前,esd芯片在制造过程中,需要使用人工或传输带运输,因此esd芯片不可避免地会暴露在外界,容易受外界的湿气和氧气的侵害,从而导致产品不良率上升。
4.因此,发明一种esd芯片保护机构来解决上述问题很有必要。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的是提供一种esd芯片保护机构,以解决现有的esd芯片制造过程中,需要使用人工或传输带运输,因此esd芯片不可避免地会暴露在外界,容易受外界的湿气和氧气的侵害,从而导致产品不良率上升的问题。
6.为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种esd芯片保护机构,包括防潮箱,所述防潮箱的后方安装有设备箱,所述设备箱内设有至少三个氮气罐,所述氮气罐的两侧分别设有总进气管和总排气管,所述总排气管的出气端贯穿防潮箱延伸至防潮箱内侧,所述总排气管的出气端安装有电磁阀,且所述氮气罐的进出气端分别与总进气管和总排气管相贯通,所述氮气罐呈并排设置,所述氮气罐的进气端上安装有气压传感器,所述氮气罐的一侧设有真空泵,所述真空泵的进气端与防潮箱相贯通,且所述防潮箱的一侧设有真空表,所述真空表通过管道与防潮箱相贯通,所述真空表的一侧设有控制器,所述控制器的输出端分别与电磁阀和真空泵电性连接,所述控制器的输入端分别与气压传感器和真空表电性连接。
7.优选的,所述防潮箱的内壁上对称安装有滑轨,所述防潮箱的内侧安装有均流板,所述均流板的下方设有通风板,所述通风板与滑轨滑动连接,且所述均流板和通风板上均开设有通孔,所述通孔的数量设有若干个。
8.优选的,所述防潮箱的内外侧分别为第一金属层和第二金属层,所述第一金属层和第二金属层之间设有防潮填充层。
9.优选的,所述控制器与防潮箱的外壁固定连接,所述控制器的外壳上安装有显示屏,所述显示屏与控制器的输出端相连接。
10.优选的,所述总进气管的进气端贯穿防潮箱延伸至防潮箱外,所述总进气管的进气端安装有调节阀。
11.优选的,所述设备箱为一端开口的矩形盒体,所述设备箱与防潮箱固定连接,且所述真空泵固定于设备箱底板的顶部,所述真空泵的出气端贯穿设备箱并延伸至设备箱外。
12.优选的,所述防潮箱的顶部开设有凹槽,所述凹槽内设有提拉把手,所述提拉把手与防潮箱转动连接。
13.优选的,所述防潮箱上安装有箱门,所述箱门通过合页与防潮箱活动连接,所述箱门的一侧安装有密封圈。
14.在上述技术方案中,本实用新型提供的技术效果和优点:
15.1、通过控制器、真空泵、真空表、气压传感器、电磁阀、总进气管、总排气管和氮气罐,能有效防止外界空气进入防潮箱,从而有效避免了外界湿气和氧气对芯片的损害,能降低产品的不良率;
16.2、通过设置的均流板对氮气进行分流,从而使氮气能较为均匀的分布在防潮箱内;
17.3、通过设置的防潮填充层能提高防潮效果,进一步降低湿气对芯片造成损害的可能性。
附图说明
18.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型的整体结构示意图;
20.图2为本实用新型的背面结构示意图;
21.图3为本实用新型的设备箱结构示意图;
22.图4为本实用新型的正视剖视图;
23.图5为本实用新型的电路原理框图。
24.附图标记说明:
25.1、防潮箱;2、设备箱;3、均流板;4、通风板;5、第一金属层;6、第二金属层;7、防潮填充层;8、滑轨;9、箱门;10、控制器;11、真空表;12、氮气罐;13、总进气管;14、总排气管;15、真空泵;16、电磁阀;17、调节阀;18、提拉把手;19、气压传感器;20、显示屏。
具体实施方式
26.为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案,下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。
