具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备的制作方法

本发明涉及一种具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，特别是一种适用于半导体工艺的具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备。

背景技术：

1、在半导体工艺中，需要对晶圆进行多道工艺处理。在对晶圆进行多道工艺之前需要先将其固定于承载座上，以利于进行后续处理。然而，已知的方法是依赖人为操作将晶圆固定于承载座上，未能实现自动化作业。因此存在操作公开失误、或效率低等问题，造成营业损失或生产成本高昂。

2、发明人缘因于此，本着积极发明的精神，亟思一种可以解决或改善上述问题的具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，几经研究实验终至完成本发明。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提供一种具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，通过上下料自动化作业，大幅减少人为操作及失误风险，达到高生产效率。

2、为达成上述目的，本发明的具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备包括一进料模块、一定位模块以及一取放模块。进料模块包括一第一输送元件以及一进料闸门，其中欲进行处理的晶圆由进料闸门送入第一输送元件，并通过第一输送元件送入定位模块。定位模块邻接进料模块，用于定位从进料模块通过第一输送元件输送的一晶圆，使得晶圆可依实际需求进行定位。取放模块邻接定位模块，包括一第二输送元件、一承载座

3、定位件以及一晶圆承载座，承载座定位件用于定位从定位模块通过第二输送元件输送的晶圆，使得晶圆可依实际需求进行定位，晶圆承载座用于承载从承载座定位件通过第二输送元件输送的晶圆，从而将晶圆固定于晶圆承载座上以利后续工艺的处理。

4、上述晶圆承载座可设置于一载台上，可包括一承载座主体、一扣合组件、一夹爪组件、一支撑导引组件以及一吸盘组件。其中，承载座主体可包括一承载上盖以及一承载下座，承载上盖与承载下座之间可对应夹持或松脱一晶圆，换言之，可将晶圆夹持于承载上盖与承载下座之间。扣合组件可设置于载台上，可包括一扣合件及一扣合动力源，扣合件可对应扣合或松脱承载下座。

5、此外，夹爪组件可设置于载台上，可包括一夹爪、一夹爪水平动力源以及一夹爪垂直动力源，夹爪可对应夹持或松脱承载上盖，通过夹爪水平动力源可驱动夹爪夹持或松脱承载上盖，而通过夹爪垂直动力源可使夹爪夹持的承载上盖靠近或远离承载下座，以利于将晶圆放置于承载上盖与承载下座之间。支撑导引组件可包括一支撑单元以及一导引单元，支撑单元可包括一支撑座以及一支撑动力源，支撑座可对应支撑或远离晶圆，通过支撑座以支撑或松脱晶圆，导引单元可包括一导引座以及一导引动力源，导引座可对应导引或远离晶圆，通过导引座将晶圆导引定位并放置于承载下座上。吸盘组件可包括一驱动臂以及一吸盘，吸盘可对应吸取或不吸取晶圆，在吸盘吸取晶圆时，使晶圆沿导引座定位并放置于承载下座上。

6、上述第一输送元件可为输送带。

7、上述第二输送元件可为机械手臂。

8、通过上述的具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，可自动化作业以将晶圆固定于承载座上，完成上下料自动化作业，大幅减少人为操作及失误风险，有助于降低生产成本，达到高生产效率。

9、以上概述与接下来的详细说明皆为示范性质是为了进一步说明本发明的权利要求保护范围。而有关本发明的其他目的与优点，将在后续的说明与附图加以阐述。

10、附图说明

11、图1为本发明一实施例具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备的示意图；

12、图2为本发明一实施例具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备的俯视图；

13、图3为本发明一实施例晶圆承载座的示意图；

14、图4为本发明一实施例晶圆承载座的侧视图；

15、图5为本发明一实施例晶圆承载座另一视角的侧视图；

16、图6至图7为本发明一实施例承载座主体的示意图；

17、图8至图10为本发明一实施例支撑导引组件的作动示意图；

18、图11至图23为本发明一实施例晶圆承载座的作动示意图。

技术特征：

1.一种具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，包括：

2.如权利要求1所述的具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，其中该晶圆承载座，设置于一载台上，包括：

3.如权利要求1所述的具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，其中该第一输送元件为输送带。

4.如权利要求1所述的具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，其中该第二输送元件为机械手臂。

技术总结
本发明涉及一种具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备，包括一进料模块、一定位模块以及一取放模块。进料模块包括一第一输送元件以及一进料闸门。定位模块邻接进料模块，用于定位从进料模块通过第一输送元件输送的一晶圆。取放模块邻接定位模块，包括一第二输送元件、一承载座定位件以及一晶圆承载座，承载座定位件用于定位从定位模块通过第二输送元件输送的晶圆，晶圆承载座用于承载从承载座定位件通过第二输送元件输送的晶圆。从而，本发明的具有晶圆承载座的上下料自动化作业设备得以自动化地上下料晶圆，达到高生产效率。

技术研发人员：吴俊贤,庄宗闵,梁祐笙,柯宏坤,彭成斌,陈皇智
受保护的技术使用者：台湾富创得工程股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16