测试结构及测试方法与流程

本申请涉及集成电路，特别是涉及一种测试结构及测试方法。

背景技术：

1、测试结构(test key)是用于专门测试芯片性能的图形结构，通过检测测试结构上的器件参数，可以监控产线的工艺波动，对可能发生的意外情况进行预警。

2、在研发过程中会做很多测试结构来检测新工艺的支撑能力，从而再反馈到设计内容上，以保证设计的尺寸满足新工艺的要求。这其中就包括最基本的结构单元(譬如金属线等)之间距离的检测，传统的测试方法：设置具有相邻结构单元的测试结构，测量结构单元之间是否发生短路来找到合适的最小间距。然而，传统的测试结构只能检测一个间距，测试效率较低。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有技术中的测试结构比较单一，一个测试结构只能检测一个间距，测试效率较低等问题，提供一种测试结构及测试方法。

2、根据一些实施例，本申请一方面提供一种半导体结构，包括：

3、第一叉指结构，包括第一导电梳齿部及第二导电梳齿部；所述第二导电梳齿部的梳齿端插入至所述第一导电梳齿部内，所述第二导电梳齿部的梳齿端与所述第一导电梳齿部的梳齿端依次交替间隔排布，所述第二导电梳齿部的梳齿端与所述第一导电梳齿部的梳齿端之间具有第一间距；

4、第二叉指结构，包括第三导电梳齿部及第四导电梳齿部；所述第四导电梳齿部的梳齿端插入至所述第三导电梳齿部内，所述第四导电梳齿部的梳齿端与所述第三导电梳齿部的梳齿端依次交替间隔排布；所述第四导电梳齿部的梳齿端与所述第三导电梳齿部的梳齿端具有第二间距，所述第二间距与所述第一间距不等；所述第一导电梳齿部与所述第三导电梳齿部电连接，所述第二导电梳齿部与所述第四导电梳齿部电连接。

5、在其中一个实施例中，还包括分压器件，所述分压器件将所述第二导电梳齿部与所述第四导电梳齿部电连接。

6、在其中一个实施例中，所述第一导电梳齿部的阻值、所述第二导电梳齿部的阻值、所述第三导电梳齿部的阻值及所述第四导电梳齿部的阻值均小于所述分压器件的阻值。

7、在其中一个实施例中，所述第一导电梳齿部包括多个平行间隔排布的第一导电梳齿和用于连接多个所述第一导电梳齿的第一导电梳体，所述第一导电梳齿作为所述第一导电梳齿部的梳齿端；所述第二导电梳齿部包括多个平行间隔排布的第二导电梳齿和用于连接多个所述第二导电梳齿的第二导电梳体，所述第二导电梳齿作为所述第二导电梳齿部的梳齿端；

8、所述第三导电梳齿部包括多个平行间隔排布的第三导电梳齿和用于连接多个所述第三导电梳齿的第三导电梳体，所述第三导电梳体与所述第一导电梳体相连接，所述第三导电梳齿作为所述第三导电梳齿部的梳齿端；所述第四导电梳齿部包括平行间隔排布的第四导电梳齿和用于连接多个所述第四导电梳齿的第四导电梳体，所述第四导电梳体与所述第二导电梳体电连接，所述第四导电梳齿作为所述第四导电梳齿部的梳齿端。

9、在其中一个实施例中，所述第二导电梳齿插入至所述第一导电梳齿部内的长度小于所述第一导电梳齿的长度及所述第二导电梳齿的长度；所述第四导电梳齿插入至所述第三导电梳齿部内的长度小于所述第三导电梳齿的长度及所述第四导电梳齿的长度。

10、在其中一个实施例中，所述测试结构还包括：

11、第一焊盘，所述第一焊盘与所述第二导电梳齿部电连接连接；

12、第二焊盘，所述第二焊盘与所述第三导电梳齿部电连接。

13、在其中一个实施例中，所述第一叉指结构及所述第二叉指结构均位于所述第一焊盘与所述第二焊盘之间。

14、在其中一个实施例中，所述第一焊盘的面积及所述第二焊盘的面积均大于所述第一叉指结构的面积及所述第二叉指结构的面积。

15、在其中一个实施例中，还包括：

16、至少一个附加叉指结构，设置于第一叉指结构与第二叉指结构之间，与所述第一叉指结构及所述第二叉指结构电连接；所述附加叉指结构包括第一附加导电梳齿部和第二附加导电梳齿部，所述第二附加导电梳齿部的梳齿端插入至所述第一附加导电梳齿部内，所述第二附加导电梳齿部的梳齿端与所述第一附加导电梳齿部的梳齿端依次交替间隔排布，所述第二附加导电梳齿部的梳齿端与所述第一附加导电梳齿部的梳齿端之间具有附加间距。

17、在其中一个实施例中，所述附加叉指结构为多个，多个所述附加叉指结构依次串接；多个所述附加叉指结构的附加间距互不相同，且每个所述附加叉指结构的附加间距与第一间距及第二间距均不相同。

18、在其中一个实施例中，所述第一附加导电梳齿部靠近所述第二导电梳齿部的一端通过分压器件与所述第二导电梳齿部电连接，所述第一附加导电梳齿部靠近所述第四导电梳齿部的另一端通过另一分压器件与所述第四导电梳齿部电连接，相邻两个附加叉指结构的第一附加导电梳齿部之间通过分压器件连接；所述第二附加导电梳齿部靠近所述第一导电梳齿部的一端与所述第一导电梳齿部电连接，所述第二附加导电梳齿部靠近所述第三导电梳齿部的一端与所述第三导电梳齿部电连接，多个附加叉指结构的第二附加导电梳齿部之间依次串接。

