翻转装置和基板翻转方法与流程

文档序号:32420436发布日期:2022-12-02 22:56阅读:26来源:国知局
翻转装置和基板翻转方法与流程

1.本技术涉及显示技术领域,尤其是涉及一种翻转装置和基板翻转方法。


背景技术:

2.在显示器件的制备过程中,需要将盖板与显示基板贴合对显示基板进行保护。在盖板和显示基板的贴合过程中,显示基板在上、盖板在下进行贴合,但由于紫外光照射装置只能从上向下照射,而显示基板受到紫外光照射会受损,因此,需要在盖板和显示基板贴合后将合板翻转,然后才能进行紫外光照射,但由于盖板和显示基板贴合时框胶没有固化,翻转时机构带动盖板和显示基板的合板进行翻转,导致翻转过程中显示基板和盖板发生偏移的风险较大,使得显示器件出现不良。
3.所以,现有显示器件制备过程中存在盖板和显示基板翻转后容易出现偏移导致显示器件良率较低的技术问题。


技术实现要素:

4.本技术实施例提供一种翻转装置和基板翻转方法,用以缓解现有显示器件制备过程中存在盖板和显示基板翻转后容易出现偏移导致显示器件良率较低的技术问题。
5.本技术实施例提供一种翻转装置,该翻转装置包括:
6.真空腔;
7.第一平台,设置于所述真空腔内;
8.第二平台,设置于所述真空腔内,且与所述第一平台相对设置;
9.其中,所述第一平台和所述第二平台用于承载和夹持基板,所述翻转装置还包括驱动组件,所述驱动组件与所述第一平台连接,所述驱动组件用于驱动所述第一平台和所述第二平台夹持基板翻转,在第一状态时,所述第一平台位于所述第二平台上,在第二状态时,所述第一平台位于所述第二平台下。
10.在一些实施例中,所述第一平台包括第一承载基板和第一对位单元,所述第一对位单元与所述驱动组件连接,所述第一承载基板与所述第一对位单元连接,所述驱动组件用于驱动所述第一平台翻转。
11.在一些实施例中,所述第一平台还包括柔性载体,所述柔性载体设置于所述第一承载基板靠近所述第二平台的一侧,且所述柔性载体与所述第一承载基板固定连接。
12.在一些实施例中,所述第一承载基板包括凹槽和位于所述凹槽两侧的支撑部分,所述柔性载体设置于所述支撑部分一侧。
13.在一些实施例中,所述第二平台包括第二承载基板和第二对位单元,所述第二承载基板与所述第一平台相对设置,所述第二承载基板与所述第二对位单元连接。
14.在一些实施例中,所述第二平台还包括收纳板,所述收纳板设置于所述第二承载基板远离所述第一平台的一侧,所述收纳板上设有升降销,所述第二承载基板上设有与所述升降销配合的过孔,所述升降销用于支撑基板。
15.在一些实施例中,所述驱动组件包括伺服电机、减速器和滚珠丝杆,所述伺服电机与所述减速器连接,所述伺服电机与所述滚珠丝杆连接,所述滚珠丝杆与所述第一平台连接。
16.在一些实施例中,所述翻转装置还包括预固化单元,所述预固化单元设置于所述第一平台和所述第二平台中的至少一个,所述预固化单元用于对基板上的密封胶进行预固化。
17.在一些实施例中,所述翻转装置还包括传感器,所述传感器用于检测所述翻转装置的工作状态。
18.同时,本技术实施例提供一种基板翻转方法,该基板翻转方法使用如上述实施例任一所述的翻转装置,所述基板翻转方法包括:
19.打开真空腔的舱门;
20.将基板设置在第二平台上;
21.将第一平台与第二平台对位后,使第一平台移动后压紧基板;
22.使用驱动组件将第一平台和第二平台翻转,并在第一平台和第二平台分离后,取出基板。
23.有益效果:本技术提供一种翻转装置和基板翻转方法;该翻转装置包括真空腔、第一平台和第二平台,第一平台设置于真空腔内,第二平台设置于真空腔内,且与第一平台相对设置,其中,第一平台和第二平台用于承载和夹持基板,翻转装置还包括驱动组件,驱动组件与第一平台电连接,驱动组件用于驱动第一平台和第二平台夹持基板翻转,在第一状态时,第一平台位于第二平台上,在第二状态时,第一平台位于第二平台上。本技术通过设置第一平台和第二平台,通过驱动组件驱动第一平台和第二平台夹持基板翻转,使得在基板的翻转过程中,避免基板翻转时发生偏移,提高了显示器件的良率。且该过程可以对单板和合板进行翻转,无需单独设置单板和合板翻转机构,提高了显示器件翻转的效率。
