冷源板、复合微结构冷凝液滴弹跳均热板及芯片

1.本实用新型涉及换热技术领域，尤其是涉及一种冷源板、复合微结构冷凝液滴弹跳均热板及芯片。


背景技术：

2.现有的均热板大多为吸液芯均热板，吸液芯抽吸液体的速率为mm/s，吸液芯抽吸速度慢导致冷面冷凝的液体无法快速输送至热面。目前，虽然也出现了一些利用冷凝液滴弹跳的均热板，但是，冷面结构单一，则无法同时兼顾液滴输运快、弹跳速度大的需求。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种冷源板，实现冷凝液体的快速回流，加快工质循环速度，同时能够有效地对热源板的热点区域实现定向冷却，提高热点区域的冷却效果。
4.根据本实用新型第一方面实施例的冷源板，包括：用于朝向热源板输送相变换热工质，所述冷源板包括与所述热源板相对的冷面，所述冷面包括与所述热源板的热点区域正对的中心区域和位于所述中心区域外周的外围区域，所述中心区域设有第一微结构，所述外围区域设有第二微结构，所述第一微结构用于强化所述中心区域处的冷凝液滴弹跳至所述热点区域，所述第二微结构与所述第一微结构不同，用于调控所述外围区域处的冷凝液滴的弹跳方向，将所述外围区域处的冷凝液滴输运至所述中心区域；所述第一微结构和所述第二微结构均覆盖有超疏水层。
5.根据本实用新型第一方面实施例的冷源板，与冷面单一微结构的冷源板相比，在冷面上的中心区域布置用于强化冷凝液滴弹跳的第一微结构和在外围区域布置用于定向调控的第二微结构，通过第一微结构和第二微结构的组合可以在冷面上形成各向异性微结构，发挥不同微结构对冷凝液滴弹跳运动的调控优势，兼顾输运速度快、弹跳速度大的需求，实现冷凝液体的快速回流，加快工质循环速度，同时能够有效地对热源板的热点区域实现定向冷却，提高热点区域的冷却效果。
6.在一些实施例中，所述中心区域的面积大于或等于所述热点区域的面积。
7.在一些实施例中，所述第一微结构中的单个微结构单元呈凹坑状。
8.在一些实施例中，所述第一微结构为蛋托凹坑微结构或/和栅格微结构。
9.在一些实施例中，所述第二微结构中的单个微结构单元呈凸柱状。
10.在一些实施例中，所述第二微结构包括由外向内分布的若干圈子区域微结构，同一圈所述子区域微结构中的单个微结构单元为等腰梯形棱柱、三角形棱柱、扇形棱柱、矩形棱柱、平行四边形棱柱、v形棱柱或月牙形棱柱，不同圈的所述子区域微结构中的单个微结构形状相同或不同。
11.在一些实施例中，同一圈所述子环区微结构的微结构单元密度分布相同，不同圈的所述子区域微结构的微结构单元密度分布不同。
12.在一些实施例中，自外向内的不同圈的所述子区域微结构的微结构单元密度呈由疏向密梯度分布。
13.在一些实施例中，所述第二微结构的单个微结构单元为等腰梯形棱柱，其中，等腰梯形棱柱顶面的上底边宽度为1μm，下底边宽度范围为5～10μm，相对两斜边的夹角范围为15～30
°
，等腰梯形棱柱厚度范围为5～10μm。
14.本实用新型第二方面还提出了一种复合微结构冷凝液滴弹跳均热板。
15.根据本实用新型第二方面的复合微结构冷凝液滴弹跳均热板，包括：
16.热源板，所述热源板具有热点区域，所述热源板的热面设有超亲水层；
17.如本实用新型第一方面任意一项实施例所述的冷源板，所述冷源板的冷面与所述热源板的所述热面之间形成有内部空腔，所述冷面与所述热面间隔相对。
18.本实用新型第三方面还提出了一种芯片。
19.根据本实用新型第三方面实施例的芯片，包括根据本实用新型第二方面实施例所述的复合微结构冷凝液滴弹跳均热板和芯片本体，所述复合微结构冷凝液滴弹跳均热板用于对所述芯片本体进行散热。