19、在其中一个实施例中，所述第一导电梳齿部的阻值、所述第二导电梳齿部的阻值、所述第三导电梳齿部的阻值、所述第四导电梳齿部的阻值、所述第一附加导电梳齿部的阻值及所述第二附加导电梳齿部的阻值均小于所述电阻的阻值。

20、在其中一个实施例中，所述第一附加导电梳齿部包括多个平行间隔排布的第一附加导电梳齿和用于连接多个所述第一附加导电梳齿的第一附加导电梳体，所述第一附加导电梳齿作为所述第一附加导电梳齿部的梳齿端；

21、所述第二附加导电梳齿部包括多个平行间隔排布的第二附加导电梳齿和用于连接多个所述第二附加导电梳齿的第二附加导电梳体，所述第二附加导电梳齿作为所述第二附加导电梳齿部的梳齿端。

22、在其中一个实施例中，所述第二附加导电梳齿插入至所述第一附加导电梳齿部内的长度小于所述第一附加导电梳齿的长度及所述第二附加导电梳齿的长度。

23、本申请另一方面还提供一种测试方法，包括：

24、提供如上述任一方案中所述的测试结构；

25、于所述测试结构相对的两端分别施加第一电压与第二电压，以测量流经所述测试结构的电流；所述第一电压与所述第二电压具有电压差；

26、基于测量的电流及所述第一电压与所述第二电压的电压差判断所述测试结构中发生短路的位置。

27、本申请提供的测试结构及测试方法可以具有以下优点：

28、本申请的测试结构包括第一叉指结构和第二叉指结构，第一叉指结构的第一导电梳齿部的梳齿端与第二导电梳齿部的梳齿端具有第一间距，第二叉指结构的第三导电梳齿部的梳齿端与的第四导电梳齿部的梳齿端具有第二间距，第一间距与第二间距不等，通过上述设置，一个测试结构可以同时对两个或多个间距进行测试，可以显著提高测试效率；同时，本申请的测试结构比较紧凑，尺寸较小。

技术特征：

1.一种测试结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，还包括分压器件，所述分压器件将所述第二导电梳齿部与所述第四导电梳齿部电连接。

3.根据权利要求2所述的测试结构，其特征在于，所述第一导电梳齿部的阻值、所述第二导电梳齿部的阻值、所述第三导电梳齿部的阻值及所述第四导电梳齿部的阻值均小于所述分压器件的阻值。

4.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的测试结构，其特征在于，所述第二导电梳齿插入至所述第一导电梳齿部内的长度小于所述第一导电梳齿的长度及所述第二导电梳齿的长度；所述第四导电梳齿插入至所述第三导电梳齿部内的长度小于所述第三导电梳齿的长度及所述第四导电梳齿的长度。

6.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述测试结构还包括：

7.根据权利要求6所述的测试结构，其特征在于，所述第一叉指结构及所述第二叉指结构均位于所述第一焊盘与所述第二焊盘之间。

8.根据权利要求7所述的测试结构，其特征在于，所述第一焊盘的面积及所述第二焊盘的面积均大于所述第一叉指结构的面积及所述第二叉指结构的面积。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的测试结构，其特征在于，还包括：

10.根据权利要求9所述的测试结构，其特征在于，所述附加叉指结构为多个，多个所述附加叉指结构依次串接；多个所述附加叉指结构的附加间距互不相同，且每个所述附加叉指结构的附加间距与第一间距及第二间距均不相同。

11.根据权利要求10所述的测试结构，其特征在于，所述第一附加导电梳齿部靠近所述第二导电梳齿部的一端通过分压器件与所述第二导电梳齿部电连接，所述第一附加导电梳齿部靠近所述第四导电梳齿部的另一端通过另一分压器件与所述第四导电梳齿部电连接，相邻两个附加叉指结构的第一附加导电梳齿部之间通过分压器件连接；所述第二附加导电梳齿部靠近所述第一导电梳齿部的一端与所述第一导电梳齿部电连接，所述第二附加导电梳齿部靠近所述第三导电梳齿部的一端与所述第三导电梳齿部电连接，多个附加叉指结构的第二附加导电梳齿部之间依次串接。

12.根据权利要求10所述的测试结构，其特征在于，所述第一导电梳齿部的阻值、所述第二导电梳齿部的阻值、所述第三导电梳齿部的阻值、所述第四导电梳齿部的阻值、所述第一附加导电梳齿部的阻值及所述第二附加导电梳齿部的阻值均小于所述附加分压器件的阻值。

13.根据权利要求9所述的测试结构，其特征在于，

14.根据权利要求13所述的测试结构，其特征在于，所述第二附加导电梳齿插入至所述第一附加导电梳齿部内的长度小于所述第一附加导电梳齿的长度及所述第二附加导电梳齿的长度。

15.一种测试方法，其特征在于，包括：

技术总结
本申请涉及一种测试结构及测试方法，提供一种半导体结构，包括：第一叉指结构，包括第一导电梳齿部及第二导电梳齿部；第二导电梳齿部的梳齿端与第一导电梳齿部的梳齿端依次交替间隔排布，第二导电梳齿部的梳齿端与第一导电梳齿部的梳齿端之间具有第一间距；第二叉指结构，包括第三导电梳齿部及第四导电梳齿部；第四导电梳齿部的梳齿端与第三导电梳齿部的梳齿端依次交替间隔排布；第四导电梳齿部的梳齿端与第三导电梳齿部的梳齿端具有第二间距，第二间距与第一间距不等；第一导电梳齿部与第三导电梳齿部电连接，第二导电梳齿部与第四导电梳齿部电连接。本申请一个测试结构可以同时对两个或多个间距进行测试，可以显著提高测试效率。

技术研发人员：朱中钦
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15