使用可动光线路部件的切换器模块及多通道光谱系统的制作方法

1.本发明涉及使用可动光线路部件的切换器模块及包括其的等离子体监控用多通道光谱系统。


背景技术：

2.图1为示出现有半导体系统中oes结果值的示意图，图2为示出一般腔体的结构的示意图。
3.半导体系统为了监控等离子体工艺等而通过分光仪接收从腔体200产生的光并进行分析。其中，如图2所示，腔体200的多处形成有监控部210、212、214及216以便管理员从多处观察腔体200内部。
4.在这种半导体系统的结构中，一个光线路从腔体200的一个监控部连接到分光仪。因此仅腔体200的一处的光输入到所述分光仪。
5.然而，如图1所示，腔体200的各监控部210、212、214及216的oes结果值不同，因此在这种半导体系统的结构下无法准确地分析等离子体工艺等。
6.当然，也可以在各监控部210、212、214及216连接分光仪，但该情况下存在半导体系统的费用大幅上升的问题。并且，如图3所示，不同的分光仪在相同的光的情况下仍旧产生不同的oes结果值，从而难免降低分析准确度。
7.并且，需要分析各个腔体200的工艺的情况下，需要有与各腔体200连接的分光仪。其结果，所述半导体系统的费用大幅上升。
8.【现有技术文献】
9.【专利文献】
10.(专利文献1)kr 10-1602449 b