27.本实用新型提供了如图1-5所示的一种esd芯片保护机构,包括防潮箱1,所述防潮箱1的后方安装有设备箱2,所述设备箱2内设有至少三个氮气罐12,所述氮气罐12的两侧分别设有总进气管13和总排气管14,所述总排气管14的出气端贯穿防潮箱1延伸至防潮箱1内侧,所述总排气管14的出气端安装有电磁阀16,且所述氮气罐12的进出气端分别与总进气管13和总排气管14相贯通,所述氮气罐12呈并排设置,氮气罐12可使用抱箍安装在设备箱2内,此为现有技术,在此不作具体描述,所述氮气罐12的进气端上安装有气压传感器19,利用气压传感器19测量氮气罐12内的气压,并将检测到的气压值传给控制器10,经控制器10处理后,由显示屏20显示,方便用户向氮气罐12内补充气体,能有效防止氮气罐12内由于气压过高而导致爆炸的情况出现,所述氮气罐12的一侧设有真空泵15,所述真空泵15的进气端与防潮箱1相贯通,且所述防潮箱1的一侧设有真空表11,所述真空表11通过管道与防潮箱1相贯通,所述真空表11的一侧设有控制器10,所述控制器10的输出端分别与电磁阀16和
真空泵15电性连接,所述控制器10的输入端分别与气压传感器19和真空表11电性连接。
28.进一步的,在上述技术方案中,所述防潮箱1的内壁上对称安装有滑轨8,所述防潮箱1的内侧安装有均流板3,通过设置的均流板3对氮气进行分流,从而使氮气能较为均匀的分布在防潮箱1内,所述均流板3的下方设有通风板4,所述通风板4与滑轨8滑动连接,且所述均流板3和通风板4上均开设有通孔,所述通孔的数量设有若干个,芯片可放置在通风板4和防潮箱1内底板上,通风板4可拆下,方便用户使用。
29.进一步的,在上述技术方案中,所述防潮箱1的内外侧分别为第一金属层5和第二金属层6,所述第一金属层5和第二金属层6之间设有防潮填充层7,第一金属层5和第二金属层6可采用铝合金制作,防潮填充层7可采用吸水树脂等吸水材料制作,能提高防潮效果。
30.进一步的,在上述技术方案中,所述控制器10与防潮箱1的外壁固定连接,所述控制器10的外壳上安装有显示屏20,所述显示屏20与控制器10的输出端相连接,通过设置的显示屏20显示氮气罐12内的压力。
31.进一步的,在上述技术方案中,所述总进气管13的进气端贯穿防潮箱1延伸至防潮箱1外,所述总进气管13的进气端安装有调节阀17,使用管道将总进气管13的进气端与氮气发生器或氮气输送管道连接,打开调节阀17,即可将氮气充入氮气罐12,能方便用户补充氮气。
32.进一步的,在上述技术方案中,所述设备箱2为一端开口的矩形盒体,所述设备箱2与防潮箱1固定连接,且所述真空泵15固定于设备箱2底板的顶部,所述真空泵15的出气端贯穿设备箱2并延伸至设备箱2外,设备箱2为一端开口的矩形盒体,能方便真空泵15和氮气罐12的安装。
33.进一步的,在上述技术方案中,所述防潮箱1的顶部开设有凹槽,利用凹槽收纳提拉把手18,所述凹槽内设有提拉把手18,所述提拉把手18与防潮箱1转动连接,设置的提拉把手18能方便用户携带本装置,有利于运输芯片。
34.进一步的,在上述技术方案中,所述防潮箱1上安装有箱门9,所述箱门9通过合页与防潮箱1活动连接,所述箱门9的一侧安装有密封圈,设置的密封圈能提高防潮箱1的密封性。
35.本实用工作原理:
36.参照说明书附图1-5,使用时,通过手动操作控制器10来启动真空泵15,利用真空泵15抽出防潮箱1内的空气,通过真空表11检测真空度并将检测值传给控制器10,当达到设定值时,控制器10控制电磁阀16开启,并关闭真空泵15,之后氮气罐12内的氮气经过总排气管14进入防潮箱1内,使防潮箱1内恢复正压,将芯片放入防潮箱1时,不关闭电磁阀16,能有效防止外界空气再次进入防潮箱1,从而有效避免了外界湿气和氧气对芯片的损害,能降低产品的不良率;
37.参照说明书附图1和4,通过设置的均流板3对氮气进行分流,从而使氮气能较为均匀的分布在防潮箱1内;
38.参照说明书附图1和4,通过采用吸水树脂等高吸水材料来制作防潮填充层7,能提高防潮效果,进一步降低湿气对芯片造成损害的可能性。
39.以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例,毋庸置疑,对于本领域的普通技术人员,在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下,可以用各种不同的
方式对所描述的实施例进行修正。因此,上述附图和描述在本质上是说明性的,不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。
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