一种晶圆清洗机翻转结构的制作方法

1.本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗机翻转结构。


背景技术：

2.晶圆在不断加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属杂质等污染物接触，导致污染物附着在晶圆上，因此需要对晶圆进行清洗。晶圆清洗是晶圆制造过程中的一个重要的工艺步骤，需要在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆表面的杂质。在晶圆清洗工艺流程中，当晶圆一面清洗完毕后需要对其进行翻转以备另一面的清洗，故存在对晶圆进行翻转的需求。
3.现有技术中的晶圆翻转结构通常包括承接部和夹持部两部分，即，机械手将晶圆置入翻转结构时通过两个承接部相互靠近起到承接晶圆的作用，然后再令两个夹持部相互靠近夹持晶圆，此时两个承接部撤出以备后续的晶圆翻转动作，在控制两个承接部和两个夹持部相互靠近和远离的过程中需要两组驱动部件分别控制，结构较为复杂，在日常维护中需要对控制承接部和控制夹持部的驱动部件分别进行维护和检修，存在较大的维护成本。
4.有鉴于此，有必要对现有技术中的晶圆清洗机翻转结构予以改进，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于揭示一种晶圆清洗机翻转结构，用于解决现有技术中的晶圆清洗机翻转结构所存在的诸多缺陷，尤其是需要两组驱动部件分别对承接部和夹持部进行控制导致晶圆清洗机翻转结构较为复杂，并且需要对控制承接部和夹持部的驱动部件分别进行维护和检修，存在较大的维护成本的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供了一种晶圆清洗机翻转结构，包括：第一承托装置、第二承托装置和用于安装所述第一承托装置和所述第二承托装置的机架，所述第一承托装置包括用于承托晶圆径向两侧的两个第一承托件，所述第二承托装置包括两个用于夹持晶圆的第二承托件；两个所述第一承托装置沿轴向依次分布多个用于承托晶圆径向两侧的承托槽，两个所述第二承托件沿轴向依次分布多个用于夹持晶圆的夹持槽，所述机架内安装用于控制两个所述第一承托件升降的升降组件、以及用于控制两个第一承托件分别靠近或远离两个所述第二承托件的平移组件；所述升降组件带动两个所述第一承托件升起后，所述平移组件带动所述两个第一承托件朝向两个所述第二承托件平移至每个所述承托槽内的晶圆夹持于每个所述夹持槽内。
7.作为本发明的进一步改进，所述机架内平行于晶圆所在平面设置安装板，所述平移组件包括固定连接于安装板的平移气缸、滑轨以及平行于所述安装板设置的平移板，所
述滑轨连接于安装板上并垂直于所述安装板长度方向设置，所述平移板靠近安装板一侧固定安装与所述滑轨滑移配合的滑块，所述平移气缸的驱动端驱使所述平移板沿所述滑轨长度方向位移，两个所述第一承托件底端垂直穿过所述安装板并滑移连接。
8.作为本发明的进一步改进，所述升降组件包括升降气缸、导向块、导向轮以及升降板，所述升降板平行于所述平移板并位于所述平移板远离安装板一侧，所述升降气缸固定连接于所述平移板远离安装板一侧，所述升降气缸的驱动端与所述导向块相连并带动所述导向块沿平行于所述滑轨长度方向滑移；所述导向轮连接于所述升降板靠近平移板一侧并抵持于所述导向块的顶面，所述导向块的顶面设置为导向面，所述升降气缸的驱动端伸出过程中所述导向块的导向面推动导向轮和升降板上升，两个所述第一承托件底端穿过所述升降板并固定。
9.作为本发明的进一步改进，所述升降板上表面固定连接两个旋转气缸，两个所述旋转气缸的驱动端顶端分别与所述第一承托件相连并带动所述第一承托件180
°
转动，所述承托槽对称分布于所述第一承托件两侧，所述旋转气缸的驱动端转过180
