一种用于晶圆存取的倒片机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶圆片存放领域，特别是一种用于晶圆存取的倒片机。


背景技术：

2.在半导体行业中，晶圆是其的一个重要组成部分，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
3.每一片晶圆都有一个编号，即晶圆id(wafer id)。实际晶圆片生产中，部分晶圆生产厂商会将晶圆编码，为了方便对晶圆片进行追踪往往需要对晶圆片进行扫码，将码录入到系统中，现有的一般通过人工进行扫码，但是人工扫码在取出晶圆时候容易使晶圆磕碰而造成伤害，而且还容易漏扫产生错误，效率比较低，而且容易对晶圆片造成污染，为此我们提供一种用于晶圆存取的倒片机来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种用于晶圆存取的倒片机。
5.本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：
6.一种用于晶圆存取的倒片机，包括用于安装的机架，所述机架上表面设置有若干个取片机构，相邻的另一个取片机构的侧面设置有第一读码检测机构，所述取片机构一侧设置治具，所述治具上设置有若干个与取片机构数量相同的卡塞，所述治具与取片机构之间也设置有第二读码检测机构。
7.优选的，所述取片机构包括安装在机架上的第一直线模组，所述第一直线模组动力输出端设置第二直线模组，所述第二直线模组动力输出端安装有固定架，所述固定架上设置有吸盘。
8.优选的，所述第一读码检测机构包括位于取片机构一侧的第一安装板，所述第一安装板靠近取片机构的侧面上安装有第一气缸，所述第一气缸的动力输出端的安装架上设置有第一读码检测相机，所述第一读码检测相机的拍摄方向设置有第一光源，且第一光源安装在第一安装板上。
9.优选的，所述第一气缸动力输出端设置有第一限位块，所述第一限位块跟随第一读码检测相机一起运动，所述第一安装板的侧面还设置有第一限位器，所述第一限位器与第一限位块位于同一直线上；当第一限位块移动至第一限位器位置后不再移动。
10.优选的，所述第二读码检测机构包括位于治具与取片机构之间的第二安装板，所述第二安装板侧面固定安装有第二气缸，所述第二气缸动力输出端的安装架上安装有第二读码检测相机，所述第二安装板侧面设置有第二光源，所述第二光源位于第二读码检测相机的拍摄方向。
11.优选的，所述第二气缸动力输出端上还设置有第二限位块，所述第二安装板侧面还设置有第二限位器，所述第二限位器与第二限位块位于同一直线上，当第二限位块移动
至第二限位器位置后不再移动。
12.优选的，所述治具包括设置在机架上的治具本体，所述治具本体上开设有多个用于卡塞放置的放置槽。
13.优选的，所述第一直线模组和第二直线模组的直线驱动方式采用同步带直线驱动模组、滚珠丝杆直线驱动模组中的一种或者多种组合。
14.本实用新型具有以下优点：
15.1、本实用新型通过取片机构将放置在治具上的卡塞中的晶圆片进行取出和放入，在取片机构将晶圆从卡塞中取出和放入过程中可以通过第一读码检测机构和第二读码检测机构对晶圆片进行检测和扫码，对晶圆的扫码信息会传输至系统中，方便后续对该晶圆的存取和各个流程的跟踪，通过取片机构晶圆取出和放入解决了人工放置带来的容易磕碰、遗漏、效率较低的问题，从而提高了整体的速度。
16.2、本实用新型通过在第一读码检测相机和第二读码检测相机的照射方向上分别设置第一光源和第二光源，方便在对晶圆片进行扫码检测的时候有足够的明亮光线，方便扫码检测。
附图说明
17.图1为本实用新型的整体结构示意图。
18.图2为本实用新型的取片机构结构示意图。
19.图3为本实用新型的第一读码检测机构结构示意图。
20.图4为本实用新型的第二读码检测机构结构示意图。
21.图5为本实用新型的治具结构示意图。
22.图6为本实用新型的卡塞结构示意图。
