晶舟及晶舟用板件的制作方法

本公开的技术思想涉及一种晶舟及晶舟用板件。

背景技术：

1、在制造太阳能电池时，为了在晶圆(或者，基板)表面形成预定的物质层，经过各种薄膜沉积工艺，诸如rpcvd(减压化学气相沉积)、apcvd(大气压化学气相沉积)、pecvd(等离子体增强化学气相沉积)等。这种工艺是在多个晶圆统一执行。也就是说，将多个晶圆一次性放入腔室内，可对于多个晶圆同时执行薄膜沉积等。这是因为具有可容纳各种晶圆的空间的所谓称为晶舟的支撑装置才可实现。

2、晶舟包括由诸如石墨的导电性材料构成的多个板件，在多个板件至少具有3个销，分别用于支撑晶圆。至少3个销配置成分别与晶圆的不同侧部边缘接触，晶圆被容纳及支撑在至少3个销之间。

3、因为如上所述的晶舟容纳、支撑晶圆的结构，在腔室内执行工艺过程中因为高温膨胀加重晶圆弯曲现象的同时晶圆卡在或者脱离于特定销。另外，在装载及卸载晶圆的过程中因为销而受到干扰。这种现象不仅引起晶圆的破损，还引起工艺的中断，因此需要可防止这些现象的新结构的晶舟。

技术实现思路

1、(要解决的问题)

2、本公开的技术思想要实现的技术课题为，提供一种晶舟及晶舟用板件，缓解在太阳能电池制造工艺中出现的晶圆弯曲现象，防止因为破损与在传送过程发生的振动导致晶圆脱离的同时可稳定支撑、传送晶圆。

3、本公开的技术思想要实现的技术课题不限于在以上提及的课题，未提及的其他课题，所属领域的技术人员可从以下的记载中明确理解。

4、(解决问题的手段)

5、为了达到如上所述的目的，根据本公开的技术思想的一方面，公开一种晶舟，包括：至少一个板件，装载多个晶圆；及多个销对，在所述至少一个板件沿着第一方向排列，并且分别支撑所述多个晶圆中的相对应的晶圆。

6、根据示例性的实施例，所述第一方向可以是排列所述多个晶圆的方向；所述多个销对中的任意一个销对的销的连接线的方向与所述第一方向可构成预定的角度。

7、根据示例性的实施例，所述任意一个销对的销以所述至少一个板件的一边缘为准可分别在相互不同的水平上。

8、根据示例性的实施例，所述任意一个销对的销可位于满足如下数学式的间隔距离的位置：

9、(数学式)

10、

11、在此，da为从在所述相对应的晶圆的顶点中与所述板件的下侧边缘最接近的顶点至任意一个销的距离，db为从所述顶点至另一个销的距离，lw为所述相对应的晶圆的一边的长度，θt可以是所述相对应的晶圆的倾斜角度。

12、根据示例性的实施例，所述任意一个销对的销可分别与所述相对应的晶圆的边缘中的相邻的边缘接触。

13、根据示例性的实施例，所述多个销对中的任意一个销对的销可分别与所述相对应的晶圆点接触或者线接触。

14、根据示例性的实施例，所述至少一个板件可包括多个开口，所述多个开口与所述多个晶圆相对应。

15、根据示例性的实施例，所述多个销对中的任意一个销对的销与所述多个开口中的相对应的开口的外缘可平行配置。

16、根据示例性的实施例，在所述至少一个板件构成有多个的情况下，在彼此相邻的板件分别排列的多个销对中的至少一部分可不相互重叠。

17、根据本公开的技术思想的另一方面，公开一种板件，装载多个晶圆，包括：多个销对，在所述板件中沿着所述多个晶圆的排列方向排列，并且分别以与所述多个晶圆的排列方向相互不同的一方向支撑在所述多个晶圆中相对应的晶圆。

18、根据示例性的实施例，所述多个销对中的任意一个销对的销的连接线的方向可与所述多个晶圆的排列方向构成预定角度，而且可与所述另一方向垂直。

19、根据示例性的实施例，所述任意一个销对的销以所述至少一个板件的一边缘为准可分别在不同的水平上。

20、根据示例性的实施例，所述任意一个销对的销可分别与在所述相对应的晶圆的边缘中的彼此相邻的边缘接触。

21、根据示例性的实施例，所述多个销对中的任意一个销对的各个销可与所述相对应的晶圆点接触或者线接触。

22、根据示例性的实施例，所述板件还可包括多个开口，所述多个开口与所述多个晶圆相对应。

23、根据示例性的实施例，在所述多个销对中的任意一个销对的销可与所述多个开口中相对应的开口的外缘平行配置。

24、(发明的效果)

25、根据本公开的实施例的晶舟及晶舟的板件包括一对销，作为用于支撑一个晶圆的支撑部件。

26、通过一对销将接触最小化的同时支撑晶圆，进而在高温的太阳能电池制造工艺中可缓解因为晶圆的热膨胀引起的晶圆弯曲、翘曲现象等，据此不仅防止晶圆的破损、龟裂、脱离，还能够防止工艺执行中断等。

27、另外，在晶圆的装载、卸载步骤中可减少干扰，因此使得用于装载、卸载晶圆的机器人动线的设计及控制等变得容易。

28、根据本公开的技术思想的实施例可获取的效果不限于在以上提及的，而未提及的其他效果可被在本公开所属技术领域中具有通常知识的技术人员明确理解。

1.一种晶舟，包括：

2.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的晶舟，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的晶舟，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的晶舟，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的晶舟，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，

10.一种板件，装载多个晶圆，其特征在于，包括：

11.根据权利要求10所述的板件，其特征在于，

12.根据权利要求11所述的板件，其特征在于，

13.根据权利要求11所述的板件，其特征在于，

14.根据权利要求9所述的板件，其特征在于，

15.根据权利要求10所述的板件，其特征在于，还包括：

16.根据权利要求15所述的板件，其特征在于，