技术实现要素：

11.技术问题
12.本发明的目的是提供一种使用可动光线路部件的切换器模块及包括其的等离子体监控用多通道光谱系统。
13.技术方案
14.为了达到如上所述的目的，根据本发明的一个实施例的用于将腔体的多个监控部的光切换到分光仪进行传递的多通道光谱系统的切换器模块包括连接于所述腔体的多个监控部的多个第一光线路部件；以及与多个所述第一光线路部件相对且与多个所述第一光线路部件隔开排列的第二光线路部件。其中，随着所述第二光线路部件运动，多个所述第一光线路部件排列成选择性地与所述第二光线路部件相对，与所述第二光线路部件相对的第一光线路部件的光路径一致，在所述腔体内产生的光通过相应监控部、连接于所述监控部的第一光线路部件及所述第二光线路部件传递到所述分光仪。
15.根据本发明的另一实施例的多通道光谱系统包括连接于腔体的多个监控部的切
换器模块；以及连接于所述切换器模块的分光仪。所述切换器模块包括连接于多个所述监控部的多个第一光线路部件及与多个所述第一光线路部件相对且与多个所述第一光线路部件隔开排列的第二光线路部件。其中，随着所述第二光线路部件运动，多个所述第一光线路部件排列成选择性地与所述第二光线路部件相对，与所述第二光线路部件相对的第一光线路部件的光路径一致，在所述腔体内产生的光通过相应监控部、连接于所述监控部的第一光线路部件及所述第二光线路部件传递到所述分光仪。
16.根据本发明的另一实施例的切换器模块包括连接于第一腔体的多个监控部的第1-1光线路部件；连接于第二腔体的多个监控部的第1-2光线路部件；以及与所述第1-1光线路部件及所述第1-2光线路部件相对且相隔排列的第二光线路部件。其中，随着所述第二光线路部件运动，所述第1-1光线路部件与所述第1-2光线路部件选择性地与所述第二光线路部件相对，与所述第二光线路部件相对的第1-1光线路部件或第1-2光线路部件的光路径一致，在所述第一腔体或所述第二腔体内产生的光通过相应监控部、连接于所述监控部的第1-1光线路部件或第1-2光线路部件及所述第二光线路部件传递到所述分光仪。
17.技术效果
18.根据本发明的切换器模块能够通过光线路部件的排列将腔体的监控部的光选择性地传递到分光仪。其结果，能够用一个分光仪监控腔体工艺。
19.尤其，通过光线路部件运动的方法将腔体的光传递到分光仪，因此能够简化所述切换器模块的结构。
附图说明
20.图1为示出现有半导体系统中oes结果值的示意图；
21.图2为示出一般腔体的结构的示意图；
22.图3为示出根据本发明的一个实施例的多通道光谱系统的结构的示意图；
23.图4为简要示出根据本发明的一个实施例的切换器模块的结构的示意图；
24.图5为示出根据本发明的一个实施例的光线路选择过程的示意图；
25.图6为简要示出根据本发明的一个实施例的光线路部件的结构的示意图；
26.图7为示出本发明的另一实施例的多通道光谱系统的示意图。
27.附图标记说明
28.100：腔体
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102：切换器模块
29.104：分光仪
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400：第一光线路部件
30.402：第二光线路部件
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404：第三光线路部件
31.500：限位件
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600：光线路
32.602：驱动部
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800、802、804：腔体
具体实施方式
33.本说明书中使用的单数表述在文中无明确的其他含义的情况下还包括复数表述。关于本说明书中“构成”或“包括”等术语，不应理解为必须包括说明书上记载的所有构成要素或各步骤，而是应该理解为可以不包括其中部分构成要素或部分步骤，或者还可以包括其他附加构成要素或步骤。并且，说明书上记载的
“…
部”、“模块”等术语表示处理至少一个
功能或动作的单位，这些可以通过硬件或软件实现或通过结合硬件及软件实现。
34.本发明涉及半导体系统或显示器等多通道光谱系统中使用的切换器模块，可将在腔体的多处产生的光切换传递到分光仪。其中，所述多通道光谱系统表示使用具有多个通道的腔体执行工艺的所有系统。
35.根据一个实施例，所述腔体具有管理员能够观察内部的多个监控部，所述监控部与切换器模块连接到多个光线路部件，所述切换器模块可通过切换选择多个所述光线路部件中的一个，通过选择的所述光线路部件将输入的光传递到分光仪。
36.将连接于所述腔体的监控部的光线路分别连接到不同的分光仪的情况下多通道光谱系统的费用大幅上升，本发明的多通道光谱系统能够利用以往没有的新的切换器模块将多个所述光线路部件选择性地连接到一个分光仪。其结果，只需要一个分光仪，因此能够大幅降低所述多通道光谱系统的费用。
37.尤其，本发明的切换器模块能够使用可动光线路部件选择路径，因此能够简化所述切换器模块的结构。
38.根据另一实施例，所述多通道光谱系统驱动方法可将从多个腔体产生的光切换传递到分光仪。
39.将连接于腔体的光线路分别连接到不同的分光仪的情况下多通道光谱系统的费用大幅上升，本发明的多通道光谱系统能够利用以往没有的新的切换器模块将所述光线路选择性地连接到一个分光仪。其结果，只需要一个分光仪，因此能够明显降低所述多通道光谱系统的费用。
40.以下参见附图对本发明的各种实施例进行详细说明。
41.图3为示出根据本发明的一个实施例的多通道光谱系统的结构的示意图，图4为简要示出根据本发明的一个实施例的切换器模块的结构的示意图，图5为示出根据本发明的一个实施例的光线路选择过程的示意图，图6为简要示出根据本发明的一个实施例的光线路部件的结构的示意图。
42.参见图3，本实施例的多通道光谱系统可包括切换器模块102及分光仪104。
43.切换器模块102通过光线路部件连接于腔体100的监控部，能够通过依次选择多个所述光线路部件中的一个的方法，将通过光线路部件行进的光依次传递到分光仪104。因此即使不使用多个分光仪而仅使用一个分光仪104也能够检查从所述监控部传输过来的所有光。
44.以下对选择光线路部件的过程进行说明。为了便于说明，假设腔体100有九个监控部。
45.参见图4，切换器模块102可包括第一光线路部件400、至少一个第二光线路部件402及第三光线路部件404。
46.第一光线路部件400可分别连接于腔体100的各监控部。即，可具有与所述监控部的数量相当的第一光线路部件400。