°
形成于所述第一承托件另一侧的承托槽承接晶圆。
10.作为本发明的进一步改进，所述承托槽用于承接晶圆的槽壁形成承托面，所述承托面设为弧面且所述承托面两侧的高度高于中点的高度，所述承托面与槽壁连接处的轮廓与晶圆的边缘一致。
11.作为本发明的进一步改进，所述机架包括翻转架和两个侧板，所述翻转架包括底板和背板，所述底板平行于安装板并位于所述安装板远离第一承托件一侧，所述背板垂直固定于所述底板长度方向一侧，所述背板连接用于安装第二承托件的安装架；两个所述侧板垂直设置于背板的相对两侧，所述侧板安装翻转电机，所述翻转电机的驱动端穿过侧板后与所述安装架固定。
12.作为本发明的进一步改进，所述安装架包括平行于背板长度方向的连接板和垂直固定于连接板和背板之间的两个固定板，所述连接板远离背板一侧连接两个安装块，两个所述第二承托件分别转动连接于一个安装块内，所述安装块连接用于控制所述第二承托件转动180
°
的转动气缸；所述夹持槽中心对称分布于所述第二承托件两侧，所述转动气缸的驱动端转过180
°
形成于所述第二承托件另一侧的夹持槽夹持晶圆。
13.作为本发明的进一步改进，所述夹持槽包括与晶圆边缘适配的弧形面以及连接于弧形面上下两侧的坡面，两个所述坡面远离弧形面一侧之间的距离小于与弧形面相连一侧的距离。
14.作为本发明的进一步改进，所述导向块靠近平移板一侧与靠近导向轮一侧连接处形成导向槽，所述导向槽靠近所述导向面的槽壁平行于所述导向面设置，所述导向轮设置数量为两个，两个所述导向轮分别与导向面以及导向槽平行于导向面的槽壁设置。
15.作为本发明的进一步改进，所述安装板与底板之间通过垂直设置的加固板相连，两个所述侧板之间垂直固定保护板，所述保护板设置于底板下方。
16.与现有技术相比，本发明的有益效果是：首先，通过机械手将全部晶圆送入晶圆清洗机翻转结构内，通过开设于第一承托件的承托槽对晶圆的径向两侧进行承托，然后通过升降组件控制第一承托件向上抬起一定的高度至每个承托槽的下缘正对每个夹持槽的下
缘，平移组件控制第一承托件朝向第二承托件运动至每个承托槽内所承接的晶圆插入每个第二承托件开设的夹持槽内至夹持稳定。通过上述设置，仅依靠控制第一承托件的升降和平移即可达到对每个晶圆进行稳定承托和夹持的目的，相较于现有技术中需要分别通过两组驱动部件控制承托件和夹持件的相互靠近和远离有效简化了翻转结构，以便对其进行检修和维护。
17.其次，通过轴对称分布于第一承托件两侧的承托槽、中心对称分布于第二承托件两侧的夹持槽，以及控制第一承托件转动180
°
的旋转气缸以及控制第二承托件转动180
°
的转动气缸，待翻转晶圆包括清洗完成的洁净晶圆和待清洗的污染物较多的晶圆，当承托槽和夹持槽夹持过污染晶圆后，分布于第一承托件和第二承托件同侧的所有承托槽和夹持槽都存在被污染的情况，为避免污染其他洁净晶圆，通过旋转气缸和转动气缸控制第一承托件和第二承托件分别转过180
°
，此时分布于第一承托件和第二承托件另一侧的承托槽和夹持槽翻转至正对晶圆的状态，以备后续的晶圆承托，且在不进行晶圆翻转的时候可对被污染且翻转至另一侧的承托槽和夹持槽进行清理。
18.最后，通过形成于承托槽的承托面，由于承托面与承托槽的槽壁连接处的轮廓与晶圆边缘的轮廓一致，且承托面形成两端高中间低的弧形，因此承托面与承托槽的槽壁连接处的中点为形成为用于承托晶圆的最高承托点，当晶圆放置于承托槽内时晶圆的径向两侧分别与承托点接触，从而有效减小了晶圆与承托槽之间处接触面积，进而有效避免晶圆被污染的可能。
附图说明
19.图1为本发明中翻转结构整体的结构示意图；图2为本发明中翻转结构的侧视图；图3为图1中一组第一承托装置和第二承托装置沿x轴方向剖视图；图4为本发明中翻转架、升降组件以及平移组件装配关系爆炸示意图；图5为图2中a部放大图；图6为本发明中第一承托件局部示意图；图7为本发明中第二承托件局部示意图；图8为图2中b部放大图；图9为图3中c部放大图；图10为图3中d部放大图；图11为图4中e部放大图；图12为本发明中第二承托件稳定夹持晶圆的状态示意图；图13为本发明中第一承托件初始状态承托晶圆的状态示意图；图14为本发明中第一承托装置和第二承托装置翻转90