23.图中，51、机架；52、取片机构；521、第一直线模组；522、第二直线模组；523、吸盘；524、固定架；53、治具；531、治具本体；532、放置槽；54、卡塞；55、第一读码检测机构；551、第一安装板；552、第一气缸；553、第一读码检测相机；554、第一光源；555、第一限位器；556、第一限位块；56、第二读码检测机构；561、第二安装板；562、第二气缸；563、第二读码检测相机；564、第二光源；565、第二限位器；566、第二限位块。
具体实施方式
24.为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施方式的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
25.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
26.如图1—6所示的实施例，
27.一种用于晶圆存取的倒片机，包括用于安装的机架(51)，所述机架(51)上表面设
置有若干个取片机构(52)，相邻的另一个取片机构(52)的侧面设置有第一读码检测机构(55)，所述取片机构(52)一侧设置治具(53)，所述治具(53)上设置有若干个与取片机构(52)数量相同的卡塞(54)，所述治具(53)与取片机构(52)之间也设置有第二读码检测机构(56)。
28.参照图1，治具(53)上设置有与取片机构(52)数量适配的卡塞(54)，卡塞(54)和取片机构(52)的数量根据需要进行选择；
29.在本实施例中，卡塞(54)和取片机构(52)共设置五个；通过取片机构(52)将卡塞(54)中的晶圆片取出放置在第一读码检测机构(55)或者第二读码检测机构(56)处进行扫码检测，第一读码检测机构(55)和第二读码检测机构(56)既可以进行扫码也可以进行检测，在具体使用中，可以让第一读码检测机构(55)检测则第二读码检测机构(56)进行扫码，也可以使第一读码检测机构(55)扫码则第二读码检测机构(56)检测，在操作上也可以先扫码后检测，也可以先检测后扫码，具体根据实际需要进行选择，扫码得到的信息通过有线/无线传输至上位机(系统)中，方便后续对晶圆的存取、加工等跟踪，方便知道晶圆的状态。
30.所述取片机构(52)包括安装在机架(51)上的第一直线模组(521)，所述第一直线模组(521)动力输出端设置第二直线模组(522)，所述第二直线模组(522)动力输出端安装有固定架(524)，所述固定架(524)上设置有吸盘(523)。
31.参照图2所示，当需要将晶圆取出/放入的时候，首先通过第一直线模组(521)和第二直线模组(522)联动将设置在固定架(524)上的吸盘(523)移动至晶圆处，再在第一直线模组(521)和第二直线模组(522)联动下把晶圆片取出/放入，在此过程中只需要第一直线模组(521)、第二直线模组(522)和吸盘(523)之间的联动即可把晶圆片取出/放入，全程不需要人工的参与，解决了人工进行将晶圆片取出/放入可能会对晶圆片造成的损伤以及扫码的遗漏等问题；
32.所述第一直线模组(521)和第二直线模组(522)的直线驱动方式采用同步带直线驱动模组、滚珠丝杆直线驱动模组中的一种或者多种组合；即可以使第一直线模组(521)和第二直线模组(522)均采用同步带直线驱动模组或者滚珠丝杆直线驱动模组，可以二者进行混合用，即第一直线模组(521)采用同步带直线驱动模组，第二直线模组(522)采用滚珠丝杆直线驱动模组，或者第一直线模组(521)采用滚珠丝杆驱动模组，第二直线模组(522)采用同步带直线驱动模组，在实际中可以根据需要进行设计，上述所说的同步带直线驱动模组和滚珠丝杆直线驱动模组为本领域技术人员根据现有技术所能够轻易实现的，这里不再详细赘述。
33.参照图3，所述第一读码检测机构(55)包括位于取片机构(52)一侧的第一安装板(551)，所述第一安装板(551)靠近取片机构(52)的侧面上安装有第一气缸(552)，所述第一气缸(552)的动力输出端的安装架上设置有第一读码检测相机(553)，所述第一读码检测相机(553)的拍摄方向设置有第一光源(554)，且第一光源(554)安装在第一安装板(551)上。
