发射器及具备其的装置的制作方法

本发明涉及发射器及具备其的装置。

背景技术：

1、发射器是发射电子束的器件，例如搭载于电子显微镜及半导体检查装置。作为发射器的一个方式，已知有热场发射发射器。该发射器具备绝缘子、一对端子、拱状的灯丝、和固定于灯丝的电子源。专利文献1公开了涉及用于电子显微镜、电子束曝光机等的热场放射阴极的发明。在该文献的图2中图示了具备钨芯片1、钨丝3、绝缘子4、和一对金属支柱5的热场放射阴极。专利文献2的图7a中也图示了相同构成的发射器。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开平6-76731号公报

5、专利文献2：日本特开2003-331714号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、热场发射发射器所具备的灯丝在运行时被加热至1800k左右，因此电子源会因灯丝的热变形而位移。电子源的过度位移会导致以下课题。即，即使在加热前对电子源相对于发射器所具备的抑制电极的孔或引出电极的孔的同轴性进行了调整，若电子源因加热而过度位移，则也会丧失同轴性。由此，可能对电子发射特性、以及电子束的照射方向及照射位置产生不良。

3、本发明提供由电子源的位移引起的电子束的照射方向及照射位置的偏差充分小的发射器及具备其的装置。

4、用于解决课题的手段

5、本发明的一个方面涉及的发射器具备：绝缘子；相对于绝缘子相互分离地安装的一对端子；以拱形安装于一对端子间的至少一根灯丝；和固定于灯丝的电子源。上述灯丝在与电子源的接点和与端子的接点之间具有弯曲部。灯丝具有弯曲部，从而能够缓和由热变形引起的应力，能够抑制电子源的位移。

6、在一对端子位于下方、电子源位于一对端子的上方的朝向上配置发射器的状态下，从侧方观察发射器时，优选灯丝至少具有从与端子的接点向上方延伸的第一部分、从第一部分弯曲并向斜上方延伸的第二部分、和从第二部分弯曲并向上方延伸的第三部分。通过第三部分向上方延伸，从而具有容易将电子源固定于第三部分的优点。

7、从侧方观察与上述相同朝向上配置的发射器时，灯丝与电子源的接点的位置从端子与灯丝的接点的位置在水平方向上偏移100μm以上是优选的。通过采用相关的构成，从而从上方观察发射器时，能够将电子源配置于一对端子之间的中心位置。

8、本发明中，电子源的材料是例如选自由稀土类硼化物、高熔点金属及其氧化物、碳化物及氮化物、以及贵金属-稀土类系合金组成的组中的一种材料。

9、本发明的一个方面涉及的装置具备上述发射器。作为具备发射器的装置，例如可举出电子显微镜、半导体制造装置、检查装置及加工装置。

10、发明的效果

11、根据本发明，能够提供由电子源的位移引起的电子束的照射方向及照射位置的偏差充分小的发射器及具备其的装置。

1.发射器，其具备：

2.如权利要求1所述的发射器，其中，在所述一对端子位于下方、所述电子源位于所述一对端子的上方的朝向上配置该发射器的状态下，从侧方观察该发射器时，

3.如权利要求1或2所述的发射器，其中，在所述一对端子位于下方、所述电子源位于所述一对端子的上方的朝向上配置该发射器的状态下，从侧方观察该发射器时，

4.如权利要求1～3中任一项所述的发射器，其中，所述电子源的材料是选自由稀土类硼化物、高熔点金属及其氧化物、碳化物及氮化物、以及贵金属-稀土类系合金组成的组中的一种材料。

5.具备权利要求1～4中任一项所述的发射器的装置。