技术特征：
1.对中调节工装，其特征在于，所述工装用于电子束束斑检测装置精密装配的对中调节；所述工装包括：调节支撑筒（4），所述调节支撑筒（4）的底端定位设置在检测装置支架（5）上并与检测装置支架（5）同轴心设置，所述调节支撑筒（4）的内部对若干光阑片（3）进行支撑定位；所述调节支撑筒（4）的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片（3）同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在所述调节支撑筒（4）上方，用于对光阑片（3）及检测装置支架（5）的图像进行拍摄；显示机构，用于接收所述图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片（3）的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片（3）所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部，用于根据光阑片（3）所需调节的方向对光阑片（3）进行水平方位的调节，以使光阑片（3）与检测装置支架（5）同轴心。2.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，每一组调节孔分别包括y轴负向调节孔、y轴正向调节孔、x轴负向调节孔和x轴正向调节孔，y轴负向调节孔与y轴正向调节孔关于调节支撑筒轴心相对设置，x轴负向调节孔和x轴正向调节孔关于调节支撑筒轴心相对设置，y轴负向调节孔与y轴正向调节孔之间的连线同x轴负向调节孔和x轴正向调节孔之间的连线垂直。3.根据权利要求2所述的对中调节工装，其特征在于，各组调节孔由上至下分别交错设置；所述显示机构是以每一组调节孔所在位置作为x轴和y轴基准，分别建立坐标系的。4.根据权利要求1至3任意一项所述的对中调节工装，其特征在于，所述调节组件包括配装设置在调节孔内的调节顶丝。5.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，所述图像拍摄机构包括：相机支架（2），可拆卸设置在调节支撑筒（4）上；所述相机支架（2）上开设有与检测装置支架（5）同轴心的相机定位孔；ccd相机，定位设置在相机定位孔内。6.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，所述调节支撑筒（4）的内圆周侧壁底部一体设置有对光阑片（3）进行支撑定位的支撑环（414）。7.电子束束斑检测装置，其特征在于，包括：如权利要求1至6任意一项所述的对中调节工装中的调节支撑筒（4）及若干调节组件；若干层光阑片（3），由下至上依次叠放在调节支撑筒（4）内部，所述光阑片（3）的中心处开设有中心孔（32）；检测装置支架（5），设置在调节支撑筒（4）下方，并与调节支撑筒（4）同轴心设置；接收装置。8.根据权利要求7所述的电子束束斑检测装置，其特征在于，所述光阑片（3）上开设有若干定位孔（31），所述光阑片（3）的每一定位孔（31）的下方分别放置有外径大于定位孔（31）内径的垫环（6）；所述光阑片（3）通过穿过定位孔及垫环的锁紧螺钉定位至所述检测装置支架（5）上。9.对中调节方法，其特征在于，所述方法基于权利要求1至6任意一项所述的对中调节工装进行，包括以下步骤：
s1.将调节支撑筒（4）定位设置在检测装置支架（5）上并与检测装置支架（5）同轴心设置；s2.将一层光阑片定位至调节支撑筒（4）内部；s3.通过图像拍摄机构对光阑片及检测装置支架（5）的图像进行拍摄；s4.图像拍摄机构将图像信息反馈至显示机构，建立坐标系，通过该层光阑片的图像在坐标系中的位置来判断对该层光阑片所需调节的方向；s5.根据步骤s4中该层光阑片所需调节的方向，通过调节组件对该层光阑片进行水平方位的调节，以使该层光阑片与检测装置支架（5）同轴心；而后将该层光阑片锁紧定位；s6.将下一层光阑片放置到上一层光阑片上，重复进行步骤s3-s5，直至将所有的光阑片进行对中调节并安装。10.根据权利要求9所述的对中调节方法，其特征在于，所述步骤s4包括以下步骤：显示机构将检测装置支架（5）的内径投影的圆作为基准，检测装置支架（5）的内径投影圆的圆心作为原点坐标，与该层光阑片同平面的一组调节孔所在位置作为x轴和y轴基准，建立坐标系；该层光阑片的圆心坐标与原点坐标进行比对，进而判断该层光阑片所需调节的方向。
技术总结
本发明公开了一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法，所述工装包括：调节支撑筒，所述调节支撑筒的底端定位设置在检测装置支架上并与检测装置支架同轴心设置；所述调节支撑筒的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在调节支撑筒上方，用于对光阑片及检测装置支架的图像进行拍摄；显示机构，用于接收图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部。本发明能够用于精密装配，使用方便，能够提供微米级检测精度，可以精确调节，能极大地提高装配精度。地提高装配精度。地提高装配精度。
技术研发人员：刘涛 尹贻恒 孟祥良
受保护的技术使用者：北京中科科仪股份有限公司
技术研发日：2022.11.24
技术公布日：2022/12/23