°
状态的结构示意图。
具体实施方式
20.下面结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本发明的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本发明的保护范围之内。
21.请参照图1至图14所揭示的一种晶圆清洗机翻转结构，其相对于传统的晶圆清洗机翻转结构而言，通过开设于第一承托件11的承托槽12对晶圆6的径向两侧进行承托，然后通过升降组件4控制第一承托件11向上抬起一定的高度至每个承托槽12的下缘正对每个夹持槽22的下缘，平移组件5控制第一承托件11朝向第二承托件21运动，直至每个承托槽12内所承接的晶圆6插入每个第二承托件21开设的夹持槽22内，当夹持槽22的弧形面222与晶圆6的边缘贴合后，达到对晶圆6进行稳定夹持的目的，然后通过翻转电机331带动翻转架32整体翻转90
°
达到对晶圆6进行翻转的目的。通过上述设置，仅依靠控制第一承托件11的升降和平移即可达到对每个晶圆6进行稳定承托和夹持的目的，相较于现有技术中需要分别通过两组驱动部件控制承托件和夹持件的相互靠近和远离有效简化了翻转结构，以便对其进行检修和维护。当翻转完成后，令顶升机构（未示出）将晶圆6由夹持槽22和承托槽12中顶出，通过承托机构（未示出）承接晶圆6，即可将完成翻转90
°
的晶圆6整体由晶圆清洗机翻转结构中移出。
22.参照图1至图14所示，在本实施方式中，晶圆清洗机翻转结构（以下简称翻转结构），包括：第一承托装置1、第二承托装置2和用于安装第一承托装置1和第二承托装置2的机架3，第一承托装置1包括用于承托晶圆6径向两侧的两个第一承托件11，第二承托装置2包括两个用于夹持晶圆6的第二承托件21；两个第一承托件11沿轴向依次分布多个用于承托晶圆6径向两侧的承托槽12，两个第二承托件21沿轴向依次分布多个用于夹持晶圆6的夹持槽22，机架3内安装用于控制两个第一承托件11升降的升降组件4、以及用于控制两个第一承托件11分别靠近或远离两个第二承托件21的平移组件5；升降组件4带动两个第一承托件11升起后，平移组件5带动两个第一承托件11朝向两个第二承托件21平移至每个承托槽12内的晶圆6夹持于每个夹持槽22内。
23.在需要对晶圆6进行翻转之前，首先通过晶圆清洗机的机械手（未示出）将多个晶圆6依次置入每个承托槽12内，承托槽12的深度大于晶圆6的厚度，以便机械手（未示出）插入承托槽12内并将晶圆6置于承托槽12内，当对称设置的两个第一承托件11所开设的承托槽12对晶圆6的径向两侧提供了稳定的支撑力后机械手由承托槽12内撤出。然后通过升降组件4分别带动两个第一承托件11升起至每个承托槽12与晶圆6接触的槽壁与夹持槽22平齐，然后平移组件5带动第一承托件11朝向第二承托件21位移至每个承托槽12内的晶圆6插入一个夹持槽22内，通过上述内容可知，本实施方式中分别通过升降组件4和平移组件5对第一承托件11的高度和水平方向位移的控制即可实现同时实现晶圆6置入翻转结构内时以及晶圆6翻转时所需要的稳定夹持效果，相较于现有技术中需要分别控制承接部和夹持部来分步骤进行承托和夹持的目的，有效简化了翻转结构整体的结构，进而便于对翻转结构后期的维护和检修。