附图说明
24.下面结合附图,通过对本技术的具体实施方式详细描述,将使本技术的技术方案及其它有益效果显而易见。
25.图1为本技术实施例提供的翻转装置的第一种示意图。
26.图2为本技术实施例提供的翻转装置的第二种示意图。
27.图3为本技术实施例提供的翻转装置的第三种示意图。
28.图4为本技术实施例提供的第一平台的示意图。
29.图5为本技术实施例提供的第二平台的示意图。
30.图6为本技术实施例提供的基板的示意图。
31.图7为本技术实施例提供的基板翻转方法的示意图。
32.图8为本技术实施例提供的翻转装置的第四种示意图。
33.图9为本技术实施例提供的翻转装置的第五种示意图。
具体实施方式
34.下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
35.在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
36.在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接或可以相互通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
37.在本技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
38.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本技术。此外,本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
39.本技术实施例针对现有显示器件制备过程中存在盖板和显示基板翻转后容易出现偏移导致显示器件良率较低的技术问题,提供一种翻转装置和基板翻转方法,用以缓解上述技术问题。
40.如图1至图3所示,本技术实施例提供一种翻转装置,该翻转装置1包括:
41.真空腔11;
42.第一平台12,设置于所述真空腔11内;
43.第二平台13,设置于所述真空腔11内,且与所述第一平台12相对设置;
44.其中,所述第一平台12和所述第二平台13用于承载和夹持基板15,所述翻转装置1还包括驱动组件14,所述驱动组件14与所述第一平台12连接,所述驱动组件14用于驱动所述第一平台12和所述第二平台13夹持基板15翻转,在第一状态时,所述第一平台12位于所述第二平台13上(例如图1和图2的状态),在第二状态时,所述第一平台12位于所述第二平
台13下(例如图3的状态)。
45.本技术实施例提供一种翻转装置,该翻转装置通过设置第一平台和第二平台,通过驱动组件驱动第一平台和第二平台夹持基板翻转,使得在基板的翻转过程中,避免基板翻转时发生偏移,提高了显示器件的良率。且该过程可以对单板和合板进行翻转,无需单独设置单板和合板翻转机构,提高了显示器件翻转的效率。
46.需要说明的是,基板包括单板和合板,例如基板为单板时,基板为盖板或者阵列基板,基板为合板时,基板可以为盖板和显示基板贴合后的合板。
47.在一种实施例中,如图1所示,真空腔11上设有舱门111,通过舱门111的开启和关闭使基板能够取出设置放入,且通过舱门可以使真空腔内保持真空。
48.针对第一平台和第二平台在夹持基板时,为避免第一平台和第二平台偏移导致基板移位或者损伤的问题。在一种实施例中,如图1所示,所述第一平台包括第一承载基板121和第一对位单元122,所述第一对位单元122与所述驱动组件14连接,所述第一承载基板121与所述第一对位单元122连接,所述驱动组件14用于驱动所述第一平台12翻转。通过设置第一承载基板和第一对位单元,使得在第一平台和第二平台夹持基板时,可以通过第一对位单元将第一平台和第二平台对位,避免第一平台和第二平台对位不准导致基板移位或者基板受损,同时,第一承载基板可以承载基板,使基板能够放置在第一平台上,进行相应的操作。
