一种晶舟升降轴位置监测显示装置的制作方法

本发明涉及半导体，特别涉及一种晶舟升降轴位置监测显示装置。

背景技术：

1、目前，在半导体纵形扩散炉设备中，对于晶舟所处升降轴的位置，需要从设备转运室外部进行观察确认；而在扩散炉设备运行当中在外部进行观察确认，会产生不便之处，并且容易产生不必要的危险。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，提供了一种晶舟升降轴位置监测显示装置，能够有实时监控扩散炉中晶舟的实时位置，能够在报警发生时，立刻采取相应措施。

2、本发明采用的技术方案如下：一种晶舟升降轴位置监测显示装置，包括：

3、监测显示模块，位于升降轴顶部与底部；

4、晶舟，安装在升降轴上，通过升降轴上下移动；

5、其中，监测显示模块实时监测并显示晶舟在升降轴上的位置。

6、进一步的，所述晶舟上设有交互装置，分别与升降轴顶部和底部的监测模块交互，监测显示模块接收晶舟实时位置数据。

7、进一步的，所述监测显示模块中设有距离传感器与晶舟配合，显示与晶舟的距离。

8、进一步的，位于升降轴顶部的监测显示模块显示升降轴上方极限位置数据与晶舟相较于升降轴顶部的真实位置数据；位于升降轴底部的监测显示模块显示升降轴下方极限位置数据与晶舟相较于升降轴底部的真实位置数据。

9、进一步的，所述监测显示模块设有显示屏，用于直观显示晶舟位置数据。

10、进一步的，所述监测显示模块设有背光功能。

11、进一步的，所述监测显示装置设置于纵行扩散炉中。

12、与现有技术相比，采用上述技术方案的有益效果为：通过本发明的监测显示装置，能够准确把握晶舟处于升降轴上的实时位置，并且能够通过该装置可以避免原有传感器传感不良的问题。

13、附图说明

14、图1为本发明提出的晶舟升降轴位置监测显示装置示意图。

技术特征：

1.一种晶舟升降轴位置监测显示装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶舟升降轴位置监测显示装置，其特征在于，所述晶舟上设有交互装置，分别与升降轴顶部和底部的监测模块交互，监测显示模块接收晶舟实时位置数据。

3.根据权利要求1所述的晶舟升降轴位置监测显示装置，其特征在于，所述监测显示模块中设有距离传感器与晶舟配合，监测并显示与晶舟的距离。

4.根据权利要求1或2所述的晶舟升降轴位置监测显示装置，其特征在于，位于升降轴顶部的监测显示模块显示升降轴上方极限位置数据与晶舟相较于升降轴顶部的真实位置数据；位于升降轴底部的监测显示模块显示升降轴下方极限位置数据与晶舟相较于升降轴底部的真实位置数据。

5.根据权利要求1所述的晶舟升降轴位置监测显示装置，其特征在于，所述监测显示模块设有显示屏，用于直观显示晶舟位置数据。

6.根据权利要求1所述的晶舟升降轴位置监测显示装置，其特征在于，所述监测显示模块设有背光功能。

7.根据权利要求1所述的晶舟升降轴位置监测显示装置，其特征在于，所述监测显示装置设置于纵行扩散炉中。

技术总结
本发明提供了一种晶舟升降轴位置监测显示装置，包括：监测显示模块，位于升降轴顶部与底部；晶舟，安装在升降轴上，通过升降轴上下移动；其中，监测显示模块实时监测并显示晶舟在升降轴上的位置。通过本发明的监测显示装置，能够准确把握晶舟处于升降轴上的实时位置，并且能够通过该装置可以避免原有传感器传感不良的问题。

技术研发人员：郭世根
受保护的技术使用者：成都高真科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15