34.通过第一气缸(552)带动第一读码检测相机(553)向晶圆方向进行移动，当移动一段距离后对晶圆片进行检测或者扫码，在本实施例中，第一读码检测相机(553)拍摄方向为向下，通过第一光源(554)能够对晶圆片照亮，从而方便第一读码检测相机(553)进行检测或者扫码，在本实施例中，设定第一读码检测相机(553)用于检测，所述第一光源(554)为led灯珠，也可以为其他可以进行照亮的照明设备，包括led灯珠但不限于。
35.参照图4，所述第一气缸(552)动力输出端设置有第一限位块(556)，所述第一限位块(556)跟随第一读码检测相机(553)一起运动，所述第一安装板(551)的侧面还设置有第一限位器(555)，所述第一限位器(555)与第一限位块(556)位于同一直线上；当第一限位块(556)移动至第一限位器(555)位置后不再移动。
36.当检测或者读码完毕后第一气缸(552)带动第一读码检测相机(553)恢复至初始位过程中，为了控制第一读码检测相机(553)的移动行程，则通过第一限位器(555)来限制第一读码检测相机(553)的移动行程，位于第一气缸(552)动力输出端与第一读码检测相机(553)一起进行移动的第一限位块(556)移动至第一限位器(555)位置后则使第一气缸(552)关闭或者停止运动，使第一读码检测相机(553)移动至预定位置，第一限位器(555)可以为行程开关、接近开关等，在本实施例中，第一限位器(555)采用接近开关。
37.所述第二读码检测机构(56)包括位于治具(53)与取片机构(52)之间的第二安装板(561)，所述第二安装板(561)侧面固定安装有第二气缸(562)，所述第二气缸(562)动力输出端的安装架上安装有第二读码检测相机(563)，所述第二安装板(561)侧面设置有第二光源(564)，所述第二光源(564)位于第二读码检测相机(563)的拍摄方向。
38.第二气缸(562)带动第二读码检测相机(563)向晶圆方向进行移动，在本实施例中，第二读码检测相机(563)的拍摄方向为向上，即晶圆在第二读码检测相机(563)的上方，当第二读码检测相机(563)移动一定距离后在第二光源(564)的照明下对晶圆进行扫码或者检测，在本实施例中，设定第二读码检测相机(563)进行扫码，第二光源(564)为led灯珠，第二光源(564)还可以为其他可以用于照亮的照明设备。
39.所述第二气缸(562)动力输出端上还设置有第二限位块(566)，所述第二安装板(561)侧面还设置有第二限位器(565)，所述第二限位器(565)与第二限位块(566)位于同一直线上，当第二限位块(566)移动至第二限位器(565)位置后不再移动。
40.当检测或者读码完毕后第二气缸(562)带动第二读码检测相机(563)恢复至初始位过程中，为了控制第二读码检测相机(563)的移动行程，则通过第二限位器(565)来限制第二读码检测相机(563)的移动行程，位于第二气缸(562)动力输出端与第二读码检测相机(563)一起进行移动的第二限位块(566)移动至第二限位器(565)位置后则使第二气缸(562)关闭或者停止运动，使第二读码检测相机(563)移动至预定位置，第二限位器(565)可以为行程开关、接近开关等，在本实施例中，第二限位器(565)采用接近开关。
41.参照图5，所述治具(53)包括设置在机架(51)上的治具本体(531)，所述治具本体(531)上开设有多个用于卡塞(54)放置的放置槽(532)，通过放置槽(532)在一定程度上可以减小卡塞(54)倾倒的风险。
42.本实用新型的工作过程如下：设定第一读码检测机构(55)用于对晶圆的检测，第二读码检测机构(56)对晶圆扫码，在进行使用时，首先将装有晶圆片的卡塞(54)放置在治具(53)上，然后启动取片机构(52)将其中一片晶圆从卡塞(54)中取出，在取出移动过程中晶圆片移动至第一读码检测机构(55)/第二读码检测机构(56)处进行检测/扫码，等检测/扫码完毕后将晶圆重新放入到卡塞(54)中时，将晶圆移动至第二读码检测机构(56)/第一读码检测机构(55)处扫码/检测，等扫码/检测完毕后放入到卡塞(54)中，从而不同人工即可实现自动检测和扫码。
43.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来
说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。