一种适用于基板的旋转取放装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别是涉及一种适用于基板的旋转取放装置。


背景技术：

2.随着现代工业的不断发展，半导体工业生产的自动化水平逐渐提高。半导体制造设备中，基板需要经过多次转移才能从料盒输送至工作台进行加工，所以需要设置基板取放装置。现有的基板取放装置大多在一个运动过程只能上料或下料，不能同时进行上料和下料，中间存在较大的等待时间，导致整个系统的加工效率较低。
3.鉴于此，本领域亟需一种新的解决方案以解决上述的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种适用于基板的旋转取放装置，以解决现有技术中存在的问题。
5.本实用新型提供一种适用于基板的旋转取放装置，包括：旋转电机、传动组件、转轴组件以及可对基板进行吸附的吸附组件；所述旋转电机与所述传动组件驱动连接，所述转轴组件的轴心沿z轴设置，所述转轴组件的一端与所述传动组件连接，所述转轴组件的另一端设有连接部，所述连接部的两端分别对称设有所述吸附组件；
6.所述吸附组件包括固定于所述连接部的z轴驱动件、与所述z轴驱动件固定连接的吸附底板以及若干个设于所述吸附底板上的吸嘴，所述吸嘴可吸附所述基板；
7.所述旋转电机通过所述传动组件驱动所述转轴组件旋转，从而带动所述连接部和所述吸附组件绕所述转轴组件的轴心旋转；所述z轴驱动件驱动所述吸附底板和所述吸嘴沿z轴方向直线运动以靠近或远离所述z轴驱动件。
8.优选地，所述吸附组件还包括若干导向杆，所述导向杆的一端与所述连接部固定连接，所述导向杆的另一端穿过所述吸附底板，所述吸附底板可相对所述导向杆沿z轴方向滑动。
9.优选地，所述导向杆远离所述连接部的一端设有第一限位块，所述第一限位块位于所述吸附底板远离所述z轴驱动件的一侧，所述第一限位块与所述吸附底板之间还设有弹簧，所述第一限位块用于限制所述吸附底板沿z轴的最大下降位移。
10.优选地，所述吸附组件还包括设于所述吸附底板上的缓冲器，所述缓冲器用于在所述吸附底板沿z轴运动时进行缓冲。
11.优选地，所述转轴组件包括旋转轴、位于所述旋转轴外部的套筒以及位于所述旋转轴和所述套筒之间的轴承，所述旋转轴的一端与所述连接部连接，所述旋转轴的另一端与所述传动组件连接，所述旋转轴可相对所述套筒旋转。
12.优选地，所述适用于基板的旋转取放装置还包括定位组件，所述定位组件包括固定于所述旋转轴外部的第二限位块、位于所述第二限位块外部的安装块以及安装在所述安
装块上的限位螺丝；所述安装块与所述套筒固定连接，所述安装块与所述第二限位块间存在间隙，所述第二限位块可相对所述安装块旋转，所述限位螺丝伸出所述间隙内，所述第二限位块旋转至所述限位螺丝的位置时与所述限位螺丝接触，以限制所述旋转轴的旋转角度。
13.优选地，所述定位组件还包括安装在所述安装块上的传感器，所述传感器用于感应所述第二限位块的位置。
14.优选地，所述传动组件包括设于所述旋转电机的输出轴上的第一带轮、设于所述旋转轴上的第二带轮以及绕设于所述第一带轮和所述第二带轮外部的传动带。
15.优选地，所述适用于基板的旋转取放装置还包括与所述吸嘴连接的真空发生器。
16.优选地，若干个所述吸嘴单独与所述真空发生器连接。
17.本实用新型的有益效果是：本实用新型的适用于基板的旋转取放装置，通过设置旋转电机和z轴驱动件实现双自由度的运动，一个旋转电机同时控制两组吸附组件，结构简单，控制难度较低；通过在转轴组件设置连接部，在连接部上对称设置的两组吸附组件，可以实现对适用于基板的旋转取放装置两侧的基板同时进行取放，实现了上料和下料的同时进行，大大减少了这个加工系统的待料时间，提高了生产效率，且结构简单。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1是本实用新型实施例的适用于基板的旋转取放装置的结构示意图；
