显示面板及其制备方法与流程

1.本技术涉及显示技术领域，具体涉及一种显示面板及其制备方法。


背景技术：

2.目前，因柔性显示器件具有可弯折的性能，被广泛应用于各类显示器件中，但是，目前的柔性显示器件经过长时间弯折使用后，电极存在断裂的风险，电极为阳极或阴极，因电极下面有较厚膜层，电极通过通孔与晶体管，位于通孔中的电极在弯折时，容易受应力的作用，导致其断裂，从而影响器件的性能。


技术实现要素：

3.本技术实施例提供一种显示面板及其制备方法，以解决位于通孔中的第一电极破裂的问题。
4.本技术实施例提供一种显示面板，包括：
5.衬底；
6.晶体管层，所述晶体管层设置于所述衬底上；
7.弹性平坦层，所述弹性平坦层设置于所述晶体管层上，所述弹性平坦层中设置有通孔，所述通孔贯穿所述弹性平坦层；
8.第一电极，所述第一电极设置于所述弹性平坦层上，并延伸入所述通孔中与所述晶体管层连接，其中，所述第一电极的弹性模量大于所述弹性平坦层的弹性模量。
9.可选的，在本技术的一些实施例中，所述弹性平坦层由弹性材料构成。
10.可选的，在本技术的一些实施例中，所述弹性平坦层的材料包括平坦材料和弹性材料，所述平坦材料的弹性模量大于所述弹性材料的弹性模量。
11.可选的，在本技术的一些实施例中，所述显示面板还包括弹性缓冲层，所述弹性缓冲层设置于位于所述通孔上的所述第一电极上。
12.可选的，在本技术的一些实施例中，所述平坦材料包括硅氧烷、聚丙烯酸酯和聚酰亚胺中的一种或几种组合。
13.可选的，在本技术的一些实施例中，所述弹性材料包括聚二甲基硅氧烷、氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物、氟橡胶、三元乙丙橡胶、1，1，2，2-四苯乙烯、2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦、乙二醇、己二酸、1，4-丁二醇和4，4'-亚甲基二苯异氰酸酯聚合物中的一种或几种组合。
14.可选的，在本技术的一些实施例中，所述弹性平坦层包括第一弹性平坦层和第二弹性平坦层，所述第一弹性平坦层和所述第二弹性平坦层依次层叠设置于所述晶体管层上，所述第二弹性平坦层的弹性模量小于所述第一弹性平坦层的弹性模量。
15.可选的，在本技术的一些实施例中，所述显示面板还包括像素定义层，所述像素定义层设置于所述弹性平坦层以及所述第一电极上。
16.本技术还提供一种显示面板的制备方法，包括：
17.提供一衬底；
18.在所述衬底上形成晶体管层；
19.在所述晶体管层上形成弹性平坦层，所述弹性平坦层中设置有通孔，所述通孔贯穿所述弹性平坦层；
20.在所述弹性平坦层上形成第一电极，并延伸入所述通孔中与所述晶体管层连接。
21.可选的，在本技术的一些实施例中，在所述弹性平坦层上形成第一电极之后，还包括：
22.在所述第一电极以及所述弹性平坦层上形成弹性缓冲层，且所述弹性缓冲层位于所述通孔之上。
23.本技术提供一种显示面板及其制备方法，显示面板包括衬底、晶体管层、弹性平坦层以及第一电极，晶体管层设置于衬底上，弹性平坦层设置于晶体管层上，弹性平坦层中设置有通孔，通孔贯穿弹性平坦层，第一电极设置于弹性平坦层上，并延伸入通孔中与晶体管层连接。在本技术中，通过在第一电极与晶体管层之间设置弹性平坦层，可以释放位于通孔中的第一电极在弯折的过程中，受到的应力，从而避免第一电极断裂，从而提高显示面板的性能。
附图说明
24.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1是本技术实施例提供的显示面板的第一种结构示意图。
26.图2是本技术实施例提供的显示面板的第二种结构示意图。
27.图3是本技术实施例提供的显示面板的制备方法的流程示意图。
28.图4-图15是本技术实施例提供的显示面板的制备方法的步骤示意图。
29.图16-图27是本技术实施例提供的显示面板的制备方法的步骤示意图。
具体实施方式
30.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。在本技术中，“反应”可以为化学反应或物理反应。
31.本技术提供一种显示面板及其制备方法，显示面板包括衬底、晶体管层、弹性平坦层以及第一电极，晶体管层设置于衬底上，弹性平坦层设置于晶体管层上，弹性平坦层中设置有通孔，通孔贯穿弹性平坦层，第一电极设置于弹性平坦层上，并延伸入通孔中与晶体管