47.腔体100内随着等离子体反应产生的光通过所述监控部传递到第一光线路部件400。
48.根据一个实施例，第一光线路部件400可以是光缆。
49.根据另一实施例，第一光线路部件400如图6所示，也可以具有包括光线路(例如光
缆)600及驱动部602的结构。
50.驱动部602可排列于光线路600的下部，驱动部602激活的情况下连接于驱动部602的光线路600可左右运动。即，驱动部602可执行促使光线路600运动的工作。例如，驱动部602可以是压电马达。另外，根据观察方向，也可以是上下运动而不是左右运动。
51.根据一个实施例，向驱动部602施加正电压的情况下可使光线路600向左侧运动，向驱动部602施加负电压的情况下可使光线路600向右侧运动。即，向驱动部602施加交流电压的情况下光线路600能够向左右反复运动。
52.根据一个实施例，光线路600的一端是固定的，因此随着驱动部602的驱动，只有光线路600的另一端能够向左右运动。
53.在此，连接于所述监控部的第一光线路部件400是能够向左右运动的部件，但可被固定设置而不运动。当然，第一光线路部件400无需运动的情况下，第一光线路部件400可以仅由光线路构成，无驱动部。
54.根据一个实施例，当有九个第一光线路部件400时可分成三个组。即，三个第一光线路部件400可形成一个组。
55.第二光线路部件402可起到从相应组的第一光线路部件400选择性地接收光的功能。
56.这种第二光线路部件402起到将通过第一光线路部件400传递过来的光传递到连接于分光仪104的第三光线路404的作用。
57.根据一个实施例，一个第二光线路部件402可对应于一组第一光线路部件400进行排列。
58.例如，第二光线路部件402a可对应于依次排列的第一光线路部件400a、400b及400c进行排列，可与第一光线路部件400a、400b及400c相隔指定距离排列。
59.参见图5对光传递过程来讲，基本上第二光线路部件402a可排列成与相互隔开的第一光线路部件400a、400b及400c中位于中间的第一光线路部件400b相对。
60.之后，向第二光线路部件402a的驱动部施加交流电源的情况下，第二光线路部件402a能够向左右反复运动。在此，为了限制第二光线路部件402a的运动范围，可以如图5在第二光线路部件402a的两侧设有限位件500a及500b。其结果，即使向所述驱动部施加交流电源，第二光线路部件402a也只在限位件500a及500b之间的空间内运动。
61.另外，由于第二光线路部件402a的一端被固定，因此第二光线路部件402a的末端中只有与第一光线路部件400a、400b及400c相对的末端能够向左右运动。
62.例如，第二光线路部件402a与第一光线路部件400b相对的情况下，第二光线路部件402a与第一光线路部件400b的光路径可一致。其结果，通过第一光线路部件400b行进的光将传递到第二光线路部件402a。
63.之后，第二光线路部件402a向左侧运动的情况下，第二光线路部件402a与第一光线路部件400a相对，即第二光线路部件402a与第一光线路部件400a的光路径可一致。其结果，通过第一光线路部件400a行进的光能够传递到第二光线路部件402a。
64.接着，第二光线路部件402a向右侧运动的情况下第二光线路部件402a与第一光线路部件400c相对，即第二光线路部件402a与第一光线路部件400c的光路径可一致。其结果，通过第一光线路部件400c行进的光将传递到第二光线路部件402a。
65.这样传递到第二光线路部件402a的光通过第三光线路部件404输入到分光仪104。
66.根据一个实施例，为了防止第二光线路部件402的末端中运动的末端与限位件500a或500b碰撞受损，第二光线路部件402的末端可被硅塑料部件包覆。硅塑料部件为一例，只要是能够保护第二光线路部件402的末端的材质便不受限制，可统称为保护部。
67.根据一个实施例，可按第一光线路部件400的组对应地排列一个第二光线路部件402，其结果，可具有多个第二光线路部件402。
68.这种第二光线路部件402的末端中与第三光线路部件404相对的末端不运动，而是被固定设置。
69.第三光线路部件404排列成与第二光线路部件402a、402b及402c相对，与第二光线路部件402a、402b及402c相隔指定距离。
70.第三光线路部件404的一端连接固定于分光仪104，与第二光线路部件402a、402b及402c相对的末端在驱动部的控制下能够向左右运动。
71.当然，第三光线路部件404的两侧可设置有限制第三光线路部件404的运动范围的限位件，第三光线路部件404中运动的末端可被硅塑料部件包覆。
72.另外，第二光线路部件402的运动速度和第三光线路部件404的运动速度可相同也可不同。不过，第三光线路部件404需要依次接收九个第一光线路部件400的所有光，因此第三光线路部件404的运动速度可大于第二光线路部件402的运动速度。
73.从另一角度来讲，第二光线路部件402的驱动部的频率可不同于第三光线路部件404的驱动部的频率。
74.综上，可通过使第二光线路部件402的一末端及第三光线路部件404的一末端向左右运动的方法将腔体100的监控部的光传递到分光仪104。即，只需将光线路400、402及404排列成适当结构的简单结构即可将腔体100的监控部的光选择性地传输到分光仪104。
75.图7为示出根据本发明的另一实施例的多通道光谱系统的示意图。
76.参见图7，不同于只有一个腔体的上述实施例，在本实施例中有多个腔体700、702及704。
77.其结果，可具有连接于第一腔体700的监控部的第1-1光线路部件、连接于第二腔体702的监控部的第1-2光线路部件及连接于第三腔体704的监控部的第1-3光线路部件。
78.可具有对应于所述第1-1光线路部件排列的第2-1光线路部件、对应于所述第1-2光线路部件排列的第2-2光线路部件及对应于所述第1-3光线路部件排列的第2-3光线路部件。
79.并且，可具有对应于这种第2-1光线路部件、所述第2-2光线路部件及所述第2-3光线路部件排列的第三光线路部件。
80.所述光线路部件的动作与上述实施例相同或相似，因此以下省略说明。
81.另外，以上对具有多个第一光线路部件、多个第二光线路部件及一个第三光线路部件的情况进行了说明，但也可以只有多个第一光线路部件及一个第二光线路部件。
82.可从流程的观点轻易理解上述实施例的构成要素。即，可将各构成要素理解为各流程。并且上述实施例的流程可从装置的构成要素的观点轻易地理解。
83.产业上的可应用性
84.上述本发明的实施例是为了示例二公开的，本发明所属技术领域的普通技术人员
可在本发明的构思及范围内进行各种修改、变更、附加，而这些修改、变更、附加应被视为属于所附权利要求的范围中。