承载板组件及具有其的运动定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶圆检测设备技术领域，尤其涉及一种承载板组件及具有其的运动定位装置。


背景技术：

2.在定位精度极高的场合，例如半导体制造领域，通常需要使用工作台以承载晶圆。工作台的运动精度、速度及稳定性决定了半导体设备的精度、良率及产率。现有技术中常用叠堆式的运动平台实现硅片在xy二维平面内的精确定位。
3.为了提升xy运动平台的加速度和精度，通常采用多组铁芯电机驱动及导轨的组合以实现xy方向的运动。由于多组驱动及导轨的设计，研发人员往往比较关注运动同步的问题，而忽略铁芯电机驱动同样会引发运动基台受力及发热变形的问题。这种变形会直接影响导轨和滑块的精度，从而导致xy运动平台定位精度的降低。
4.由于中层运动基台体积较大，可以通过结构的加强来减少变形的影响，但上层运动基台体积较小，很难通过常规的加强结构来抵消变形的影响。


技术实现要素：

5.本实用新型的主要目的在于提供一种承载板组件及具有其的运动定位装置，以解决现有技术中的xy运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题。
6.为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种承载板组件，承载板组件设置在运动定位装置的安装板上以用于承载工件并对工件定位，承载板组件包括：承载板，设置在安装板上方以用于承载工件，承载板电机定子安装在安装板的上侧，承载板电机动子安装在承载板的下侧；承载板滑动组件，设置在承载板和安装板之间，承载板滑动组件的至少部分可滑动地设置，以使承载板在承载板电机定子和承载板电机动子的相互作用下相对于安装板运动；其中，承载板滑动组件具有与承载板连接的第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子的相对两侧，第一滑动部与承载板固定连接，第二滑动部通过柔性连接件与承载板连接，柔性连接件的至少部分绕承载板的运动方向可变形地设置。
7.进一步地，承载板滑动组件包括承载板导轨和承载板滑块；其中，承载板导轨的数量为两个，两个承载板导轨沿第一方向间隔布置且沿第二方向延伸；承载板滑块的数量为多个，多个承载板滑块分为两组，各组承载板滑块均包括至少一个承载板滑块，两组承载板滑块与两个承载板导轨一一对应地滑动连接；承载板电机动子位于两组承载板滑块之间，第一滑动部为其中一组承载板滑块，第二滑动部为另一组承载板滑块；其中，第二方向为承载板的运动方向，第一方向垂直于第二方向。
8.进一步地，承载板上设置有用于容纳柔性连接件的容纳槽，容纳槽具有朝向承载板的下方设置的第一开口，容纳槽用于容纳柔性连接件。
9.进一步地，柔性连接件包括：两个连接部，两个连接部分别与承载板和承载板滑块连接，各个连接部均为板体；柔性部，柔性部位于两个连接部之间以将两个连接部连接，柔性部为板体，柔性部的最小厚度小于各个连接部的最小厚度，以使柔性部可变形地设置。
10.进一步地，两个连接部分别为承载板连接部和滑块连接部，柔性部沿承载板的运动方向延伸，其中，承载板连接部和滑块连接部均平行于水平方向且沿水平方向间隔布置在柔性部的相对两侧；或者承载板连接部平行于竖直方向，滑块连接部平行于水平方向，承载板连接部和滑块连接部沿竖直方向间隔布置在柔性部的相对两侧；或者承载板连接部和滑块连接部均平行于水平方向且沿竖直方向间隔布置在柔性部的相对两侧。
11.进一步地，承载板连接部与承载板之间通过第一紧固件连接，承载板连接部上设置有用于供第一紧固件穿过的第一连接孔，承载板上设置有用于供第一紧固件插入的第一紧固孔，第一紧固件穿过第一连接孔后插入第一紧固孔中；其中，第一连接孔的孔心线和第一紧固孔的孔心线均平行于竖直方向；或者第一连接孔的孔心线和第一紧固孔的孔心线均平行于水平方向。
12.进一步地，滑块连接部与承载板滑块之间通过第二紧固件连接，滑块连接部上设置有用于供第二紧固件穿过的第二连接孔，承载板滑块上设置有用于供第二紧固件插入的第二紧固孔，第二紧固件穿过第二连接孔后插入第二紧固孔中；其中，第二连接孔的孔心线和第二紧固孔的孔心线均平行于竖直方向。