层连接。
32.在本技术中，通过在第一电极与晶体管层之间设置弹性平坦层，可以释放位于通孔中的第一电极在弯折的过程中，受到的应力，从而避免第一电极断裂，从而提高显示面板的性能。
33.以下进行详细说明：
34.请参阅图1，本技术提供一种显示面板10。显示面板10包括衬底100和依次层叠设置在衬底100上的晶体管层200、弹性平坦层300以及第一电极400。
35.具体的，衬底100包括刚性衬底110和设置刚性衬底110上的柔性衬底120。柔性衬底120的材料为聚酰亚胺。
36.晶体管层200包括第一缓冲膜层210、遮光层220、第二缓冲膜层230、有源层240、栅极绝缘层250、栅极260、层间介质层270、源极277、金属部278、漏极279、钝化层280以及连接部290。第一缓冲膜层210、遮光层220以及第二缓冲膜层230依次层叠设置于柔性衬底120上。有源层240、栅极绝缘层250以及栅极260依次层叠设置于第二缓冲膜层230上，且位于遮光层220之上。有源层240可以为金属氧化物有源层240或硅基有源层240。金属氧化物有源层240的材料包括igzo。层间介质层270设置于第二缓冲膜层230、有源层240、栅极绝缘层250以及栅极260上。层间介质层270设置有第一接触孔271、第二接触孔272、第三接触孔273以及第四接触孔274。第一接触孔271贯穿层间介质层270以及弹性缓冲层600以暴露遮光层220。第二接触孔272贯穿层间介质层270以暴露有源层240的一端。第三接触孔273贯穿层间介质层270以暴露栅极260。第四接触孔274贯穿层间介质层270以暴露有源层240的另一端。源极277、金属部278以及漏极279同层且间隔设置于层间介质层270上。源极277延伸入第一接触孔271中与遮光层220连接以及延伸入第二接触孔272中与有源层240的一端连接。金属部278延伸入第三接触孔273中与栅极260连接。漏极279延伸入第四接触孔274中与有源层240的另一端连接。源极277、漏极279以及金属部278的材料为moti/cu。钝化层280设置于层间介质层270、源极277、金属部278以及漏极279上。钝化层280设置有第五接触孔281。第五接触孔281贯穿钝化层280以暴露漏极279。连接部290设置于钝化层280上，并延伸入第五接触孔281中与漏极279连接。
37.弹性平坦层300设置于钝化层280以及连接部290上。弹性平坦层300中设置有通孔301。通孔301贯穿弹性平坦层300以暴露连接部290。第一电极400设置于弹性平坦层300上，并延伸入通孔301中与连接部290连接。
38.其中，第一电极400的弹性模量大于弹性平坦层300的弹性模量。第一电极400为阳极。
39.在另一实施例中，第一电极400为阴极。
40.在本技术中，通过在第一电极400与晶体管层200之间设置弹性平坦层300，且将弹性平坦层300的弹性模量设置为小于第一电极400的弹性模量，使得位于通孔301中的第一电极400在弯折的过程中，可以释放受到的应力，从而避免第一电极400断裂，从而提高显示面板10的性能。
41.在一实施例中，弹性平坦层300由弹性材料形成。需要说明的是，在本实施例中，弹性平坦层300只采用弹性材料形成，无其他材料。在本技术中，只采用弹性材料形成弹性平坦层300，进一步释放位于通孔301中的第一电极400在弯折的过程中，受到的应力，从而进
一步避免第一电极400断裂，同时，弹性平坦层300可以复用为平坦层，使其具有平坦化的作用，从而进一步提高显示面板10的性能。
42.在一实施例中，弹性平坦层300的材料包括聚二甲基硅氧烷、氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(sebs)、氟橡胶、三元乙丙橡胶、1，1，2，2-四苯乙烯(tpe)、2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦(tpo)、乙二醇、己二酸、1,4-丁二醇、4，4'-亚甲基二苯异氰酸酯聚合物(tpu)和poe中的一种或几种组合。poe为乙烯和丁烯的高聚物，或者为乙烯和辛烯的高聚物。