20.图2是本实用新型实施例的适用于基板的旋转取放装置另一角度的结构示意图；
21.图3是本实用新型实施例的吸附组件的结构示意图；
22.图4是本实用新型实施例的转轴组件的结构示意图；
23.图5是本实用新型实施例的定位组件的结构示意图；
24.图6是本实用新型实施例的基板的结构示意图。
具体实施方式
25.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
26.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
27.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。
28.请参见图1-图2，为本实用新型实施例的旋转取放装置60的结构示意图，用于对基板201进行取放。本实施例的旋转取放装置60包括：旋转电机61、传动组件62、转轴组件63以及可对基板进行吸附的吸附组件64。需要说明的是，如图6所示，基板201是一种物料的承载载体，基板201上贴设有待加工的物料，基板201可以为玻璃。
29.具体地，旋转电机61与传动组件62驱动连接，转轴组件63的轴心z轴设置，转轴组件63的一端与传动组件62连接，转轴组件63的另一端设有连接部65，连接部65的两端对称设有吸附组件64。更具体地，旋转电机61的输出轴朝下设置。连接部65为水平设置的长条状，吸附组件64设置为两组，分别位于连接部65的两端，转轴组件63与连接部65的中点位置连接，两组吸附组件64关于连接部65的中点对称设置。
30.请参见图3，吸附组件64包括z轴驱动件641、吸附底板642以及若干个吸嘴643。z轴驱动件641固定于连接部65，吸附底板642与z轴驱动件641的输出轴固定连接，吸嘴643设于吸附底板642上，吸嘴643沿z轴方向设置，吸嘴643的朝上的一端连接真空发生器，吸嘴643朝下的一端用于吸附基板201。吸嘴643朝下的一端还设有橡胶层以防止损坏基板201。需要说明的是，本实施例中，吸嘴643设置为多个，若干个吸嘴643单独与真空发生器连接以实现单独控制。更具体地，吸附底板642呈“工”字形，吸嘴643设置为8个，吸附底板642的四个端点分别设置1个吸嘴643，吸附底板642的内侧设置4个吸嘴643。工作时，两个吸嘴643为一组，分别吸附基板201的两端。其中z轴驱动件641可以是直线电机、直线气缸、或者是旋转电机61配合丝杆组件实现直线运动的结构。在本实施例中，z轴驱动件641为气缸。
31.在将本实施例的旋转取放装置60装配在加工系统上时，旋转取放装置60的左右两侧分别设有用于承载基板201的装置，可以分别是缓存台和工作台。
32.本实用新型实施例的旋转取放装置60的工作流程如下：旋转电机61通过传动组件62驱动转轴组件63旋转，从而带动连接部65和吸附组件64绕转轴组件63的轴心旋转，直至两组吸附组件64分别位于缓存台和工作台的正上方；z轴驱动件641驱动吸附底板642和吸嘴643沿z轴方向直线下降运动以靠近基板201，直至吸嘴643与基板201接触；真空发生器将吸嘴643内的空气抽离，吸嘴643与基板201吸附固定；z轴驱动件641驱动吸附底板642和吸嘴643沿z轴方向直线上升运动以靠近z轴驱动件641；旋转电机61再次工作，使连接部65旋转180
°
，两组吸附组件64分别旋转至另一侧，即位于工作台和缓存台的正上方；z轴驱动件641驱动吸嘴643沿z轴方向直线下降运动，直至基板201与工作台和缓存台接触；真空发生器停止工作，旋转取放装置60复位。