13.进一步地，柔性连接件由刚性材料制成，且柔性连接件由一体成型工艺制成。
14.进一步地，柔性部的厚度的取值范围为0.1mm至5mm；和/或柔性部为矩形板体，柔性部的长度与柔性部的宽度之比为1.5至3。
15.根据本实用新型的另一方面，提供了一种运动定位装置，包括依次连接的固定组件、第一移动组件和第二移动组件，第一移动组件沿第一方向可运动地设置在固定组件上，第二移动组件沿第二方向可运动地设置在固定组件上；第一移动组件包括上的安装板；第二移动组件为上述的承载板组件。
16.应用本实用新型的技术方案，本实用新型设置了一种位于运动定位装置的安装板上以用于承载工件并对工件定位的承载板组件，承载板组件包括：承载板，设置在安装板上方以用于承载工件，承载板电机定子安装在安装板的上侧，承载板电机动子安装在承载板的下侧；承载板滑动组件，设置在承载板和安装板之间，承载板滑动组件的至少部分可滑动地设置，以使承载板在承载板电机定子和承载板电机动子的相互作用下相对于安装板运动；其中，承载板滑动组件具有与承载板连接的第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子的相对两侧，第一滑动部与承载板固定连接，以使承载板组件在各个方向上均具有一定的刚性，从而保证了运动定位装置的运动精度，而第二滑动部通过柔性连接件与承载板连接，柔性连接件的至少部分绕承载板的运动方向可变形地设置，以避免承载板组件在沿运动方向运动时承载板电机定子和承载板电机动子之间的磁吸力导致的承载板的变形传递到承载板滑动组件上的情况的发生，解决了现有技术中的xy运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题，也解决了现有技术中的有铁芯电机的动子的发热引起的承载板形变的问题。
附图说明
17.构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
18.图1示出了根据本实用新型的运动定位装置的实施例的结构示意图；
19.图2示出了根据本实用新型的承载板组件的实施例的结构示意图；
20.图3示出了根据本实用新型的承载板组件的柔性连接件的第一个实施例的结构示意图；
21.图4示出了具有图3所示的柔性连接件的承载板组件的半剖视图；
22.图5示出了根据本实用新型的承载板组件的柔性连接件的第二个实施例的结构示意图；
23.图6示出了具有图5所示的柔性连接件的承载板组件的半剖视图；
24.图7示出了根据本实用新型的承载板组件的柔性连接件的第三个实施例的结构示意图。
25.其中，上述附图包括以下附图标记：
26.1、固定组件；10、基座；11、安装板导轨；12、安装板电机定子；
27.2、第一移动组件；20、安装板；21、承载板导轨；22、承载板电机定子；23、安装板滑块；
28.3、第二移动组件；30、承载板；301、容纳槽；302、避让槽；31、柔性连接件；311、连接部；3111、承载板连接部；3112、滑块连接部；312、柔性部；313、第一连接孔；314、第二连接孔；32、承载板滑块；33、承载板电机动子。
具体实施方式
29.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
30.如图1至图7所示，本实用新型提供了一种承载板组件，承载板组件设置在运动定位装置的安装板20上以用于承载工件并对工件定位，承载板组件包括：承载板30，设置在安装板20上方以用于承载工件，承载板电机定子22安装在安装板20的上侧，承载板电机动子33安装在承载板30的下侧；承载板滑动组件，设置在承载板30和安装板20之间，承载板滑动组件的至少部分可滑动地设置，以使承载板30在承载板电机定子22和承载板电机动子33的相互作用下相对于安装板20运动；其中，承载板滑动组件具有与承载板30连接的第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板30运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子33的相对两侧，第一滑动部与承载板30固定连接，第二滑动部通过柔性连接件31与承载板30连接，柔性连接件31的至少部分绕承载板30的运动方向可变形地设置。
