一种自动注水装置的制作方法

本公开涉及半导体，尤其涉及一种自动注水装置。

背景技术：

1、在进行离子注入的过程中，带能量离子束会产生一定的热量，这些热量会影响产品晶圆的质量。在现有技术中，一般会在离子注入机台中设置冷却循环装置，由冷却循环装置中的去离子水将带能量离子束产生的热量带走，以保证产品晶圆的质量。

2、然而，在上述现有技术中，冷却循环装置中的去离子水会因为设备故障或其他因素而消耗，在去离子水的水量少的时候，会大大影响对产品晶圆的冷却效果，造成产品晶圆表面实际温度升高，但温度控制系统不能实时检测到产品晶圆表面温度异常的情况，从而导致产品晶圆损坏甚至报废。

技术实现思路

1、本公开提供了一种自动注水装置，以至少解决现有技术中存在的以上技术问题。

2、本公开提供的一种自动注水装置，包括：冷却循环组件、逻辑门电路和去离子水补给组件；所述冷却循环组件包括储水箱、第一液位浮球开关和第二液位浮球开关，所述第一液位浮球开关和所述第二液位浮球开关固定连接于所述储水箱的内部，所述第一液位浮球开关与所述逻辑门电路的第一输入接口电路连接，所述第二液位浮球开关与所述逻辑门电路的第二输入接口电路连接；所述去离子水补给组件包括去离子水源和注水通道，所述注水通道的一端与所述去离子水源固定连接，所述注水通道的另一端与所述储水箱固定连接，所述注水通道上设置有第一电磁阀开关，所述逻辑门电路的输出接口与所述第一电磁阀开关电路连接。

3、在一可实施方式中，所述第一液位浮球开关固定连接于所述储水箱内部的第一位置，所述第二液位浮球开关固定连接于所述储水箱内部的第二位置，所述第一位置低于所述第二位置。

4、在一可实施方式中，所述逻辑门电路为或门。

5、在一可实施方式中，所述储水箱的一侧开设有注水口，所述注水通道的另一端与所述注水口固定连接。

6、在一可实施方式中，所述储水箱的另一侧开设有出水口。

7、在一可实施方式中，所述冷却循环组件还包括防漏盘，所述防漏盘设置于所述储水箱的下方，所述防漏盘的上方设置有第三液位浮球开关；所述注水通道上还设置有第二电磁阀开关；所述第三液位浮球开关与所述第二电磁阀开关电路连接。

8、在一可实施方式中，所述第二电磁阀开关的一端通过所述注水通道与所述去离子水源固定连接，所述第二电磁阀开关的另一端通过所述注水通道与所述第一电磁阀开关固定连接。

9、在一可实施方式中，所述冷却循环组件还包括直流电源，所述直流电源分别与所述第一液位浮球开关、第二液位浮球开关和第三液位浮球开关电路连接。

10、在一可实施方式中，所述直流电源的电压为24伏。

11、在一可实施方式中，所述第一电磁阀开关和所述第二电磁阀开关为24伏电磁阀开关。

12、本公开的一种自动注水装置，在冷却循环组件的储水箱中设置第一液位浮球开关和第二液位浮球开关，第一液位浮球开关低于第二液位浮球开关，第一液位浮球开关与逻辑门电路的第一输入接口电路连接，第二液位浮球开关与逻辑门电路的第二输入接口电路连接，若储水箱中去离子水的水位低于第一液位浮球开关，则第一输入接口和第二输入接口均输入高电平，逻辑门电路的输出接口输出高电平，控制第一电磁阀开关开启，通过注水通道为储水箱中注入去离子水；若储水箱中的水位高于第一液位浮球开关，且低于第二液位浮球开关，则第一输入接口输入低电平，第二输入接口输入高电平，逻辑门电路的输出接口输出高电平，第一电磁阀开关仍然开启，继续通过注水通道为储水箱中注入去离子水；若储水箱中的水位高于第二液位浮球开关，则第一输入接口和第二输入接口均输入低电平，逻辑门电路的输出接口输出低电平，控制第一电磁阀开关关闭，停止为储水箱中注入去离子水。由此，可以实现在储水箱中的去离子水的水量少的时候，自动为储水箱中注入去离子水，减少由于去离子水的水量少，造成产品晶圆表面实际温度升高，但温度控制系统不能实时检测到产品晶圆表面温度异常的情况，从而进一步保证产品晶圆的质量。

13、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种自动注水装置，其特征在于，所述装置包括：冷却循环组件、逻辑门电路和去离子水补给组件；

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一液位浮球开关(2)固定连接于所述储水箱(1)内部的第一位置，所述第二液位浮球开关(3)固定连接于所述储水箱(1)内部的第二位置，所述第一位置低于所述第二位置。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述逻辑门电路为或门。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述储水箱(1)的一侧开设有注水口(11)，所述注水通道(8)的另一端与所述注水口(11)固定连接。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述储水箱(1)的另一侧开设有出水口(15)。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述冷却循环组件还包括防漏盘(12)，所述防漏盘(12)设置于所述储水箱(1)的下方，所述防漏盘(12)的上方设置有第三液位浮球开关(13)；所述注水通道(8)上还设置有第二电磁阀开关(14)；所述第三液位浮球开关(13)与所述第二电磁阀开关(14)电路连接。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第二电磁阀开关(14)的一端通过所述注水通道(8)与所述去离子水源(6)固定连接，所述第二电磁阀开关(14)的另一端通过所述注水通道(8)与所述第一电磁阀开关(7)固定连接。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述冷却循环组件还包括直流电源(10)，所述直流电源(10)分别与所述第一液位浮球开关(2)、第二液位浮球开关(3)和第三液位浮球开关(13)电路连接。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述直流电源(10)的电压为24伏。

10.根据权利要求6至9任一项所述的装置，其特征在于，所述第一电磁阀开关(7)和所述第二电磁阀开关(14)为24伏电磁阀开关。

技术总结
本公开提供了一种自动注水装置，涉及半导体技术领域。本公开的一种自动注水装置，包括：冷却循环组件、逻辑门电路和去离子水补给组件；冷却循环组件包括储水箱、第一液位浮球开关和第二液位浮球开关，第一液位浮球开关和第二液位浮球开关固定连接于储水箱的内部，第一液位浮球开关与逻辑门电路的第一输入接口电路连接，第二液位浮球开关与逻辑门电路的第二输入接口电路连接；去离子水补给组件包括去离子水源和注水通道，注水通道的一端与去离子水源固定连接，注水通道的另一端与储水箱固定连接，注水通道上设置有第一电磁阀开关，逻辑门电路的输出接口与第一电磁阀开关电路连接。由此，可以在去离子水量少的时候，自动为储水箱中注入去离子水。

技术研发人员：李岩,林洪辉,齐玉
受保护的技术使用者：杭州富芯半导体有限公司
技术研发日：20221229
技术公布日：2024/1/15