一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备

本发明涉及电子元器件的表面光整加工，具体为一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备。

背景技术：

1、晶圆表面磁流变光整加工后，由于磁流变抛光液的复杂成分特性，磁流变抛光液具有粘附性，使得晶圆表面粘附一些磁性颗粒和其余添加剂成分，由于晶圆表面的磁流变超精密加工属于微纳米级领域，传统的清洗手段一般采用手动清水冲洗和超声波振动清洗，但是二者都容易使得磁流变抛光液的磁性颗粒与晶圆表面产生划擦，造成加工后损伤，并且磁性颗粒的回收也是一大难题，所以针对晶圆磁流变超精密加工的表面清洗装置亟待研究，本发明提出晶圆磁流变加工后的表面清洗设备可实现晶圆表面的无损伤清洗和吹干，并带有磁性颗粒的回收功能，可以获得高质量的晶圆表面。

技术实现思路

1、本发明的目的是为解决晶圆表面磁流变超精密加工后的清洗容易产生损伤和磁性颗粒回收的问题，提供一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，本发明的优点在于：清洗液和空气分别由三通的两端进入，配合控制器可以实现清洗液和空气的通断和定时，实现晶圆表面清洗和吹干，支撑架上面设置有橡胶吸附头，晶圆在清洗的过程中可以便捷的快速拆卸，支撑架在电机的带动下实现旋转，在清洗液冲洗晶圆表面粘附物的过程中实现均匀清洗，本发明还设置有励磁装置，可以实现磁性颗粒的回收，具备经济性和环保性。

2、为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：1、一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于，所述该设备由三通、控制器、软管、莲蓬头、桶盖、桶、支撑架、皮带、两个带轮、电机、电机垫片和配合的两个螺钉、桶座、励磁装置、通断阀、垫片、轴承、支撑座和晶圆组成，所述三通与控制器相连，所述控制器的另一端与软管相连，所述的软管的另一端与莲蓬头相连，所述莲蓬头放置在桶盖上，所述桶盖、桶与桶座三者相互配合安装，所述支撑架、电机、电机垫片和配合的两个螺钉安装在桶上，所述支撑座与轴承配合安装在支撑架上，所述支撑座的上端安装有晶圆，所述支撑座的下端安装有垫片，所述两个带轮分别安装在电机上和支撑座的下端，所述皮带安装在两个带轮上，所述励磁装置安装在桶座上，用于回收磁流变加工后晶圆表面粘附的磁性颗粒，所述桶上还安装有通断阀，用于控制桶内流体的流出。

3、进一步，作为优选，所述三通的一端设置有螺纹，用于与控制器配合安装，所述三通的其余两端分别为清洗液入口和空气入口。

4、进一步，作为优选，所述控制器具有控制清洗液和空气进入的功能，并能控制清洗液和空气进入的时间。

5、进一步，作为优选，所述莲蓬头为三段式结构，内部为空心结构，所述莲蓬头上端设置有外螺纹，用于与软管配合连接，所述莲蓬头的下端设置有圆形阵列的通孔。

6、进一步，作为优选，所述桶盖的中心设置有阶梯通孔，用于安装莲蓬头。

7、进一步，作为优选，所述桶上设置有支撑座安装孔、皮带轮运行孔、电机安装孔和通断阀安装圆柱，所述通断阀安装圆柱的中心为通孔一，外部设置有螺纹。

8、进一步，作为优选，所述支撑架为t形结构，所述支撑架的一端设置有挡杆，另一端设置有通孔二，所述挡杆固定支撑架与桶，所述通孔二用于安装轴承和支撑座。

9、进一步，作为优选，所述桶座上设置有励磁装置安装孔和励磁装置拆卸工艺孔。

10、进一步，作为优选，所述支撑座的为四段式结构，第一段为阵列的橡胶吸附头，用于快速安装拆卸晶圆，第二段为圆柱托盘，用于安装橡胶吸附头，第三段和第四段为阶梯圆柱，用于安装垫片和轴承，阶梯圆柱为限位作用。

技术特征：

1.一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于，所述该设备由三通、控制器、软管、莲蓬头、桶盖、桶、支撑架、皮带、两个带轮、电机、电机垫片和配合的两个螺钉、桶座、励磁装置、通断阀、垫片、轴承、支撑座和晶圆组成，所述三通与控制器相连，所述控制器的另一端与软管相连，所述的软管的另一端与莲蓬头相连，所述莲蓬头放置在桶盖上，所述桶盖、桶与桶座三者相互配合安装，所述支撑架、电机、电机垫片和配合的两个螺钉安装在桶上，所述支撑座与轴承配合安装在支撑架上，所述支撑座的上端安装有晶圆，所述支撑座的下端安装有垫片，所述两个带轮分别安装在电机上和支撑座的下端，所述皮带安装在两个带轮上，所述励磁装置安装在桶座上，用于回收磁流变加工后晶圆表面粘附的磁性颗粒，所述桶上还安装有通断阀，用于控制桶内流体的流出。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于：所述三通的一端设置有螺纹，用于与控制器配合安装，所述三通的其余两端分别为清洗液入口和空气入口。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于：所述控制器具有控制清洗液和空气进入的功能，并能控制清洗液和空气进入的时间。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于：所述莲蓬头为三段式结构，内部为空心结构，所述莲蓬头上端设置有外螺纹，用于与软管配合连接，所述莲蓬头的下端设置有圆形阵列的通孔。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于：所述桶盖的中心设置有阶梯通孔，用于安装莲蓬头。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于：所述桶上设置有支撑座安装孔、皮带轮运行孔、电机安装孔和通断阀安装圆柱，所述通断阀安装圆柱的中心为通孔一，外部设置有螺纹。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于：所述支撑架为t形结构，所述支撑架的一端设置有挡杆，另一端设置有通孔二，所述挡杆固定支撑架与桶，所述通孔二用于安装轴承和支撑座。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于：所述桶座上设置有励磁装置安装孔和励磁装置拆卸工艺孔。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，其特征在于：所述支撑座的为四段式结构，第一段为阵列的橡胶吸附头，用于快速安装拆卸晶圆，第二段为圆柱托盘，用于安装橡胶吸附头，第三段和第四段为阶梯圆柱，用于安装垫片和轴承，阶梯圆柱为限位作用。

技术总结
本发明一种晶圆磁流变加工后的表面清洗设备，本发明的优点在于：清洗液和空气分别由三通的两端进入，配合控制器可以实现清洗液和空气的通断和定时，实现晶圆表面清洗和吹干，支撑架上面设置有橡胶吸附头，晶圆在清洗的过程中可以便捷的快速拆卸，支撑架在电机的带动下实现旋转，在清洗液冲洗晶圆表面粘附物的过程中实现均匀清洗，本发明还设置有励磁装置，可以实现磁性颗粒的回收，具备经济性和环保性。

技术研发人员：李俊烨,朱金宝,倪国东,张子强,刘建河,赵伟宏,李金哲,王淑坤
受保护的技术使用者：长春理工大学
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17