31.现有技术中，在运动定位装置的承载板组件的运动过程中，承载板电机定子22通常与承载板30固定连接，承载板电机定子22会对承载板电机动子33会产生较大的沿竖直方向即z方向的磁吸力，该磁吸力通过承载板电机动子33作用于承载板30会使承载板30产生z方向的变形，此外高速运动下的承载板电机动子33的发热也会引起承载板30的变形，由于
承载板30的体积较小且承载板30的结构的强度有限，该承载板30的变形会传递到承载板滑块32及承载板导轨21上，导致承载板导轨21发生形变，从而影响运动定位装置的定位精度。
32.本实用新型设置了一种位于运动定位装置的安装板20上以用于承载工件并对工件定位的承载板组件，承载板组件包括：承载板30，设置在安装板20上方以用于承载工件，承载板电机定子22安装在安装板20的上侧，承载板电机动子33安装在承载板30的下侧；承载板滑动组件，设置在承载板30和安装板20之间，承载板滑动组件的至少部分可滑动地设置，以使承载板30在承载板电机定子22和承载板电机动子33的相互作用下相对于安装板20运动；其中，承载板滑动组件具有与承载板30连接的第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板30运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子33的相对两侧，第一滑动部与承载板30固定连接，以使承载板组件在各个方向上均具有一定的刚性，从而保证了运动定位装置的运动精度，而第二滑动部通过柔性连接件31与承载板30连接，柔性连接件31的至少部分绕承载板30的运动方向可变形地设置，以避免承载板组件在沿运动方向运动时承载板电机定子22和承载板电机动子33之间的磁吸力导致的承载板30的变形传递到承载板滑动组件上的情况的发生，解决了现有技术中的xy运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题，也解决了现有技术中的有铁芯电机的动子的发热引起的承载板30形变的问题。
33.在本实用新型的至少一个实施例中，承载板滑动组件包括承载板导轨21和承载板滑块32；其中，承载板导轨21的数量为两个，两个承载板导轨21沿第一方向间隔布置且沿第二方向延伸；承载板滑块32的数量为多个，多个承载板滑块32分为两组，各组承载板滑块32均包括至少一个承载板滑块32，两组承载板滑块32与两个承载板导轨21一一对应地滑动连接；承载板电机动子33位于两组承载板滑块32之间，第一滑动部为其中一组承载板滑块32，第二滑动部为另一组承载板滑块32；其中，第二方向为承载板30的运动方向，第一方向垂直于第二方向。
34.需要说明的，如图1所示，第一方向为x方向，第二方向为y方向，竖直方向为z方向，且x方向、y方向和z方向两两相互垂直。
35.优选地，两个承载板导轨21关于预定平面对称设置，两组承载板滑块32中的承载板滑块32的数量相同，且这两组承载板滑块32也关于该预定平面对称设置，一组承载板滑块32中的各个承载板滑块32均与承载板30之间刚性连接，另一组承载板滑块32中的各个承载板滑块32均通过柔性连接件31与承载板30之间柔性连接。
36.在本实用新型的图1至图7所示的实施例中，各组承载板滑块32中的承载板滑块32的数量均为两个。
37.如图2、图4和图6所示，承载板30上设置有用于容纳柔性连接件31的容纳槽301，容纳槽301具有朝向承载板30的下方设置的第一开口，容纳槽301用于容纳柔性连接件31，容纳槽301的至少部分沿竖直方向贯穿承载板30。
38.具体地，以图4为例对整个承载板组件的原理进行说明，图4中承载板组件的运动方向垂直于图4所在的页面以指向图内或图外。左侧的承载板滑块32与承载板30固定连接，以使承载板30在运动时具有各个方向上的刚度，确保承载板组件的运动精度。柔性连接件31设置在容纳槽301内，且分别与承载板30和右侧的承载板滑块32连接，承载板电机动子33安装在承载板30下侧，当承载板电机工作时，承载板30会因承载板电机动子33而受到磁吸