49.具体的,驱动组件还可以包括驱动第一承载基板移动的第一驱动单元,通过使第一驱动单元驱动第一对位单元工作,第一对位单元控制第一承载基板移动,从而使第一平台和第二平台进行对位。
50.具体的,如图1所示,第一平台12还包括第一支撑柱123,第一支撑柱123一侧与所述第一对位单元122连接,所述第一支撑柱123另一侧与所述第一承载基板121连接。可以通过驱动组件中的第一驱动单元驱动第一对位单元工作,第一对位单元带动第一支撑柱,第一支撑柱控制第一平台移动,从而完成对位。
51.具体的,在第一平台和第二平台夹持基板时,可以使第一平台和第二平台移动,也可以使第一平台和第二平台中的第一承载基板和/或第二承载基板移动。例如,通过第一支撑柱的上下移动,带动第一承载基板的上下移动,从而使第一平台和第二平台可以夹持基板。
52.具体的,通过第一支撑柱的上下移动带动第一承载基板的上下移动时,可以设置驱动机构,通过驱动机构驱动第一支撑柱,也可以使第一对位单元驱动第一支撑柱上下移动。
53.具体的,在第一平台和第二平台夹持基板时,使第一平台和第二平台移动,则可以使驱动组件带动第一平台上下移动,即第一平台和驱动组件的整体移动,从而可以对基板进行夹持。
54.针对第一平台和第二平台夹持基板时,会导致基板受力过大出现损伤的问题。在一种实施例中,如图1所示,所述第一平台12还包括柔性载体124,所述柔性载体124设置于所述第一承载基板121靠近所述第二平台13的一侧,且所述柔性载体124与所述第一承载基板121固定连接。通过在第一平台上设置柔性载体,且柔性载体设置于第一承载基板靠近第二平台的一侧,使得在基板设置在第一平台上,或者第一平台和第二平台夹持基板时,基板
能够与柔性载体贴合,避免基板受力过大导致损伤,且柔性载体与第一承载基板固定连接,避免柔性载体滑动带动基板偏移。
55.具体的,柔性载体包括乙烯-醋酸乙烯共聚物,采用乙烯-醋酸乙烯共聚物形成柔性载体,避免基板在翻转装置中夹持和翻转时受损。
56.针对柔性载体设置在第一承载基板上不便于修复和替换的问题。在一种实施例中,如图4所示,所述第一承载基板121包括凹槽(图中未标示)和位于所述凹槽两侧的支撑部分121a,所述柔性载体124设置于所述支撑部分121a一侧。通过使第一承载基板包括凹槽,使得在需要取用或者修复、替换柔性载体时,便于操作,同时,柔性载体设置在支撑部分上,可以降低第一平台和第二平台夹持基板时的压力和冲击力,避免基板受损。且在基板设置在第一平台上时,便于取出和放置基板。
57.在一种实施例中,还可以将第一承载基板设置为多个基板拼接而成,例如第一承载基板包括基底和设置于基底上的多个支撑单元,多个支撑单元间隔设置,从而可以通过支撑单元对柔性载体进行支撑,且便于取用或者修复、替换柔性载体。
58.针对第一平台和第二平台在夹持基板时,为避免第一平台和第二平台偏移导致基板移位或者损伤的问题。在一种实施例中,如图1所示,所述第二平台13包括第二承载基板131和第二对位单元132,所述第二承载基板131与所述第一平台12相对设置,所述第二承载基板131与所述第二对位单元132连接。通过设置第二对位单元,使第一平台和第二平台夹持基板时,可以通过第一对位单元将第一平台和第二平台对位,避免第一平台和第二平台对位不准导致基板移位或者基板受损,同时,第二承载基板可以承载基板,使基板能够放置在第二平台上,进行相应的操作。
59.具体的,驱动组件还可以包括驱动第二承载基板移动的第二驱动单元,通过使第二驱动单元驱动第二对位单元工作,第二对位单元控制第二承载基板移动,从而使第一平台和第二平台进行对位。
60.具体的,如图1所示,第二平台13还包括第二支撑柱133,第二支撑柱133一侧与所述第二对位单元132连接,所述第二支撑柱133另一侧与所述第二承载基板131连接。可以通过驱动组件中的第二驱动单元驱动第二对位单元工作,第二对位单元带动第二支撑柱,第二支撑柱控制第二平台移动,从而完成对位。