24.参照图2至图4及图11、图12所示，机架3内平行于晶圆6所在平面设置安装板31，平移组件5包括固定连接于安装板31的平移气缸51、滑轨52以及平行于安装板31设置的平移板53，滑轨52连接于安装板31上并垂直于安装板31长度方向设置，平移板53靠近安装板31一侧固定安装与滑轨52滑移配合的滑块531，平移气缸51的驱动端驱使平移板53沿滑轨52长度方向位移，两个第一承托件11底端垂直穿过安装板31并滑移连接。在控制第一承托件11的每个承托槽12内的晶圆6置入夹持槽22内时，首先通过升降组件4令每个承托槽12的下边缘与夹持槽22下边缘平齐后，然后令平移气缸51推动平移板53带动第一承托件11整体朝
向第二承托件21平移，平移板53位移的过程中连接于平移板53下表面的滑块531沿固定在安装板31的滑轨52长度方向移动直至第一承托件11的每个承托槽12内的晶圆6插入第二承托件21的夹持槽22内，通过夹持槽22与晶圆6的边缘贴合并夹持晶圆6的上下两侧，从而保证在机架3整体翻转的过程中能够对晶圆6提供稳定的夹持以避免翻转过程中晶圆6由夹持槽22内脱落。
25.参照图2至图11所示，升降组件4包括升降气缸41、导向块42、导向轮43以及升降板44，升降板44平行于平移板53并位于平移板53远离安装板31一侧，升降气缸41固定连接于平移板53远离安装板31一侧，升降气缸41的驱动端与导向块42相连并带动导向块42沿平行于滑轨52长度方向滑移；导向轮43连接于升降板44靠近平移板53一侧并抵持于导向块42的顶面，导向块42的顶面设置为倾斜的导向面421，由于导向面421存在的高度差，升降气缸41的驱动端伸出过程中导向块42的导向面421可以推动导向轮43和升降板44上升，两个第一承托件11底端穿过升降板44并固定。导向块42靠近平移板53一侧与靠近导向轮43一侧连接处形成导向槽422，导向槽422靠近导向面421的槽壁平行于导向面421设置，导向轮43设置数量为两个，两个导向轮43分别与导向面421以及导向槽422平行于导向面421的槽壁设置。
26.在需要对晶圆6进行翻转时，机械手（未示出）将晶圆6置入承托槽12后，升降气缸41的活塞杆伸出，推动导向块42朝向靠近第二承托件21的方向移动，由于形成于导向块42顶面的导向面421以及开设于导向块42侧面的导向槽422的设置，两个导向轮43分别与导向面421以及导向槽422平行于导向面421的槽壁配合，在导向块42平移的过程中，由于导向面421靠近升降气缸41一侧的高度高于另一侧的高度，因此导向块42在逐渐远离升降气缸41的过程中两个导向轮43分别沿导向面421以及导向槽422的槽壁逐渐上移，导向轮43即带动与之固定的升降板44上升，直至与升降板44固定的第一承托件11升起至每个承托槽12用于承托晶圆6的槽壁正对第二承托件21开设的每个夹持槽22用于夹持晶圆6的槽壁下缘。
27.参见图9和图11所示，平移板53上表面平行于滑轨52设置导轨532，导向块42下表面固定连接导块（未示出），导块（未示出）与导轨532滑移配合。平移板53上表面垂直固定两个限位柱533，当导向轮43沿导向块42运动至最高点或最低点时，导向块42两端分别与抵持两个限位柱533，已达到控制承托槽12与夹持槽22对位的目的，同时避免导块（未示出）由导轨532脱出。通过上述设置，在装配翻转结构时，能够根据实际需要对限位柱533的位置进行调整，在设备调试时检测承托槽12与夹持槽22处于能够夹持晶圆的同一高度后再安装限位柱533，从而最小程度地避免第一承托件11与第二承托件21存在安装误差，导致夹持槽22与承托槽12之间对位不准使得晶圆6夹持不稳定而存在翻转脱落的问题发生。参图5所示，第一承托件11升起的高度为l。
28.参见图3和图10所示，升降板44上表面固定连接两个旋转气缸441，两个旋转气缸441的驱动端顶端分别与第一承托件11相连并带动第一承托件11进行180
°
转动，承托槽12对称分布于第一承托件11两侧，旋转气缸441的驱动端转过180
°