力或发热的影响，从而产生沿竖直方向的变形(通常呈现“凹”字形)，由于柔性连接件31可绕承载板组件的运动方向发生变形，因此，其可对承载板30的沿竖直方向的变形进行缓冲，大大地减少了因承载板30的变形给两组承载板滑块32带来的不利影响，从而避免了各个承载板滑块32和与其对应的承载板导轨21因受力异常而带来的精度降低的问题。
39.如图3、图5和图7所示，柔性连接件31包括：两个连接部311，两个连接部311分别与承载板30和承载板滑块32连接，各个连接部311均为板体；柔性部312，柔性部312位于两个连接部311之间以将两个连接部311连接，柔性部312为板体，柔性部312的最小厚度小于各个连接部311的最小厚度，以使柔性部312可变形地设置。
40.具体地，两个连接部311分别为承载板连接部3111和滑块连接部3112，柔性部312沿承载板30的运动方向延伸，其中，沿承载板30的运动方向，柔性部312的截面面积保持不变。
41.如图3所示的柔性连接件31的第一个实施例，承载板连接部3111和滑块连接部3112均平行于水平方向且沿水平方向间隔布置在柔性部312的相对两侧，以形成“一”字形的柔性连接件31。
42.如图5所示的柔性连接件31的第二个实施例，承载板连接部3111平行于竖直方向，滑块连接部3112平行于水平方向，承载板连接部3111和滑块连接部3112沿竖直方向间隔布置在柔性部312的相对两侧，以形成倒“t”字形的柔性连接件31。
43.如图7所示的柔性连接件31的第三个实施例，承载板连接部3111和滑块连接部3112均平行于水平方向且沿竖直方向间隔布置在柔性部312的相对两侧，以形成“工”字形的柔性连接件31。
44.优选地，滑块连接部3112的板面积大于承载板连接部3111的板面积，以保证滑块连接部3112与承载板滑块32之间具有较大的接触面积，从而保证整体连接的可靠性。
45.本实用新型的柔性连接件31的承载板连接部3111与承载板30之间通过第一紧固件连接，承载板连接部3111上设置有用于供第一紧固件穿过的第一连接孔313，承载板30上设置有用于供第一紧固件插入的第一紧固孔，第一紧固件穿过第一连接孔313后插入第一紧固孔中；可选地，第一连接孔313的孔心线和第一紧固孔的孔心线均平行于竖直方向；或者第一连接孔313的孔心线和第一紧固孔的孔心线均平行于水平方向。
46.如图3和图7所示的柔性连接件31的两个实施例，承载板连接部3111为平行于水平方向的板体，第一连接孔313的孔心线和第一紧固孔的孔心线均平行于竖直方向即垂直于承载板连接部3111设置。
47.如图5所示的柔性连接件31的实施例，承载板连接部3111为平行于竖直方向的板体，第一连接孔313的孔心线和第一紧固孔的孔心线均平行于水平方向即垂直于承载板连接部3111设置。
48.本实用新型的柔性连接件31的滑块连接部3112与承载板滑块32之间通过第二紧固件连接，滑块连接部3112上设置有用于供第二紧固件穿过的第二连接孔314，承载板滑块32上设置有用于供第二紧固件插入的第二紧固孔，第二紧固件穿过第二连接孔314后插入第二紧固孔中；其中，第二连接孔314的孔心线和第二紧固孔的孔心线均平行于竖直方向。
49.如图3、图5和图7所示的柔性连接件31的三个实施例，滑块连接部3112为平行于水平方向的板体，第二连接孔314的孔心线和第二紧固孔的孔心线均平行于竖直方向即垂直
于滑块连接部3112设置。
50.具体地，第一紧固件和第二紧固件均为螺钉。
51.本实用新型的柔性连接件31的结构可选择地设置，如图5所示的倒“t”字形的柔性连接件31，与图3和图7中的柔性连接件31相比，第一连接孔313的孔心线的方向不同，使得承载板30和承载板连接部3111在竖直方向进行接触并连接，即接触面平行于竖直方向，这样连接可以在竖直方向上对承载板30的初始位置进行微调，以更好地使承载板30保持水平状态。