61.具体的,在第一平台和第二平台夹持基板时,可以使第一平台和第二平台移动,也可以使第一平台和第二平台中的第一承载基板和/或第二承载基板移动。例如,通过第二支撑柱的上下移动,带动第二承载基板的上下移动,从而使第一平台和第二平台可以夹持基板。
62.具体的,通过第二支撑柱的上下移动带动第二承载基板的上下移动时,可以设置驱动机构,通过驱动机构驱动第二支撑柱,也可以使第二对位单元驱动第二支撑柱上下移动。
63.针对基板设置在第二平台时,存在取用不便且容易偏移的问题。在一种实施例中,如图1、图5所示,所述第二平台13还包括收纳板134,所述收纳板134设置于所述第二承载基板131远离所述第一平台12的一侧,所述收纳板134上设有升降销135,所述第二承载基板131上设有与所述升降销135配合的过孔131a,所述升降销135用于支撑基板。通过在第二平台上设置收纳板,在收纳板内设置升降销,使第二平台承载基板时,可以通过升降销升起对
基板进行承载,便于基板的载入和取出,而在需要夹持基板时,可以使升降销下降,使基板设置在第二平台上,由于该过程由升降销的升降带动基板升降,基板升降较为平稳,避免基板出现损伤。
64.具体的,如图1、图2所示,可以看到在基板载入时,升降销上升便于基板设置在第二平台上,而在需要夹持基板时,升降销下降使基板位于第二平台上,避免第一平台和第二平台夹持基板时受力不均导致基板受损。
65.具体的,升降销可以为空心管,通过使升降销为空心管,可以对升降销抽真空,使基板能够吸附在升降销上,提高基板的稳定性,且基板在随着升降销移动时,也可以避免基板受损。
66.具体的,如图1所示,可以设置气缸136驱动收纳板内的升降销工作,使升降销能够升降对基板承载或者带动基板移动。
67.在一种实施例中,如图1所示,所述驱动组件14包括伺服电机141、减速器142和滚珠丝杆143,所述伺服电机141与所述减速器142连接,所述伺服电机141与所述滚珠丝杆143连接,所述滚珠丝杆143与所述第一平台12连接。通过伺服电机驱动滚珠丝杆,带动第一平台进行翻转,使基板能够翻转,且设置减速器避免第一平台的翻转速度过大,导致基板损伤。
68.具体的,在驱动组件的设计中,除对第一平台进行翻转外,还可以通过驱动组件对第一平台进行升降,具体的,为了提高升降的平坦度和平行度,可以采用4个以上的伺服电极同时控制升降,避免基板受力不均或者受力过大导致损伤。
69.针对基板在放入、取出和翻转的过程中仍然可能偏移的问题。在一种实施例中,如图5所示,所述翻转装置还包括预固化单元137,所述预固化单元137设置于所述第一平台和所述第二平台中的至少一个,所述预固化单元137用于对基板上的密封胶进行预固化。通过在翻转装置中设置预固化单元,使预固化单元设置在第一平台和第二平台中的至少一个,通过预固化单元对密封胶进行预固化,避免基板在放入、取出和翻转的过程中发生偏移。
70.具体的,如图5所示,考虑到对密封胶进行预固化时,为了避免显示背板收到影响,可以将预固化单元设置在靠近盖板的一侧,而基板在进入翻转装置时,会先设置在第二平台上,对于基板为合板时,盖板会面向第二平台,因此,在第二平台上设置预固化单元137,使预固化单元对密封胶进行预固化时,不会影响到显示背板的性能,同时,由于密封胶预固化,避免盖板和显示背板在移动和翻转的过程中出现偏移导致显示不良。
71.具体的,如图6所示,在基板15为合板时,基板15包括多个面板,基板15设有密封胶138,位于多个面板之间的无效框胶22和位于单位面板外围的有效框胶21,由于密封胶会在合板上切除,因此,对密封胶进行预固化不会影响合板的正常制备和使用。且本技术中对密封胶进行预固化,则对于具有不同尺寸面板、不同排列方式的基板均可以进行密封胶的预固化,避免盖板和显示背板在移动和翻转的过程中出现偏移导致显示不良。
