一种半导体加工用夹持装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体加工用夹持装置。


背景技术：

2.半导体材料是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。在半导体的加工过程中，为了使加工设备精准的对半导体进行加工，通过夹持装置将半导体夹持固定。
3.现有的半导体加工用夹持装置在使用时存在一定的缺陷，夹持装置使用时安全性不高，容易导致夹持装置上半导体工件的损坏，而且夹持装置的功能单一，使用效果不好，给使用过程带来了一定的影响，因此，现在对半导体加工用夹持装置作出改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体加工用夹持装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种半导体加工用夹持装置，包括安装架，所述安装架的下端固定安装有减速机，所述减速机的输入端位于安装架的下方的位置固定安装有电机，所述减速机的输出端位于安装架的上方的位置固定连接有连接轴，所述连接轴的上端固定连接有第一垫板，所述第一垫板的上端固定安装有电子秤板，所述电子秤板的上端固定安装有第二垫板，所述第二垫板的上端一侧固定安装有固定板，所述第二垫板的上端另一侧固定安装有定位板，所述定位板远离第二垫板的一侧外表面固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端固定连接有夹板，所述夹板包括安装座与连接座，所述连接座套接在安装座的后端的位置，所述安装座的后端外表面固定连接有连接杆，所述连接杆的外表面套设有减震弹簧。
7.优选的，所述安装座呈盒状结构，所述安装座与连接座活动连接，所述连接座的前端外表面开设有连接孔，所述连接杆的后端位于连接孔的内部，且连接杆通过连接孔与连接座活动连接，所述减震弹簧位于安装座与连接座之间的位置。
8.优选的，所述连接轴的上端与第一垫板固定连接，所述第一垫板的下端外表面固定安装有滑轨，所述安装架的上端外表面开设有滑槽，滑轨与滑槽均呈环形结构，且滑轨滑动安装在滑槽的内部。
9.优选的，所述固定板远离第二垫板的一侧外表面固定安装有显示器，所述电子秤板的输出端与显示器的输入端电性连接。
10.优选的，所述连接座的后端中间固定安装有安装接头，所述液压缸通过安装接头与夹板固定连接，且夹板通过液压缸活动安装在固定板与定位板之间的位置。
11.优选的，所述安装座的前端外表面覆盖有橡胶垫片，且橡胶垫片的外表面开设有
防滑纹。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、本实用新型中，通过设置的安装座、连接座、安装接头、连接杆、减震弹簧和橡胶垫片，使夹持装置具有一定的缓冲效果，在夹持装置使用时，夹板和固定板将半导体工件夹紧固定，缓冲结构能够在震动时进行缓冲，避免将半导体工件夹紧损坏，同时在夹持过程中避免加持力过大导致的半导体损坏，使夹持装置安全性更高；
14.2、本实用新型中，通过设置的电子秤板和显示器，能够在夹持装置使用时对其夹持的半导体工件进行称重，使半导体材料通过夹持装置夹持时能够实时监测重量的变化，使夹持装置的功能更加的多样化，提高夹持装置的使用效果；
15.综上，本实用新型能够提高夹持装置的安全性，并能使夹持装置的使用效果更好，具有实用性。
附图说明
16.图1为本实用新型提出的一种半导体加工用夹持装置的整体结构示意图；
17.图2为本实用新型提出的一种半导体加工用夹持装置的拆分示意图；
18.图3为本实用新型提出的一种半导体加工用夹持装置的夹板的结构示意图。
19.图中：1、安装架；2、减速机；3、电机；4、连接轴；5、第一垫板；6、电子秤板；7、第二垫板；8、固定板；9、显示器；10、定位板；11、液压缸；12、夹板；13、安装座；14、连接座；15、安装接头；16、连接杆；17、减震弹簧；18、橡胶垫片。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
21.参照图1-3，一种半导体加工用夹持装置，包括安装架1，安装架1的下端固定安装有减速机2，减速机2的输入端位于安装架1的下方的位置固定安装有电机3，减速机2的输出端位于安装架1的上方的位置固定连接有连接轴4，电机3通过减速机2变速之后带动连接轴4转动，从而使夹持结构能够在使用时转动调节角度，夹持装置可以根据夹持需要进行角度位置的调节，连接轴4的上端固定连接有第一垫板5，第一垫板5的上端固定安装有电子秤板6，电子秤板6能够对夹持装置上的半导体工件进行称重，在夹持过程中能够实时监测其重量变化，电子秤板6的上端固定安装有第二垫板7，第二垫板7的上端一侧固定安装有固定板8，第二垫板7的上端另一侧固定安装有定位板10，定位板10远离第二垫板7的一侧外表面固定安装有液压缸11，液压缸11的输出端固定连接有夹板12，液压缸11推动夹板12移动，使夹板12和固定板8将需要夹持固定的半导体工件夹紧固定，夹板12包括安装座13与连接座14，连接座14套接在安装座13的后端的位置，安装座13的后端外表面固定连接有连接杆16，连接杆16的外表面套设有减震弹簧17，使夹持装置具有一定的缓冲效果，缓冲结构能够在震动时进行缓冲，避免将半导体工件夹紧损坏，同时在夹持过程中避免加持力过大导致的半导体损坏，使夹持装置安全性更高。
22.其中，安装座13呈盒状结构，安装座13与连接座14活动连接，连接座14的前端外表
面开设有连接孔，连接杆16的后端位于连接孔的内部，且连接杆16通过连接孔与连接座14活动连接，减震弹簧17位于安装座13与连接座14之间的位置。
23.其中，连接轴4的上端与第一垫板5固定连接，第一垫板5的下端外表面固定安装有滑轨，安装架1的上端外表面开设有滑槽，滑轨与滑槽均呈环形结构，且滑轨滑动安装在滑槽的内部，滑轨和滑槽结构能够使第一垫板5稳定的在安装架1上端转动。
24.其中，固定板8远离第二垫板7的一侧外表面固定安装有显示器9，电子秤板6的输出端与显示器9的输入端电性连接，电子秤板6和显示器9均采用现有常用的技术手段，电子秤板6测量的重量在显示器9上直接显示。
25.其中，连接座14的后端中间固定安装有安装接头15，液压缸11通过安装接头15与夹板12固定连接，且夹板12通过液压缸11活动安装在固定板8与定位板10之间的位置。
26.其中，安装座13的前端外表面覆盖有橡胶垫片18，且橡胶垫片18的外表面开设有防滑纹，橡胶垫片18配合减震弹簧17使夹板12具有缓冲效果，同时橡胶垫片18还能起到防滑效果，使夹持装置夹持半导体工件时更加牢固。
27.工作原理：使用时，将夹持装置通过安装架1安装固定，需要夹持的半导体工件放在夹板12与固定板8之间，然后液压缸11推动夹板12移动，使夹板12和固定板8将半导体工件夹紧固定，夹板12中的减震弹簧17和橡胶垫片18使夹持装置具有一定的缓冲效果，缓冲结构能够在震动时进行缓冲，避免将半导体工件夹紧损坏，同时在夹持过程中避免加持力过大导致的半导体损坏，使夹持装置安全性更高，在夹持装置使用时，可以通过电机3带动夹持结构转动，使夹持装置根据加工需要进行角度调节。
28.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。