52.本实用新型的柔性连接件31的结构可选择地设置，如图3所示的“一”字形的柔性连接件31和如图7所示的“工”字形的柔性连接件31，与图5中的倒“t”字形的柔性连接件31相比，第一连接孔313的孔心线的方向不同，使得承载板30和承载板连接部3111在水平方向进行接触并连接，即接触面平行于水平方向，与平行于竖直方向的接触面相比，平行于水平方向接触面的面积能够做到更大，增大了承载板连接部3111与承载板30的接触面积，同时增加了承载板连接部3111与承载板30之间的第一紧固件的数量，能够更好地保证整体的连接刚度。
53.本实用新型的柔性连接件31由刚性材料制成，且柔性连接件31由一体成型工艺制成。
54.可选地，柔性部312为厚度均匀的薄片形板体或柔性部312为厚度不均的板体。
55.优选地，柔性部312的厚度的取值范围为0.1mm至5mm，具体的数值需要根据承载板30的允许位移量来确定。
56.优选地，柔性部312为矩形板体，在矩形平面中柔性部312的长度与柔性部312的宽度之比为1.5至3。其中，柔性部312的长度是指柔性部312在承载板30的运动方向(即第二方向，也就是y方向)上的尺寸，柔性部312的宽度是指柔性部312由靠近承载板连接部3111的一侧至靠近滑块连接部3112的一侧的尺寸。
57.需要说明的是，在柔性部312的厚度为定值的情况下，柔性部312的长度越小其沿承载板30的运动方向上的刚度就越小、绕承载板30的运动方向上的柔性就越大；柔性部312的宽度越小其沿承载板30的运动方向上的刚度就越大，绕承载板30的运动方向上的柔性就越小；为了保持运动定位装置的整体的运动精度和变形解耦能力的平衡，将柔性部312的长度与柔性部312的宽度之比设置为1.5至3能够达到较好的技术效果。
58.本实用新型通过导轨滑块和有铁芯电机的结合可实现大加速和高速度的运动，综合考虑电机体积、发热及磁吸力的影响，应尽量减轻驱动质量，因此，需对结构件进行轻量化设计，如承载板30和安装板20可采用轻质金属材料制作，例如铝合金。
59.本实用新型还提供了一种运动定位装置，包括依次连接的固定组件1、第一移动组件2和第二移动组件3，第一移动组件2沿第一方向可运动地设置在固定组件1上，第二移动组件3沿第二方向可运动地设置在固定组件1上；第一移动组件2包括上述的安装板20；第二移动组件3为上述的承载板组件。
60.在图1中，固定组件1包括基座10，基座10上方设置有安装板导轨11和安装板电机定子12；第一移动组件2的安装板20设置在基座10上方并通过安装板滑块23与安装板导轨11滑动连接，与安装板电机定子12配套的安装板电机动子安装在安装板20下方并与安装板电机定子12对应设置；安装板20上方设置有承载板导轨21和承载板电机定子22，第二移动
组件3即承载板组件的承载板30设置在安装板20上方，且通过承载板滑块32与承载板导轨21滑动连接，与承载板电机定子22配套的承载板电机动子33与承载板30连接并与承载板电机定子22对应设置。
61.在本实用新型的运动定位装置的至少一个实施例中，安装板导轨11和安装板电机定子12沿第一方向即x方向延伸，以分别对第一移动组件2的沿第一方向的运动进行导向和驱动；其中，安装板导轨11的数量为三个，三个安装板导轨11沿第二方向间隔布置，相应地，安装板滑块23的数量也为三组，三组安装板滑块23与三个安装板导轨11一一对应地滑动连接，以共同对安装板20的运动进行导向；安装板电机定子12的数量为两个，每相邻两个安装板导轨11之间均设置有一个安装板电机定子12，相应地，安装板电机动子的数量也为两个，两个安装板电机动子与两个安装板电机定子12一一对应地设置，以共同驱动安装板20运动。
62.可选地，安装板20与安装板滑块23之间可直接连接，也可另外设置安装板滑块转接件连接，以避免使安装板20变形的力传递到安装板滑块23和安装板导轨11上。
63.在第一移动组件2的运动过程中安装板电机定子12定子会对安装板电机动子会产生较大的z向吸引力，安装板电机定子12与安装板电机动子之间的相互作用引起的安装板20的变形可通过增加安装板20结构强度的方式来减小。