72.在一种实施例中,所述翻转装置还包括传感器,所述传感器用于检测所述翻转装置的工作状态。在翻转装置对基板进行载入、取出和翻转时,为了避免基板发生偏移或者掉落的问题,通过传感器检测翻转装置的工作状态,包括第一平台和第二平台所处位置,第一平台和第二平台的角度,第一平台和第二平台之间的间距,是否抽真空,从而对翻转装置的工作状态进行检测,相应的调整翻转装置,使基板能够正常翻转。
73.同时,如图7所示,本技术实施例提供一种基板翻转方法,该基板翻转方法使用如上述实施例任一所述的翻转装置,该基板翻转方法包括:
74.s1,打开真空腔的舱门;
75.s2,将基板设置在第二平台上;
76.s3,将第一平台与第二平台对位后,使第一平台移动后压紧基板;
77.s4,使用驱动组件将第一平台和第二平台翻转,并在第一平台和第二平台分离后,取出基板。
78.本技术实施例提供一种基板翻转方法,该基板翻转方法使用的翻转装置通过设置第一平台和第二平台,通过驱动组件驱动第一平台和第二平台夹持基板翻转,使得在基板的翻转过程中,避免基板翻转时发生偏移,提高了显示器件的良率。且该过程可以对单板和合板进行翻转,无需单独设置单板和合板翻转机构,提高了显示器件翻转的效率。
79.具体的,对于基板为单板和合板时,基板的翻转过程均可以采用本技术实施例提供的翻转装置,但由于单板和合板的后续工艺不同,因此,在基板翻转方法中存在一定的区别,在下述实施例进行详细说明。
80.具体的,在基板为合板时,例如盖板和显示背板,显示背板可以为显示面板。
81.具体的,在基板为合板时,基板的制备过程包括:将盖板设置在下方、对显示背板进行处理,然后将显示背板置于上方,将显示背板与盖板贴合得到合板,然后翻转合板使盖板位于显示背板上方,然后对合板进行紫外光照射,则此时基板翻转方法包括:
82.打开真空腔的舱门;可以通过传感器检测真空腔是否开启;
83.将第一平台和第二平台设置在初始位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
84.将第一平台和第二平台翻转至0度;考虑到第一平台和第二平台在真空腔内的位置不是0度,可以增加这一步骤使第一平台和第二平台处于0度,在可以确定第一平台和第二平台处于0度时,也可以不对第一平台和第二平台进行处理。可以通过传感器和伺服电极进行检测;
85.将升降销上升到基板的上载位置;可以通过传感器进行检测;
86.将基板通过机械手移动到升降销上;此时翻转装置的状态如图1所示;
87.采用传感器检测基板是否设置在升降销上;
88.将升降销放下并吸真空;可以通过传感器进行检测;
89.将收纳板设置在初始位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
90.在第一平台和第二平台对位后,将基板设置到指定位置;将第一平台和第二平台翻转180度,使基板中的盖板位于上方;此时翻转装置的状态如图2所示;具体的,将基板采用第一平台和第二平台进行夹持,可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
91.将第二平台采用氮气破真空;可以采用传感器进行检测;
92.将第一平台和第二平台分离;可以采用传感器和伺服电极信号进行检测;此时翻转装置的状态如图3所示;
93.检测基板的对位状态和位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
94.将基板通过机械手移出翻转装置;
95.将第一平台设置到初始位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
96.将第一平台和第二平台翻转至0度位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测。
97.从上述步骤可以知道,通过在基板的翻转过程中采用第一平台和第二平台夹持基板进行翻转,使基板不会发生偏移,避免翻转过程中显示基板和盖板发生偏移的风险较大,使得显示器件出现不良。