43.在另一实施例中，弹性平坦层300的材料包括平坦材料和弹性材料。在本实施例中，弹性平坦层300中只含有平坦材料和弹性材料时，弹性材料以掺杂的形式掺杂于平坦材料中。
44.需要说明的是，平坦材料为具有平坦化作用的材料。
45.在一实施例中，弹性材料在弹性平坦层300的材料中的掺杂含量为5％-30％。具体的，弹性材料在弹性平坦层300的材料中的掺杂含量为5％、10％、20％或30％等。在本实施例中，将弹性材料在弹性平坦层300的材料中的掺杂含量设置为5％-30％，进一步避免第一电极400破裂，从而进一步提供显示面板10的性能。
46.在一实施例中，平坦材料包括硅氧烷、聚丙烯酸酯和聚酰亚胺中的一种或几种组合。
47.在另一实施例中，弹性平坦层包括第一弹性平坦层和第二弹性平坦层。第一弹性平坦层和第二弹性平坦层依次层叠设置于所述晶体管层上，第二弹性平坦层的弹性模量小于第一弹性平坦层的弹性模量。进一步避免第一电极出现破裂。
48.像素定义层500设置于弹性平坦层300以及第一电极400上。像素定义层500设置有第六接触孔501。第六接触孔501贯穿像素定义层500，以暴露第一电极400。第六接触孔501与通孔301间隔设置。
49.请参阅图2，需要说明的是，第二种结构与第一种结构的不同之处在于：
50.显示面板10还包括弹性缓冲层600。弹性缓冲层600设置于第一电极400上，且位于通孔301之上。弹性缓冲层600的弹性模量小于第一电极400的弹性模量。
51.在一实施例中，弹性缓冲层600的材料为弹性材料。弹性材料包括聚二甲基硅氧烷、氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(sebs)、氟橡胶、三元乙丙橡胶、1，1，2，2-四苯乙烯(tpe)、2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦(tpo)、乙二醇、己二酸、1,4-丁二醇、4，4'-亚甲基二苯异氰酸酯聚合物(tpu)和poe中的一种或几种组合。poe为乙烯和丁烯的高聚物，或者为乙烯和辛烯的高聚物。
52.在本技术中，通过在位于通孔301的第一电极400上设置弹性缓冲层600，且将弹性缓冲层600的弹性模量设置为小于第一电极400的弹性模量，进一步使得位于通孔301中的第一电极400在弯折的过程中，可以释放受到的应力，从而进一步避免第一电极400断裂，从而进一步提高显示面板10的性能。
53.需要说明的是，本技术提供的显示面板的膜层结构可以根据需要去除，如晶体管层中的连接部或金属部等。
54.本技术还提供一种显示面板的制备方法，用来制备本技术提供的显示面板10。包括：
55.b11：提供一衬底。
56.b12：在衬底上形成晶体管层。
57.b13：在晶体管层上形成弹性平坦层，弹性平坦层中设置有通孔，通孔贯穿弹性平坦层。
58.b14：在弹性平坦层上形成第一电极，并延伸入通孔中与晶体管层连接。
59.在本技术中，通过在第一电极400与晶体管层200之间设置弹性平坦层300，且将弹性平坦层300的弹性模量设置为小于第一电极400的弹性模量，可以释放位于通孔301中的第一电极400在弯折的过程中，受到的应力，从而避免第一电极400断裂，从而提高显示面板10的性能。
60.以下进行具体的说明：
61.请参阅图1、图3和图4-图15，本技术还提供一种显示面板的制备方法，包括：
62.b11：提供一衬底。
63.请参阅图4，衬底100包括刚性衬底110和设置刚性衬底110上的柔性衬底120。在刚性衬底110上涂布聚酰亚胺形成柔性衬底120。
64.b12：在衬底上形成晶体管层。
65.请参阅图5-图12，在柔性基底上使用化学气相沉积(chemical vapor deposition，cvd)工艺制作无机层作第一缓冲膜层210；然后，利用pvd沉积遮光层220的材料，经黄光工艺定义出遮光层220图案，刻蚀和剥离后形成具有图形的遮光层220；然后，在遮光层220以及第一缓冲膜层210上采用cvd工艺形成第二缓冲膜层230；然后，在第二缓冲膜层230采用物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)工艺沉积igzo，经黄光工艺定义出有源层240图案，经过刻蚀和剥离后形成具有图形的有源层240；然后，在第二缓冲膜层230以及有源层240上采用cvd工艺沉积栅极绝缘层250的材料，然后，在栅极绝缘层250的材料上采用pvd工艺沉积栅极260的材料，经黄光工艺定义出栅极260及栅极绝缘层250图案，栅极260光阻剥离前用等离子处理将igzo导体化处理；然后，在第二缓冲膜层230、有源层240、栅极绝缘层250以及栅极260上采用cvd工艺沉积层间介质层270的材料，对其进行光刻，形成层间介质层270，层间介质层270设置有第一接触孔271、第二接触孔272、第三接触孔273以及第四接触孔274。