20.由于本实用新型第三方面实施例的复合微结构冷凝液滴弹跳均热板对热点区域的冷却效果好，进而提高均热板的热流密度，因此，将芯片本体的高温部位与热源板的热点区域相接触，可以有效地对芯片的高温部位进行高效散热，同时满足芯片小型化需求，对于我国芯片产业的发展具有重要的现实意义。
21.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
22.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
23.图1为本实用新型的一种复合微结构冷凝液滴弹跳均热板的剖面示意图。
24.图2为本实用新型的一种第二微结构的示意图，示意出单个微结构单元为等腰梯形棱柱的示意图。
25.图3为图2中的单个等腰梯形棱柱的示意图。
26.图4和图5示意出本实用新型的第二微结构利用拉普拉斯压差原理调控冷凝液滴弹跳方向(弹跳方向倾斜向上)的示意图，其中，图4示意出冷凝液滴在等腰梯形棱柱顶面产生驱动力，图5示意出冷凝液滴融合弹跳。
27.图6为本实用新型的第二微结构中的单个微结构单元为三角形棱柱的示意图。
28.图7为本实用新型的第二微结构中的单个微结构单元为扇形棱柱的示意图。
29.图8为本实用新型的第二微结构中的单个微结构单元为v形棱柱的示意图。
30.图9a为本实用新型的另一种第二微结构示意图，示意出微结构单元为矩形棱柱，且微结构单元密度自外向内由疏向密梯度分布，该第二微结构利用疏密原理调控冷凝液滴倾斜向上弹跳。
31.图9b为图9a的俯视图。
32.图10为本实用新型的又一种第二微结构示意图，示意出微结构单元为等腰梯形棱
柱，且微结构单元密度自外向内由疏向密梯度分布，图7中微结构单元密度分布与图2 不同。
33.图11a为本实用新型中心区域的凹坑微结构中冷凝液滴生长的示意图。
34.图11b为本实用新型中心区域的凹坑微结构中冷凝液滴融合的示意图。
35.图11c为本实用新型中心区域的凹坑微结构中融合后的冷凝液滴强化弹跳的示意图。
36.图12为本实用新型中心区域的栅格微结构，其中，单个栅格为正方形。
37.图13为本实用新型中心区域的栅格微结构，其中，单个栅格为正三角形。
38.图14为本实用新型中心区域的栅格微结构，其中，单个栅格为正六边形。
39.图15为本实用新型的不同尺寸的等腰梯形棱柱的第二微结构对冷凝液滴的调控效果示意图。
40.附图标记：
41.复合微结构冷凝液滴弹跳均热板1000
42.热源板1 热点区域a 热面101 冷源板2中心区域b 外围区域c
43.第一微结构201 毛细驱动力f第二微结构202 子环区微结构2021 内部空腔3 等腰梯形棱柱顶面的上底边宽度w1 等腰梯形棱柱顶面的下底边宽度w2
44.等腰梯形棱柱厚度h
具体实施方式
45.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
46.下面结合图1至图15来描述本发明第一方面实施例的冷源板2。
47.如图1至图15所示，根据本实用新型第一方面实施例的冷源板2，用于朝向热源板1输送相变换热工质，冷源板2包括用于与热源板1相对的冷面，冷面包括与热点区域 a正对的中心区域b和位于中心区域b外周的外围区域c，中心区域b设有第一微结构 201，外围区域c设有第二微结构202，第一微结构201用于强化中心区域b处的冷凝液滴弹跳至热点区域a，第二微结构202与第一微结构201不同，用于调控外围区域c处的冷凝液滴的弹跳方向，将外围区域c处的冷凝液滴输运至中心区域b；第一微结构201 和第二微结构202均覆盖有超疏水层。
