一种清洗机槽体自动转动盖机构的制作方法

本技术涉及半导体制造设备，具体为一种清洗机槽体自动转动盖机构。

背景技术：

1、随着器件尺寸缩小到深亚微米级，半导体制造中有效的湿法清洗工艺对于去除晶圆表面上的残留污染物至关重要。goi强烈依赖于氧化前的晶片清洁度，不同的污染物对器件可靠性有不同的影响，硅表面上的颗粒导致低击穿场和低产量，有机污染物降低了氧化速率和氧化物质量，金属污染将导致低击穿场和高结漏电流、增加的氧化物陷阱，这导致少数载流子寿命降低、阈值电压偏移以及由此导致的热载流子退化。

2、现有的清洗技术中，晶圆在清洗过程中，所用清洗药液一般分为：酸、碱、有机和无机药液。根据清洗工艺还分为室温和高温清洗。尤其是在高温状态下清洗晶圆，酸、碱、有机溶液都有着不同程度的挥发，挥发的药液不仅对人体有害，对设备也有腐蚀作用。为进一步减少药液挥发，在清洗槽上部加装自动转动盖机构，提高设备的安全性。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种清洗机槽体自动转动盖机构，以解决上述背景技术提出的目前市场上的晶圆清洗机使用过程中腐蚀性药剂挥发量大的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种清洗机槽体自动转动盖机构，包括槽体、前支撑板、前带座轴承、前转动轴、前转动轴连杆、转动轴联接板、槽盖安装板、后转动轴、后支撑板、后带座轴承、摆动臂、气缸、气缸座、气缸座安装板、槽盖，所述槽体为长方形槽状体，槽盖为长方形片状体，数量为两个，位于槽体上部，并将槽体覆盖，槽盖安装板为条形体结构，位于槽盖顶部侧方，转动轴联接板为条形体结构，位于槽盖安装板两侧下方，前支撑板为片状体结构，前带座轴承位于前支撑板中部，前转动轴位于前带座轴承中部，前转动轴连杆一段连接前转动轴的轴心，另一端连接一侧转动轴联接板底部，后支撑板为片状体结构，后带座轴承位于后支撑板外侧，后转动轴一端与一侧后支撑板底部连接，另一侧穿过后支撑板及后带座轴承，并与后带座轴承连接，摆动臂为l形条形体结构，一端与后转动轴顶部连接，另一端与气缸顶部连接，气缸座为折角形片状体结构，位于气缸底部，气缸座安装板为片状体结构，与气缸座连接。

3、优选的，所述前带座轴承为圆形，前支撑板为圆形片状体结构；所述后带座轴承为方形，后支撑板为方形片状体结构；

4、优选的，所述前支撑板与周围设备壳体固定连接。

5、优选的，所述后支撑板与周围设备壳体固定连接。

6、优选的，所述气缸座安装板与周围设备壳体固定连接。

7、将安装好的槽盖作为水平基准，调整到闭合状态，将气缸调整到最大行程后，将气缸安装座焊在设备机壳上，焊接完成后即可锁紧摆动臂，左右两侧安装相同。安装完毕后接通压缩空气，气缸最小行程位置槽盖开启，气缸最大行程位置槽盖闭合。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该清洗机槽体自动转动盖机构：

9、1.设备中安装的槽盖在使用时可以使清洗槽在大部分时间内保持封闭状态，有效降低有害气体对周围设备及人员的侵害。

10、2.本技术中槽盖的开合由气缸行程进行调节，而气缸可由远程自动进行充气及放气的操控，使清洗槽附近不必安置操作员，有效防止人员与有毒气体液体的接触；

11、3.本技术中由槽盖安装板和转动轴联接板带动槽盖进行运动，而槽盖安装板和转动轴联接板由气缸进行带动，只需调节气缸行程，即可控制槽盖的开合角度，使用过程更方便。

技术特征：

1.一种清洗机槽体自动转动盖机构，其特征在于，包括槽体、前支撑板、前带座轴承、前转动轴、前转动轴连杆、转动轴联接板、槽盖安装板、后转动轴、后支撑板、后带座轴承、摆动臂、气缸、气缸座、气缸座安装板、槽盖，所述槽体为长方形槽状体，槽盖为长方形片状体，数量为两个，位于槽体上部，并将槽体覆盖，槽盖安装板为条形体结构，位于槽盖顶部侧方，转动轴联接板为条形体结构，位于槽盖安装板两侧下方，前支撑板为片状体结构，前带座轴承位于前支撑板中部，前转动轴位于前带座轴承中部，前转动轴连杆一段连接前转动轴的轴心，另一端连接一侧转动轴联接板底部，后支撑板为片状体结构，后带座轴承位于后支撑板外侧，后转动轴一端与一侧后支撑板底部连接，另一侧穿过后支撑板及后带座轴承，并与后带座轴承连接，摆动臂为l形条形体结构，一端与后转动轴顶部连接，另一端与气缸顶部连接，气缸座为折角形片状体结构，位于气缸底部，气缸座安装板为片状体结构，与气缸座连接。

2.根据权利要求1所述的一种清洗机槽体自动转动盖机构，其特征在于：所述前带座轴承为圆形，前支撑板为圆形片状体结构；所述后带座轴承为方形，后支撑板为方形片状体结构；所述前支撑板与周围设备壳体固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种清洗机槽体自动转动盖机构，其特征在于：所述后支撑板与周围设备壳体固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种清洗机槽体自动转动盖机构，其特征在于：所述气缸座安装板与周围设备壳体固定连接。

技术总结
本技术公开了一种清洗机槽体自动转动盖机构，包括槽体、前后支撑板、前后带座轴承、前后转动轴、前转动轴连杆、转动轴联接板、槽盖安装板、摆动臂、气缸、槽盖等部件，所述槽体为长方形槽状体，槽盖为长方形片状体，数量为两个，位于槽体上部，并将槽体覆盖，槽盖安装板为条形体结构，位于槽盖顶部侧方，本机构安装好的槽盖作为水平基准，调整到闭合状态，气缸安装在设备机壳上，气缸最小行程位置槽盖开启，气缸最大行程位置槽盖闭合。本机构中槽盖的开合由气缸行程进行调节，而气缸可由远程自动进行充气及放气的操控，即防止晶圆清洗机使用过程中腐蚀性药剂挥发量大的问题，又有效防止人员与有毒气体液体的接触。

技术研发人员：李勇刚,周浩,刘凯,张萍,李玉萍
受保护的技术使用者：河北广创电子科技有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12