64.在本实用新型的运动定位装置的至少一个实施例中，承载板导轨21和承载板电机定子22沿第二方向即y方向延伸，以分别对第二移动组件3的沿第二方向的运动进行导向和驱动；其中，承载板导轨21的数量为两个，两个承载板导轨21沿第一方向间隔布置，相应地，承载板滑块32的数量也为两组，两组承载板滑块32与两个承载板导轨21一一对应地滑动连接，以共同对承载板30的运动进行导向；承载板电机定子22的数量为一个，该承载板电机定子22位于两个承载板导轨21之间，相应地，承载板电机动子33的数量也为一个，该承载板电机动子33与承载板电机定子22对应设置，以驱动承载板30运动。
65.可选地，承载板30与承载板电机动子33之间可直接连接，也可另外设置承载板转接件连接，其中，承载板30下方设置有用于容纳承载板电机动子33的至少部分的避让槽302，以减小承载板电机动子33传递到承载板30上的变形力。
66.具体地，位于承载板30上方的承载模块可以通过紧固件与承载板30的侧面实现固定连接来保证工件的位置平面度。
67.现有技术中的承载板30与承载板电机动子33之间连接，承载板30的底部中间固定承载板电机动子33的部分同样会因承载板电机动子33受到的磁吸力的影响而产生z方向的变形，此外高速运动下动子发热也会引起铝合金承载板30的整体变形，由于承载板30体积较小且普通的结构的强度加强效果有限，该变形会由承载板滑块32传递到承载板导轨21上，从而导致承载板导轨21发生形变，影响运动定位装置的定位精度，故采用本实用新型的承载板组件可以有效地避免因承载板30变形而造成的对定位精度的不利影响。
68.从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果：
69.本实用新型设置了一种位于运动定位装置的安装板20上以用于承载工件并对工件定位的承载板组件，承载板组件包括：承载板30，设置在安装板20上方以用于承载工件，承载板电机定子22安装在安装板20的上侧，承载板电机动子33安装在承载板30的下侧；承载板滑动组件，设置在承载板30和安装板20之间，承载板滑动组件的至少部分可滑动地设
置，以使承载板30在承载板电机定子22和承载板电机动子33的相互作用下相对于安装板20运动；其中，承载板滑动组件具有与承载板30连接的第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板30运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子33的相对两侧，第一滑动部与承载板30固定连接，以使承载板组件在各个方向上均具有一定的刚性，从而保证了运动定位装置的运动精度，而第二滑动部通过柔性连接件31与承载板30连接，柔性连接件31的至少部分绕承载板30的运动方向可变形地设置，以避免承载板组件在沿运动方向运动时承载板电机定子22和承载板电机动子33之间的磁吸力导致的承载板30的变形传递到承载板滑动组件上的情况的发生，解决了现有技术中的xy运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题，也解决了现有技术中的有铁芯电机的动子的发热引起的承载板30形变的问题。
70.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
71.除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本技术的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
72.在本技术的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
73.为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
74.此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本技术保护范围的限制。
75.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本
领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。