48.具体而言，热源板1的外侧(即与热面101背对的一侧面)与热源(图中未示出) 接触，热源与热源板1之间的接触面的尺寸要小于热源板1的平面尺寸，因此，热源板 1上在与热源接触正对的局部区域的温度相对于热源板1的其它部位温度要高，即，热源板1的高温集中于热源板1在与热源接触正对的局部区域，该局部区域可以认为是热源板1的热点区域a，也就是说，热源板1具有热点区域a。如图1所示，热点区域a 设计在热源板1的中部，较为合理。
49.冷源板2的外侧(即与冷面背对的一侧面)与冷源(图中未示出)接触，使得冷源板2处于低温状态，可使得高温工质蒸汽在冷面上冷凝为小液滴，释放热量。
50.冷源板2的冷面与热源板1的热面101间隔相对，工质通过在热源板1的热面101 上发生相变以及在冷源板2的冷面上发生相变进行热量传导，具体地，热面101将工质液体蒸发成高温工质蒸汽，带走热量；高温工质蒸汽在冷源板2的冷面上变成大规模的微米/亚微米冷凝液滴，释放热量。
51.外围区域c设有第二微结构202，用于调控外围区域c处的冷凝液滴的弹跳方向，将外围区域c处的冷凝液滴输运至中心区域b。可以理解的是，第二微结构202的作用是，一方面可以限制生长在第二微结构202上的冷凝液滴最大尺寸处于微米/亚微米尺寸范围，这样大小的冷凝液滴更容易实现融合弹跳，发生弹跳的概率大大增加，从而实现冷凝液滴的稳定弹跳，另一方面，可以调控第二微结构202上的大规模的微米/亚微米冷凝液滴的定向弹跳。
52.下面就第二微结构202的定向弹跳的工作原理进行举例说明。
53.图4和图5示意出一种利用拉普拉斯压差原理调控冷凝液滴弹跳方向的示意图。当第二微结构202中的单个微结构单元选择凸柱状的等腰梯形棱柱(如图2和图3所示)，则图4示意出图3的等腰梯形棱柱的顶面(该顶面为等腰梯形)。当高温工质蒸气在等腰梯形棱柱的顶面上冷凝形成冷凝液滴，由于同一个冷凝液滴的不同位置与该等腰梯形棱柱的顶面接触的宽度不同，冷凝液滴在该顶面的x1处的接触宽度为δ1,在顶面x2处的接触宽度为δ2，δ1《δ2，导致冷凝液滴位于x1处的曲率半径小于位于x2处的曲率半径，即r1《r2，根据拉普拉斯方程可得冷凝液滴位于x1处的压差大于位于x2处的压差，即δp1》δp2，进而产生由压差大至压差小的方向的驱动力(图4中示意出该驱动力方向向右，即沿着等腰梯形宽度增加的方向)；因此，如图5所示，在具有等腰梯形棱柱的表面上，当两个冷凝液滴融合弹跳时受向右的驱动力的驱动，该融合冷凝液滴将向右上方斜向弹跳，若该融合后冷凝液滴在倾斜向上弹跳的过程中碰撞不到其他物体，则该冷凝液滴的整个弹跳路径呈类似于抛物线(参考图1)。另外，从实验结果上来，第二微结构202上的冷凝液滴从边缘向中心方向输运。因此，第二微结构202通过对单个微结构单元的进行合理布置，可以实现大规模微米/亚微米的冷凝液滴由冷面的边缘朝中心方向进行输运，即将外围区域 c处的冷凝液滴输运至中心区域b。
54.同样的原理，第二微结构202中的单个微结构单元还可以选择三角形棱柱(如图7 所示)、扇形棱柱(如图8所示)、平行四边形棱柱(图中未示意出)、v形棱柱(如图9所示)或月牙形棱柱(图中未示出)等形状的凸柱，但并不局限于此，只要凸柱顶面能使冷凝液滴合并弹跳时能产生类似于由上述拉普拉斯压差产生的驱动力，可以调控冷凝液滴定向弹跳即可。