形成于第一承托件11另一侧的承托槽12用于承接晶圆6。第一承托装置1还包括沿图1所示z轴设置的第一支撑部13，第一支撑部13包括套筒132和升降轴131，其中，升降轴131的顶端固定连接于升降板44的下表面，套筒132穿过平移板53并与平移板53固定连接，升降轴131轴向穿过套筒132并与套筒132滑移连接。安装板31平行于滑轨52开设导向孔312，套筒132和升降轴131底端穿过导向孔312并滑移配合。通过上述设置，在平移板53位移的过程中，与平移板53固定的套筒132随
平移板53一同位移，由于升降轴131与套筒132之间为轴向配合，因此在套筒132随平移板53位移的过程中升降轴131随套筒132一同平移，套筒132和升降轴131底端由导向孔312伸出处沿导向孔312的长度方向滑移。并且，由于升降轴131顶端与升降板44固定，因此在升降板44上升的过程中，升降轴131随升降板44一同上升，升降轴131位于套筒132的部分在套筒132内滑移，通过上述套筒132和升降轴131的设置，即可将第一承托件11与升降组件4和平移组件5功能整合在一起，以实现仅通过控制第一承托件11在如图1所示的x、z轴方向的位移达到稳定夹持晶圆6的目的。
29.参照图6至图13所示，承托槽12用于承接晶圆6的槽壁形成承托面121，承托面121设为弧面且承托面121两侧的高度高于中点的高度，承托面121与槽壁连接处的轮廓与晶圆6的边缘一致。夹持槽22包括与晶圆6边缘适配的弧形面222以及连接于弧形面222上下两侧的坡面221，两个坡面221远离弧形面222一侧之间的距离小于与弧形面222相连一侧的距离。在承托槽12对晶圆6进行承托时，由于承托面121呈弧形设置且承托面121与承托槽12连接处的轮廓与晶圆6一致，因此晶圆6置于承托槽12内时只与承托面121与承托槽12连接处的弧形轮廓接触，相较于现有技术中的一整个面对晶圆6进行承托的方式，将承托槽12与晶圆6之间的面接触改进为线接触，有效减小了承托槽12的槽壁与晶圆6之间的接触面积，从而避免了由于晶圆6与承托槽12之间接触面积过大会存在的污染晶圆的问题。如图13所示，在平移气缸51的活塞杆未伸出的状态下，第一承托件11与第二承托件21之间存在较大的距离，此时晶圆6仅通过承托面121与承托槽12的接触处轮廓线进行支撑，承托面121与承托槽12的接触处轮廓线的圆心角为25
°
，因此对称设置的两个承托槽12分别能够支撑晶圆25
°
圆周的范围，以提供有效的支撑；如图12所示，平移气缸51的活塞杆伸出后，晶圆6插入夹持槽22内直至晶圆6的周缘与弧形面222贴合。本实施方式中两个夹持槽22相互远离一侧与晶圆6的圆心连线的角度为145
°
，接近晶圆6的径向夹持效果，以使得在翻转过程中第二承托件21对晶圆6能够提供有效且稳定的夹持作用。
30.参照图1至图14所示，机架3包括翻转架32和两个侧板33，翻转架32包括底板321和背板322，底板321平行于安装板31并位于安装板31远离第一承托件11一侧，背板322垂直固定于底板321长度方向一侧，背板322连接用于安装第二承托件21的安装架323；两个侧板33垂直设置于背板322的相对两侧，侧板33安装翻转电机331，翻转电机331的驱动端穿过侧板33后与安装架323固定。安装架323包括平行于背板322长度方向的连接板3231和垂直固定于连接板3231和背板322之间的两个固定板3232，连接板3231远离背板322一侧连接两个安装块3233，两个第二承托件21分别转动连接于一个安装块3233内，安装块3233连接用于控制第二承托件21转动180
°
的转动气缸3234。安装板31与底板321之间通过垂直设置的加固板311相连，两个侧板33之间垂直固定保护板332，保护板332设置于底板321下方。