98.具体的,在基板为单板时,以盖板为例,盖板发生位置偏移也会导致显示器件出现不良,此时基板的制备过程包括:将盖板进行翻转使盖板位于上方、对显示背板进行处理,然后将显示背板置于下方,将显示背板与盖板贴合得到合板,然后对合板进行紫外光照射,则此时基板翻转方法包括:
99.打开真空腔的舱门;可以通过传感器检测真空腔是否开启;
100.将第一平台和第二平台设置在初始位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
101.将第一平台和第二平台翻转至0度;考虑到第一平台和第二平台在真空腔内的位置不是0度,可以增加这一步骤使第一平台和第二平台处于0度,在可以确定第一平台和第二平台处于0度时,也可以不对第一平台和第二平台进行处理。可以通过传感器和伺服电极进行检测;
102.将升降销上升到基板的上载位置;可以通过传感器进行检测;
103.将基板通过机械手移动到升降销上;此时翻转装置的状态如图1所示;
104.采用传感器检测基板是否设置在升降销上;
105.将升降销放下并吸真空;可以通过传感器进行检测;此时翻转装置的状态如图8所示;
106.在第一平台和第二平台对位后,将基板设置到指定位置;将第一平台和第二平台翻转180度,使基板中的盖板位于上方;此时翻转装置的状态如图2所示;具体的,将基板采用第一平台和第二平台进行夹持,可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
107.检测基板的对位状态和位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
108.将升降销真空开启并关闭第二平台的真空;可以采用传感器和伺服电极信号进行检测;
109.将升降销移动到基板卸载位置,并分离第一平台和第二平台;可以采用传感器和伺服电极信号进行检测;此时翻转装置的状态如图9所示;
110.将基板通过机械手移出翻转装置;
111.将第二平台设置到初始位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测;
112.将第一平台和第二平台翻转至0度位置;可以通过传感器和伺服电极信号进行检测。
113.从上述步骤可以知道,通过在基板的翻转过程中采用第一平台和第二平台夹持基板进行翻转,使基板不会发生偏移,避免翻转过程中显示基板和盖板发生偏移的风险较大,使得显示器件出现不良。且便于后续盖板与显示背板贴合。
114.从上述实施例可知:
115.本技术实施例提供一种翻转装置和基板翻转方法;该翻转装置包括真空腔、第一平台和第二平台,第一平台设置于真空腔内,第二平台设置于真空腔内,且与第一平台相对
设置,其中,第一平台和第二平台用于承载和夹持基板,翻转装置还包括驱动组件,驱动组件与第一平台电连接,驱动组件用于驱动第一平台和第二平台夹持基板翻转,在第一状态时,第一平台位于第二平台上,在第二状态时,第一平台位于第二平台上。本技术通过设置第一平台和第二平台,通过驱动组件驱动第一平台和第二平台夹持基板翻转,使得在基板的翻转过程中,避免基板翻转时发生偏移,提高了显示器件的良率。且该过程可以对单板和合板进行翻转,无需单独设置单板和合板翻转机构,提高了显示器件翻转的效率。
116.在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。
117.以上对本技术实施例所提供的一种翻转装置和基板翻转方法进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的技术方案及其核心思想;本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例的技术方案的范围。
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