55.图9a和图9b示意出另一种利用疏密原理调控冷凝液滴弹跳方向。第二微结构202 的密度分布会影响表面的接触角。例如，当第二微结构202中的单个微结构单元选择凸柱状的矩形棱柱(如图9a和图9b所示)，该第二微结构202的微结构单元密度从整体上来说，由外到内呈由疏到密的梯度分布。第二微结构202越稀疏的地方，表面润湿性越差，接触角越大；第二微结构202越密集的地方，表面润湿性越好，接触角越小。因此，第二微结构202由外到内，微结构单元密度分布由稀疏到密集，对于融合弹跳的两个液滴来说，由于接触角不同导致液滴弹跳方向不再垂直向上，而是出现偏移。弹跳方向为：融合的冷凝液滴大致呈抛物线的样子从稀疏的区域弹跳到密集的区域。因此，在本实用新型第一方面实施例的复合微结构冷凝液滴弹跳均热板1000中，通过对第二微结构202的微结构单元密度合理设计，可以实
现大规模微米/亚微米的冷凝液滴由冷面的边缘朝中心方向进行输运，即将外围区域c处的冷凝液滴输运至中心区域b。
56.第二微结构202还可以基于拉普拉斯压差原理和疏密原理相结合进行冷凝液滴定向调控，提高定向调控能能力(参考图11，图11中的单个微结构单元为等腰梯形棱柱)。
57.需要说明的是，本实用新型中的第二微结构202调控外围区域c处的冷凝液滴的弹跳方向，除了主要将外围区域c处的冷凝液滴输运至中心区域b以外，也可以使外围区域c处的部分冷凝液滴在定向弹跳过程中直接撞击到热面101上。
58.如图1所示，冷面的中心区域b设有第一微结构201，第一微结构201与第二微结构202不同，第一微结构201用于强化中心区域b处的冷凝液滴弹跳至热点区域a，其中，这里的“强化”意思是第一微结构201可以使得中心区域b处的冷凝液滴弹跳更稳定(即弹跳率高)且弹跳速度更快。
59.如图11a至图11c所示，下面针对第一微结构201强化机理举例作一下说明：将第一微结构201设计微米尺度的薄壁凹坑微结构，可以使得冷凝液滴只能生长在薄壁凹坑微结构的各单个凹坑内而不生长在单个凹坑的侧壁顶面上，当冷凝液滴生长到尺寸与凹坑尺寸相当时可以认为是已生长好的冷凝液滴(如图11a所示)，相邻两个凹坑中的已生长好的冷凝液滴发生融合(如图11b所示)，由于薄壁(即指的单个凹坑的侧壁)的存在，融合后的冷凝液滴内部流动方向将会被诱导向离面方向，并且薄壁会为液滴提供离面的毛细驱动力f，在这个毛细驱动力f的作用下，融合后的液滴将会像弓箭一样高速弹离冷面进行弹跳(如图11c所示)，从而实现冷凝液滴的垂直弹跳，即竖直弹跳。由于该薄壁凹坑微结构中的凹坑可以较好地限制冷凝液滴的大小，将冷凝液滴大小控制在微米/亚微米范围内，能够确保中心区域b不会出现大液滴；再由于第一微结构201设有超疏水层，使得凹坑内的冷凝液滴几乎成球形生长，相邻两个凹坑中的已生长好的冷凝液滴发生融合后更容易脱离凹坑表面进行弹跳；由此实现中心区域b处的冷凝液滴的高稳定弹跳，冷凝液滴的高稳定弹跳率达到90％以上，弹跳速度可达m/s级别。
60.针对第一微结构201上的冷凝液滴弹跳强化机理，上述内容仅作示例性说明，但不局限于此。
61.第一微结构201和第二微结构202均覆盖有超疏水层。也就是说，超疏水层覆盖整个冷面，这样可以使得冷凝液滴发生融合后更容易与第一微结构201及第二微结构202 发生脱离，有利于实现冷凝液滴的高稳定性弹跳。
62.根据本实用新型第一方面实施例的冷源板2，与冷面单一微结构的冷源板相比，在冷面上的中心区域b布置用于强化冷凝液滴弹跳的第一微结构201和在外围区域c布置用于定向调控的第二微结构202，通过第一微结构201和第二微结构202的组合可以在冷面上形成各向异性微结构，发挥不同微结构对冷凝液滴弹跳运动的调控优势，兼顾输运速度快、弹跳速度大的需求，实现冷凝液体的快速回流，加快工质循环速度，同时能够有效地对热源板1的热点区域a实现定向冷却，提高热点区域a的冷却效果。
63.在一些实施例中，如图1所示，中心区域b的面积大于或等于热点区域a的面积。这样中心区域b处的第一微结构201上的融合冷凝液滴弹跳至热面101时可以覆盖整个热点区域a，有利于提高热点区域a的冷却效果
