晶粒转移装置、固晶机和晶粒转移方法与流程

本申请涉及晶粒转移，更具体地，涉及一种晶粒转移装置、含有该晶粒转移装置的固晶机以及根据该晶粒转移装置的晶粒转移方法。

背景技术：

1、在mini-led和micro-led显示屏的生产过程中，需要对晶粒进行巨量转移。现有技术中，在进行巨量转移之前需要对晶粒进行预排片和预对位，且转移速度慢、良率低、精度差，且难以兼容不同晶粒间距的产品的生产，导致难以实现批量导入晶粒进行转移生产。

技术实现思路

1、本申请的一个目的是提供一种晶粒转移装置的新技术方案，至少能够解决现有技术中的晶粒转移速度慢、良率低、精度差、兼容性差的问题中的一个。

2、本申请的又一个目的是提供一种固晶机，包括上述晶粒转移装置。

3、本申请的再一个目的是提供一种根据上述晶粒转移装置的晶粒转移方法。

4、根据本申请的第一方面，提供了一种晶粒转移装置，包括：基板，所述基板的第一侧具有适于安装晶粒的多个安装槽；供料组件，所述供料组件设于所述基板的第一侧，所述供料组件朝向所述基板的一侧能够释放所述晶粒，所述晶粒上设有磁性层；辅助板，所述辅助板设于所述基板和所述供料组件之间，所述辅助板的第一侧朝向所述基板，所述辅助板的第二侧朝向所述供料组件，所述辅助板设有多个沿其厚度方向贯通的通孔，至少一部分所述通孔的位置与所述安装槽的位置相对应，其中，所述辅助板具有反磁性，能够对设有所述磁性层的所述晶粒施加反磁力。

5、可选地，所述基板与所述辅助板层叠设置，所述通孔在所述基板的第一侧表面的正投影至少覆盖所述安装槽的开口。

6、可选地，所述通孔的截面和所述安装槽的开口分别形成为矩形，所述通孔的截面的长度和宽度大于所述安装槽的开口的长度和宽度。

7、可选地，所述通孔的截面的长度和宽度分别比所述安装槽的开口的长度和宽度大15％以上。

8、可选地，所述通孔与所述安装槽分别排列成矩阵，每个所述通孔的位置分别与所述安装槽的位置相对应。

9、可选地，其特征在于，所述辅助板为热解石墨板。

10、可选地，所述供料组件包括：转移膜，所述转移膜设于所述辅助板的第二侧，所述转移膜的第一侧朝向所述基板并粘附有多个所述晶粒；激光发生器，所述激光发生器设于所述转移膜的第二侧，所述激光发生器能够生成激光并投射至所述转移膜的预定区域，以使所述转移膜释放所述预定区域内的所述晶粒。

11、可选地，晶粒转移装置还包括：驱动件，所述驱动件与所述基板连接以驱动所述基板振动。

12、根据本申请的第二方面，提供了一种固晶机，包括：壳体，所述壳体具有真空腔室；上述实施例中任一所述的晶粒转移装置，所述晶粒转移装置设于所述真空腔室。

13、根据本申请的第三方面，提供了一种根据上述实施例中任一所述的晶粒转移装置的晶粒转移方法，包括以下步骤：将所述辅助板置于所述基板上方，并使所述通孔与所述安装槽的位置相对应；将所述供料组件置于所述辅助板上方，并控制所述供料组件释放所述晶粒，所述晶粒在重力作用以及所述辅助板产生的反磁力作用下从所述通孔穿过，进入所述安装槽；分离所述辅助板与所述基板。

14、根据本申请的晶粒转移装置，通过在基板和供料组件之间设置具有通孔的辅助板，利用辅助板可以对具有磁性层的晶粒施加反磁力，从而在供料组件释放晶粒时对晶粒进行筛选，使得与通孔对应的晶粒可以穿过通孔进入对应的安装槽，以实现晶粒的快速转移，取消了晶粒预排布过程，有利于节约生产时间，提高生产效率。同时，通过辅助板的发磁性与晶粒的磁性层之间的磁性配合，还可以提高晶粒转移的精度和可靠性，从而提高良品率。

15、通过以下参照附图对本申请的示例性实施例的详细描述，本申请的其它特征及其优点将会变得清楚。

技术特征：

1.一种晶粒转移装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶粒转移装置，其特征在于，所述基板与所述辅助板层叠设置，所述通孔在所述基板的第一侧表面的正投影至少覆盖所述安装槽的开口。

3.根据权利要求2所述的晶粒转移装置，其特征在于，所述通孔的截面和所述安装槽的开口分别形成为矩形，所述通孔的截面的长度和宽度大于所述安装槽的开口的长度和宽度。

4.根据权利要求3所述的晶粒转移装置，其特征在于，所述通孔的截面的长度和宽度分别比所述安装槽的开口的长度和宽度大15％以上。

5.根据权利要求2所述的晶粒转移装置，其特征在于，所述通孔与所述安装槽分别排列成矩阵，每个所述通孔的位置分别与所述安装槽的位置相对应。

6.根据权利要求1所述的晶粒转移装置，其特征在于，所述辅助板为热解石墨板。

7.根据权利要求1所述的晶粒转移装置，其特征在于，所述供料组件包括：

8.根据权利要求1所述的晶粒转移装置，其特征在于，还包括：

9.一种固晶机，其特征在于，包括：

10.一种根据权利要求1-8中任一项所述的晶粒转移装置的晶粒转移方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结
本申请提供了一种晶粒转移装置、固晶机和晶粒转移方法，其中，晶粒转移装置包括：基板，基板的第一侧具有适于安装晶粒的多个安装槽；供料组件，供料组件设于基板的第一侧，供料组件朝向基板的一侧能够释放晶粒，晶粒上设有磁性层；辅助板，设于基板和供料组件之间，辅助板的第一侧朝向基板，辅助板的第二侧朝向供料组件，辅助板设有多个沿其厚度方向贯通的通孔，至少一部分通孔的位置与安装槽的位置相对应，辅助板具有反磁性，能够对设有磁性层的晶粒施加反磁力。该晶粒转移装置，可以实现晶粒的快速转移，提高晶粒转移的精度、可靠性和良品率。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：江苏立导科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11