一种硅片兼容下料升降机构的制作方法

1.本实用新型属于半导体升降机领域，尤其是涉及一种硅片兼容下料升降机构。


背景技术：

2.如今，新能源的开发利用对社会的发展尤其重要，因此促使半导体行业发展迅速。新能源的开发与采集中，需对生产的新型硅片进行收集，由于硅片属于高度清洁的材料，为保证其生产效率和使用功能，降低其污染率和碎片率，因此，需要一种可以承载硅片的工具——片篮，片篮可精准的对接硅片，不会对硅片造成污染和损伤，因此保证了硅片在制片和使用过程的性能。
3.在上述的硅片采集过程中，硅片与片篮之间需要通过自动插片的方式进行收集，避免人工采集，为了实现自动插片的功能，需要设计一种硅片自动插片的升降机构，来达到硅片自动插片的目的。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的问题是提供一种硅片兼容下料升降机构，尤其适合用于带动硅片片篮自动插片。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
6.一种硅片兼容下料升降机构，用于硅片片篮自动插片，包括：
7.升降支架，所述升降支架用于带动硅片与片篮升降；
8.片篮治具，所述片篮治具设于所述升降支架上，用于带动片篮往复升降；
9.驱动电机，所述驱动电机设于所述升降支架的一侧，用于带动所述升降支架升降移动。
10.进一步的，所述升降机构还包括片篮支架，所述片篮支架设于所述升降支架的顶端，用于承载片篮。
11.进一步的，所述升降机构还包括片篮检测传感器，所述片篮检测传感器设于所述片篮治具上，用于检测治具上的空片篮。
12.进一步的，所述片篮治具设有上下两层，且每层所述片篮治具上均设有所述片篮检测传感器。
13.进一步的，所述驱动电机与所述升降支架之间通过丝杠传动连接。
14.进一步的，所述升降支架与所述片篮治具之间设有下料滑台，硅片沿所述下料滑台滑下插入片篮中。
15.进一步的，所述下料滑台与所述片篮治具之间设有滑道，硅片沿所述滑道滑入片篮中。
16.进一步的，所述片篮支架与所述下料滑台之间通过倾斜杆连接，所述倾斜杆可牵拉所述片篮支架向所述下料滑台倾斜。
17.进一步的，所述片篮治具上设有挡板，所述挡板用于遮挡片篮。
18.进一步的，所述升降机构的下端设有立柱，所述立柱用于固定并支撑所述升降机构。
19.本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，实现了硅片自动下料插篮功能；保证了硅片清洁度，插片过程无需人工操作，降低了劳动力，提高了效率，节省了人工成本，同时实现了自动化、信息化、智能化。
附图说明
20.图1是本实用新型一实施方案的一种硅片兼容下料升降机构示意图。
21.图2是本实用新型一实施方案的一种硅片兼容下料升降机构主视图。
22.图3是本实用新型一实施方案的一种硅片兼容下料升降机构侧视图。
23.图4是本实用新型一实施方案的一种硅片兼容下料升降机构俯视图。
24.图中：
25.1、升降支架
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2、片篮治具
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3、驱动电机
26.4、片篮支架
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5、片篮检测传感器
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6、下料滑台
27.7、挡板
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8、立柱
具体实施方式
28.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
29.如图1-4所示，出示了本实用新型实施例的结构，本实用新型实施例涉及一种硅片兼容下料升降机构，目的是用于硅片片篮自动插片，该升降机构在结构上主要包括：升降支架1、片篮治具2和驱动电机3，其中，升降支架1用于带动硅片与片篮升降，片篮治具2设于升降支架1上，用于带动片篮往复升降，驱动电机3设于升降支架1的一侧，用于带动升降支架1升降移动；需要注意的是，在本实用新型的某些实施例中，用于插片的空片篮是被放置于片篮治具2上的，片篮治具2作为片篮的载体，在驱动电机3的带动下，在升降支架1上随支架在规定轨迹上做往复运动，即上下移动，有助于硅片的分层插片，增加硅片插片精准度，提升插片效率。
30.根据本实用新型实施例的一种硅片兼容下料升降机构，升降机构上还附加安装片篮支架4，片篮支架4设于升降支架1的顶端，用于承载片篮，可以理解的是，为防止片篮脱出，需要对片篮进行简单的固定夹持或承托，因而在升降支架1与片篮治具2的连接部设计片篮支架4，目的在于起到固定片篮的作用，片篮治具2上还设有挡板7，挡板7用于遮挡片篮
31.在优选的方案中，升降机构上还安装片篮检测传感器5，片篮检测传感器 5设于片篮治具2上，用于检测治具上的空片篮，起到片篮精确放置定位的作用，同时无需人工看守机器，减少了劳动资源；在本实用新型的实施例中，片篮治具2在升降支架1上设置上下两层，因此，在每一层的片篮治具2上均安装有一个片篮检测传感器5，或者，两层片篮治具2共用一个检测传感器。
32.在优选的方案中，驱动电机3与升降支架1之间通过丝杠传动连接，丝杠可以顶升
支架，也可以下降支架，丝杠传动节省了支架了空间，只需达到预定的高度即可，同时，在实用新型的实施例中，丝杠也可采用伸缩杆等可完成升降的构件代替传动连接，并非完全局限于一种升降方式。
33.进一步优化方案，升降支架1与片篮治具2之间设有下料滑台6，硅片沿下料滑台6滑下插入片篮中，需要注意的是，下料滑台6可设于片篮支架4 上端，与片篮支架4拼接而成，滑台倾斜可形成滑道，硅片可由滑道滑下插入片篮治具2的空片篮中，完成插片。
34.优选的，片篮支架4与下料滑台6之间通过倾斜杆7连接，倾斜杆7可牵拉片篮支架4上的下料滑台6倾斜，形成硅片滑道。
35.整体的机构中，升降机构的下端设有立柱8，立柱8用于固定并支撑升降机构，以便完成升降机构的固定和定位。
36.根据本实用新型实施例的一种硅片兼容下料升降机构，其产生的有益效果是：由于采用上述技术方案，实现了硅片自动下料插篮功能；保证了硅片清洁度，插片过程无需人工操作，降低了劳动力，提高了效率，节省了人工成本，同时实现了自动化、信息化、智能化。
37.以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。