33.本实用新型实施例的旋转取放装置60，通过设置旋转电机61和z轴驱动件641实现双自由度的运动，一个旋转电机61同时控制两组吸附组件64，结构简单，控制难度较低；通过在转轴组件63设置连接部65，在连接部65上对称设置的两组吸附组件64，可以实现对旋转取放装置60两侧的基板201同时进行取放，实现了上料和下料的同时进行，大大减少了这个加工系统的待料时间，提高了生产效率，且结构简单。
34.进一步地，吸附组件64还包括若干导向杆644，导向杆644的一端与连接部65固定连接，导向杆644的另一端穿过吸附底板642，吸附底板642可相对导向杆644沿z轴方向滑动。具体地，分别在z轴驱动件641的两侧设置导向杆644。通过导向杆644的设置，对吸附底板642的运动进行导向，增加了整个装置的可靠性。
35.进一步地，导向杆644远离连接部65的一端设有第一限位块645，第一限位块645位
于吸附底板642远离所述z轴驱动件641的一侧，第一限位块645与吸附底板642之间还设有弹簧，用于在吸附底板642沿z轴运动时进行缓冲，第一限位块645用于限制吸附底板642沿z轴的最大下降位移。通过第一限位块645的设置，能有效防止z轴驱动件641过度下降以及吸附底板642从z轴驱动件641上脱落等意外发生，导致损坏基板201，进一步提高装置的可靠性。
36.进一步地，吸附组件64还包括设于吸附底板642上的缓冲器646，缓冲器646用于在吸附底板642沿z轴运动时进行缓冲。通过缓存器的设置，能进一步防止z轴驱动件641的速度过快导致基板201损坏，同时可以防止z轴驱动件641过度位移。
37.进一步地，请重点参见图4，转轴组件63包括旋转轴631、位于旋转轴631外部的套筒632以及位于旋转轴631和所述套筒632之间的轴承，旋转轴631的一端与连接部65连接，旋转轴631的另一端与传动组件62连接，旋转轴631可相对套筒632旋转。通过旋转轴631和套筒632的设置，能避免旋转部件直接暴露在外部，增加旋转取放装置60的使用寿命，同时能增加转轴组件63的强度。
38.进一步地，请重点参见图1、图2、图5，旋转取放装置60还包括定位组件66，定位组件66包括固定于旋转轴631外部的第二限位块661、位于第二限位块661外部的安装块662以及安装在安装块662上的限位螺丝663。安装块662与套筒632固定连接，安装块662与第二限位块661间存在间隙，第二限位块661可相对安装块662旋转，限位螺丝663伸出间隙内，第二限位块661旋转至限位螺丝663的位置时与限位螺丝663接触，以限制旋转轴631的旋转角度。也就是说，旋转轴631不能一直朝同一个方向旋转，旋转轴631只能朝正向或反向旋转一定的角度，这个角度小于360
°
。通过上述的设置能避免转轴组件63只往同一个方向旋转，因为旋转取放装置60的吸嘴643需要连接气管，若一直朝同一方向旋转会导致气管缠绕在一起，最后无法工作。在实际的装配过程中，安装块662装配在其他装置上，实现固定。
39.进一步地，为了识别吸附组件64的位置，定位组件66还包括安装在安装块662上的传感器664，传感器664用于感应第二限位块661的位置。通过确定第二限位块661的位置即可进一步确定吸附组件64的位置。通过传感器664的设置进一步提高了旋转取放装置60的精度。
40.进一步地，为了实现旋转电机61于转轴组件63之间的动力连接，传动组件62包括设于旋转电机61的输出轴上的第一带轮621、设于旋转轴631上的第二带轮622以及绕设于所述第一带轮621和第二带轮622外部的传动带623。通过上述设置即可实现旋转电机61于转轴组件63之间的动力连接。需要说明的是，在其他实施例中，也可以直接采用齿轮传动或者直接驱动的方式实现动力连接。
41.以上所述仅为本实用新型的部分实施例，并非因此限制本实用新型的保护范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效装置或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。