31.在本实施方式中，两个加固板311与分别与两个固定板3232一体成型，两个一体成型的固定板3232和加固板311分别垂直固定于底板321和背板322之间，安装板31连接于两个加固板311的上表面，翻转电机331的驱动端穿过侧板33后与固定板3232相连，通过上述设置将翻转架32、安装板31、升降组件4和平移组件5紧凑地装配在一起，以达到在启动翻转电机331时能够带动第一承托装置1和第二承托装置2翻转。当晶圆6分别对应插入两个夹持槽22内并且晶圆6的边缘与弧形面222贴合后，此时晶圆6在夹持槽22内达到稳定夹持的状态，即可启动翻转电机331带动翻转架32整体翻转，安装于机架3的第一承托装置1和第二承
托装置2同时随翻转架32一同转动，当翻转电机331的转子转过90
°
时，机架3以及第一承托装置1和第二承托装置2随之同步转过90
°
，夹持于夹持槽22内的晶圆6完成90
°
的翻转，本实施方式中翻转架32转过90
°
时第一承托件11和第二承托件21的状态如图14所示，翻转电机331与侧板33之间设置减速机34，减速机34连接用于检测翻转架32初始状态的传感器341。
32.参照图1至图14所示，翻转电机331带动翻转架32整体朝向靠近第二承托件21一侧翻转，同时，连接板3231远离安装块3233一侧通过滑移轨道（未标注）滑移连接挡柱7，挡柱7的高度与第二支撑部23一致，滑移调节挡柱7在滑移轨道（未标注）的位置，令挡柱7与晶圆6边缘贴合。在翻转架32翻转的过程中，由于翻转架32的翻转方向设置为整体朝向靠近第二承托件21一侧，配合与晶圆6边缘贴合的挡柱7的设置，在晶圆6的翻转过程中对晶圆6提供有效的支撑和限位，以避免在翻转过程中晶圆6脱落而发生损坏的情况。当晶圆6翻转完毕后，晶圆6依然夹持于夹持槽22内，参照图6所示，承托槽12的高度大于晶圆6的厚度，在需要将翻转完毕的晶圆6由翻转结构内取出时，令晶圆清洗机的机械手（未示出）插入承托槽12远离承托面121一侧与晶圆6之间的空隙处以承托晶圆6的下表面将晶圆6托出，然后翻转电机331的驱动端反转，第一承托件11和第二承托件21回到如图2所示位置，平移气缸51的活塞杆回缩带动第一支撑部13远离第二支持部，然后升降气缸41的活塞杆回缩至导向轮43移动至导向面421的低处，以备下一次的晶圆翻转作业。
33.参照图3和图11所示，夹持槽22中心对称分布于第二承托件21两侧，转动气缸3234的驱动端转过180
°
形成于第二承托件21另一侧的夹持槽22夹持晶圆6。当经过一次晶圆6翻转，翻转架32回到原位后，通过转动气缸3234控制第二承托件21转过180
°
，中心对称分布于第二承托件21另一侧的夹持槽22转动至夹持工位，而刚刚用于夹持晶圆6的夹持槽22转动至另一侧；通过上述旋转气缸441控制第一承托件11转过180
°
，轴对称分布于第一承托件11另一侧的承托槽12转动至承托工位，而刚刚用于承托晶圆6的承托槽12转动至另一侧，通过上述设置，在达到避免被污染的承托槽12和夹持槽22污染后续的待翻转晶圆的效果的同时，以便对受到污染的承托槽12和夹持槽22进行清理。第二承托装置2轴向连接第二支撑部23，第二支撑部23轴向穿过安装块3233，并且第二支撑部23与安装块3233之间通过轴承231转动连接，轴承231在达到连接第二支撑部23和安装块3233作用的同时，起到有效的支撑作用。安装块3233底端安装用于连接旋转气缸441的连接件3235，第二支撑部23底端由安装块3233穿出后与旋转气缸441的驱动端相连。
34.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。
35.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
36.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员
可以理解的其他实施方式。