一种2DGa2S3/GaNII型异质结自驱动紫外光探测器

文档序号:34209316发布日期:2023-05-17 19:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,由下往上依次包括:si衬底层、aln/algan缓冲层、u-gan缓冲层和n-gan层;

2.根据权利要求1所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,n-gan层设有孔,2d ga2s3层位于n-gan层孔内,且n-gan层和2d ga2s3层接触;第二金属电位于n-gan层(4)外侧,且第二金属电极与n-gan层接触。

3.根据权利要求1所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,所述si衬底层的厚度为450~460μm。

4.根据权利要求1所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,所述aln/algan缓冲层包括aln层和algan层,所述aln层的厚度为300~400nm;所述algan层的厚度为450~650nm。

5.根据权利要求1所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,所述u-gan缓冲层的厚度为1.0~2.0μm。

6.根据权利要求1所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,所述n-gan层的厚度为140~200nm。

7.根据权利要求1所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,所述2d ga2s3层的厚度为95~105nm。

8.根据权利要求1所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,所述第一金属电极和第二金属电极为ni/au金属层电极,所述ni/au金属层电极包括ni层和au层。

9.根据权利要求8所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,所述ni层和au层的厚度分别为80~120nm。

10.根据权利要求1所述的2d ga2s3/gan ii型异质结自驱动紫外光探测器,其特征在于,所述第二金属电极的截面为矩形。


技术总结
本技术涉及紫外光探测器的技术领域,公开了一种2D Ga<subgt;2</subgt;S<subgt;3</subgt;/GaN II型异质结自驱动紫外光探测器,由下往上依次包括Si衬底层、AlN/AlGaN缓冲层、u‑GaN缓冲层和n‑GaN层;n‑GaN层上方一侧设置有2D Ga<subgt;2</subgt;S<subgt;3</subgt;层等。通过引入2DGa<subgt;2</subgt;S<subgt;3</subgt;层,利用2D Ga<subgt;2</subgt;S<subgt;3</subgt;材料禁带宽度为3.05eV及其天然p型的特点,与n‑GaN层实现II型异质结结构,在界面上形成内建电场,实现自驱动,完成光生载流子的有效分离和传输,产生更大光电流,实现了高响应的紫外探测器;宽带隙材料在同等温度下具有较小的本征载流子浓度,有助于探测器的热载流子浓度保持在一个相当低的水平,减小了器件漏电流的情况。

技术研发人员:王文樑,肖嘉滢
受保护的技术使用者:华南理工大学
技术研发日:20221209
技术公布日:2024/1/12
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