第一接触孔271贯穿层间介质层270以及弹性缓冲层600以暴露遮光层220。第二接触孔272贯穿层间介质层270以暴露有源层240的一端。第三接触孔273贯穿层间介质层270以暴露栅极260。第四接触孔274贯穿层间介质层270以暴露有源层240的另一端；然后，在层间介质层270上采用pvd沉积moti/cu，经黄光工艺定义出源极277、金属部278以及漏极279，对其进行刻蚀和剥离后形成具有图形的源极277、金属部278以及漏极279。源极277延伸入第一接触孔271中与遮光层220连接以及延伸入第二接触孔272中与有源层240的一端连接。金属部278延伸入第三接触孔273中与栅极260连接。漏极279延伸入第四接触孔274中与有源层240的另一端连接；然后，在层间介质层270、源极277、金属部278以及漏极279上采用cvd工艺沉积钝化层280的材料，经黄光工艺定义出钝化层280的图案，并采用氟系气体等气体作为干蚀刻剂完成钝化层280的第五接触孔281刻蚀。第五接触孔281贯穿钝化层280以暴露漏极279；然后，在钝化层280上使用pvd工艺沉积连接部290。连接部290的材料为金属。经黄光工艺定义出连接部290的图案，经过刻蚀和剥离后形成具有图形的连接部290。
66.b13：在晶体管层上形成弹性平坦层，弹性平坦层中设置有通孔，通孔贯穿弹性平坦层。
67.请参阅图13，在钝化层280以及连接部290上设置弹性平坦层300的材料，经黄光工艺形成弹性平坦层300。
68.b14：在弹性平坦层上形成第一电极，并延伸入通孔中与晶体管层连接。
69.请参阅图14，在弹性平坦层300上采用pvd工艺沉积第一电极400的材料，经黄光工艺定义出第一电极400图案，经过刻蚀和剥离后形成具有图形的第一电极400。且第一电极400延伸入通孔301中与连接部290连接。第一电极400为阳极。其中，第一电极400的弹性模量大于弹性平坦层300的弹性模量。
70.在一实施例中，在b14之后，还包括：
71.请参阅图15，在弹性平坦层300以及第一电极400上形成像素定义层500。像素定义层500设置有第六接触孔501。第六接触孔501贯穿像素定义层500，以暴露第一电极400。第六接触孔501与通孔301间隔设置。
72.请参阅图2和图16-图27。第二种步骤示意图与第一种步骤示意图的不同之处在于：
73.在b14之后，还包括：
74.在第一电极400以及弹性平坦层300上形成弹性缓冲层600，且弹性缓冲层600位于通孔301之上，弹性缓冲层600的弹性模量小于第一电极400的弹性模量。
75.在一实施例中，弹性缓冲层600的材料为弹性材料。弹性材料包括聚二甲基硅氧烷、氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(sebs)、氟橡胶、三元乙丙橡胶、1，1，2，2-四苯乙烯(tpe)、2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦(tpo)、乙二醇、己二酸、1,4-丁二醇、4，4'-亚甲基二苯异氰酸酯聚合物(tpu)和poe中的一种或几种组合。poe为乙烯和丁烯的高聚物，或者为乙烯和辛烯的高聚物。
76.本技术提供一种显示面板10及其制备方法，通过在第一电极400与晶体管层200之间设置弹性平坦层300，使得位于通孔301中的第一电极400在弯折的过程中，可以释放受到的应力，从而避免第一电极400断裂，从而提高显示面板10的性能。
77.以上对本技术实施例所提供的一种缺显示面板及其制备方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。