64.在一些实施例中，第一微结构201中的单个微结构单元呈凹坑状，凹坑状的微结构
单元有利于强化中心区域b处的冷凝液滴弹跳垂直弹跳，实现中心区域b处的冷凝液滴的高稳定弹跳，冷凝液滴的高稳定弹跳率达到90％以上，弹跳速度可达m/s级别。
65.具体地，将第一微结构201设计微米尺度的薄壁凹坑微结构(参考图11a、图11b和图11c)，可以使得冷凝液滴只能生长在薄壁凹坑微结构的各单个凹坑内而不生长在单个凹坑的侧壁顶面上，当冷凝液滴生长到尺寸与凹坑尺寸相当时可以认为是已生长好的冷凝液滴(如图11a所示)，相邻两个凹坑中的已生长好的冷凝液滴发生融合(如图11b 所示)，由于薄壁(即指的单个凹坑的侧壁)的存在，融合后的冷凝液滴内部流动方向将会被诱导向离面方向，并且薄壁会为液滴提供离面的毛细驱动力f，在这个毛细驱动力f的作用下，融合后的液滴将会像弓箭一样高速弹离冷面进行弹跳(如图11c所示)，从而实现冷凝液滴的垂直弹跳，即竖直弹跳。由于该薄壁凹坑微结构中的凹坑可以较好地限制冷凝液滴的大小，将冷凝液滴大小控制在微米/亚微米范围内，能够确保中心区域b不会出现大液滴；再由于第一微结构201设有超疏水层，使得凹坑内的冷凝液滴几乎成球形生长，相邻两个凹坑中的已生长好的冷凝液滴发生融合后更容易脱离凹坑表面进行弹跳；由此实现中心区域b处的冷凝液滴的高稳定弹跳，冷凝液滴的高稳定弹跳率达到90％以上，弹跳速度可达m/s级别。
66.在一些实施例中，第一微结构201为蛋托凹坑微结构(如图1所示)或/和栅格微结构(如图13至图15所示)。也就是说，第一微结构201中的单个微结构单元可以设计成蛋托凹坑状，也可以设计成栅格凹坑状，还可以设计成部分为蛋托凹坑状且部分为栅格凹坑状，在实际应用中，在满足可以强化冷凝液滴弹跳的情况下，可以根据具体需求进行选择。
67.优选的，栅格微结构的单个微结构单元的形状优选为正方形(参考图13)、三角形 (参考图14)或正六边形(参考图15)，这样可以实现栅格的密铺，有利于基点区域的冷凝液滴仅生长在各单个凹坑内。
68.在一些实施例中，第二微结构202中的单个微结构单元呈凸柱状(参考图1至图11)，使得冷凝液滴的弹跳路径类似于抛物线，这样可以调控外围区域c处的冷凝液滴的弹跳方向，一方面可以使外围区域c处的大规模的冷凝液滴向中心区域b输运，另一方面，外围区域c处的部分冷能液滴也可以直接撞击到热面101，吸收热面101的热量。
69.在一些实施例中，第二微结构202包括由外向内分布的若干圈子区域微结构(参考图9b和图11)，同一圈子区域微结构中的单个微结构单元为等腰梯形棱柱(参考图 11)、三角形棱柱、扇形棱柱、矩形棱柱(参考图9b)、平行四边形棱柱、v形棱柱或月牙形棱柱，不同圈的子区域微结构中的单个微结构形状相同(参考图9b和图11) 或不同。由此，第二微结构202可以形成各向异性结构，发挥不同子区域微结构表面对冷凝液滴的输运能力优势，增强表面对液滴弹跳方向的调控能力。
70.在一些实施例中，同一圈子环区微结构2021的微结构单元密度分布相同(参考图9b和图11)，这样，可以使得同一子环区微结构2021上的冷凝液滴分布均匀，有利于冷凝液滴发生融合弹跳。不同圈的子区域微结构的微结构单元密度分布不同(参考图9b和图11)，可以将外围区域c的微结构阵列本身与微结构单元密度梯度对液滴弹跳的调控作用相结合，可以进一步提高对冷凝液滴的定向调控作用。
71.在一些实施例中，自外向内的不同圈的子区域微结构的微结构单元密度呈由疏向密梯度分布(参考图9b和图11)。由此，可以实现大规模微米/亚微米的冷凝液滴由冷面的边缘朝中心方向进行输运，即将外围区域c处的冷凝液滴输运至中心区域b。