技术特征：
1.一种硅片兼容下料升降机构，用于硅片片篮自动插片，其特征在于，包括：升降支架，所述升降支架用于带动硅片与片篮升降；片篮治具，所述片篮治具设于所述升降支架上，用于带动片篮往复升降；驱动电机，所述驱动电机设于所述升降支架的一侧，用于带动所述升降支架升降移动。2.根据权利要求1所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括片篮支架，所述片篮支架设于所述升降支架的顶端，用于承载片篮。3.根据权利要求1所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括片篮检测传感器，所述片篮检测传感器设于所述片篮治具上，用于检测治具上的空片篮。4.根据权利要求3所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述片篮治具设有上下两层，且每层所述片篮治具上均设有所述片篮检测传感器。5.根据权利要求1所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述驱动电机与所述升降支架之间通过丝杠传动连接。6.根据权利要求2所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述升降支架与所述片篮治具之间设有下料滑台，硅片沿所述下料滑台滑下插入片篮中。7.根据权利要求6所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述下料滑台与所述片篮治具之间设有滑道，硅片沿所述滑道滑入片篮中。8.根据权利要求6或7所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述片篮支架与所述下料滑台之间通过倾斜杆连接，所述倾斜杆可牵拉所述片篮支架向所述下料滑台倾斜。9.根据权利要求1所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述片篮治具上设有挡板，所述挡板用于遮挡片篮。10.根据权利要求1所述的一种硅片兼容下料升降机构，其特征在于，所述升降机构的下端设有立柱，所述立柱用于固定并支撑所述升降机构。

技术总结
本实用新型提供一种硅片兼容下料升降机构，包括升降支架，所述升降支架用于带动硅片与片篮升降；片篮治具，所述片篮治具设于所述升降支架上，用于带动片篮往复升降；驱动电机，所述驱动电机设于所述升降支架的一侧，用于带动所述升降支架升降移动。本实用新型的有益效果是实现了硅片自动下料插篮功能；保证了硅片清洁度，插片过程无需人工操作，降低了劳动力，提高了效率，节省了人工成本，同时实现了自动化、信息化、智能化。智能化。智能化。


技术研发人员：靳立辉 杨骅 杨亮 吕原杰 王毅
受保护的技术使用者：天津环博科技有限责任公司
技术研发日：2022.08.05
技术公布日：2023/3/3