72.在一些实施例中，如图2和图3所示，第二微结构202的单个微结构单元为等腰梯形棱柱，其中，等腰梯形棱柱顶面的上底边宽度w1为1μm，下底边宽度w2范围为5～10μm，相对两斜边的夹角范围为15～30
°
，等腰梯形棱柱厚度h范围为5～10μm。实验证明，第二微结构中的单个微结构单元采用该尺寸范围的等腰梯形棱柱时，预期方向冷凝液滴弹跳比例高。下面通过一组实验数据对不同尺寸等腰梯形棱柱表面对液滴弹跳方向的调控作用进行说明，如图15所示，等腰梯形棱柱顶面的下底边宽有选三种尺寸，分别为 2.5μm、5μm、10μm。从冷凝液滴朝着预期方向弹跳的比例可以发现，等腰梯形棱柱的第二微结构可以有效地对液滴弹跳方向进行调控，使得液滴向预期方向弹跳。
73.如图1至图15所示，本实用新型第二方面还提出了一种复合微结构冷凝液滴弹跳均热板1000。
74.根据本实用新型第二方面实施例的复合微结构冷凝液滴弹跳均热板1000，包括：
75.热源板1，热源板1具有热点区域a，热源板1的热面101设有超亲水层；
76.如本实用新型第一方面任意一项实施例的冷源板2，冷源板2的冷面与热源板1的热面101之间形成有内部空腔，冷面与热面2间隔相对。
77.具体而言，热源板1的外侧(即与热面101背对的一侧面)与热源(图中未示出) 接触，热源与热源板1之间的接触面的尺寸要小于热源板1的平面尺寸，因此，热源板 1上在与热源接触正对的局部区域的温度相对于热源板1的其它部位温度要高，即，热源板1的高温集中于热源板1在与热源接触正对的局部区域，该局部区域可以认为是热源板1的热点区域a，也就是说，热源板1具有热点区域a。如图1所示，热点区域a 设计在热源板1的中部，较为合理。热源板1的热面101设有超亲水层，能够让工质液体均匀铺展蒸发成高温工质蒸汽，带走热量。
78.针对冷源板2，前文已作详细具体描述，在此不再赘述。但需要说明一下，冷源板 2的冷面与热源板1的热面101之间形成有内部空腔3，该内部空腔3的作用是用于充相变换热工质。
79.根据本实用新型第二方面实施例的复合微结构冷凝液滴弹跳均热板1000，与冷面单一微结构的液滴弹跳均热板相比，在冷面上的中心区域b布置用于强化冷凝液滴弹跳的第一微结构201和在外围区域c布置用于定向调控的第二微结构202，通过第一微结构 201和第二微结构202的组合可以在冷面上形成各向异性微结构，发挥不同微结构对冷凝液滴弹跳运动的调控优势，兼顾输运速度快、弹跳速度大的需求，实现冷凝液体的快速回流，加快工质循环速度，同时能够有效地对热点区域a实现定向冷却，提高热点区域a的冷却效果。
80.本实用新型第三方面还提出了一种芯片。
81.根据本实用新型第三方面实施例的芯片，包括本实用新型第二方面实施例的复合微结构冷凝液滴弹跳均热板1000和芯片本体，复合微结构冷凝液滴弹跳均热板1000用于对芯片本体进行散热。由于本实用新型第二方面实施例的复合微结构冷凝液滴弹跳均热板 1000对热点区域a的冷却效果好，进而提高均热板的热流密度，因此，将芯片本体的高温部位与热源板1的热点区域a相接触，可以有效地对芯片的高温部位进行高效散热，同时满足芯片小型化需求，对于我国芯片产业的发展具有重要的现实意义。
82.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结
构、或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
83.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。