固态摄像装置的制作方法

本技术涉及固态摄像装置。

背景技术：

1、近年来，针对在车载相机、iot(物联网：internet of things)设备、医疗设备等中使用的固态摄像装置，正在开发一种偏振成像技术，在该偏振成像中，利用包含来自被摄体的光的偏振信息的多维信息来执行摄像。为了获得用于这种偏振成像的偏振信息，在某些情况下已经使用了具有偏振光(polarized-light)分离功能的超构表面结构(metasurfacestructure)。

2、引用文献列表

3、专利文献

4、专利文献1：日本专利申请特开第2020-051868号公报

技术实现思路

1、要解决的技术问题

2、然而，在利用常规的超构表面结构时，在有光沿倾斜方向入射到像素区域的光入射面上的情况下，不能将该光会聚到各像素的中央处。换言之，利用该超构表面结构不能执行出射光瞳校正(exit pupil correction)。

3、鉴于上述情形，本发明提供了一种具有超构表面结构的固态摄像装置，通过利用所述超构表面结构，即使有光沿着倾斜方向入射至像素区域上也能够将光会聚到各像素的中央。

4、解决问题的技术方案

5、根据本发明一个方面的固态摄像装置包括：像素区域，所述像素区域包括多个像素；和偏振控制元件，所述偏振控制元件被设置在所述像素区域的有入射光入射的入射面上方，且所述偏振控制元件包括与所述入射面大致平行地呈二维状布置的多个微细结构体(microstructure)。这里，在与所述像素区域内所包含的第一像素对应的所述多个微细结构体之中，第一微细结构体的在所述入射光的第一偏振方向上的长度是最大的，并且所述第一微细结构体在所述第一像素中的位置依赖于从所述像素区域的中心到所述第一像素的距离。

6、从所述第一微细结构体在所述第一像素中的所述位置到所述第一像素的中心的距离随着从所述像素区域的中心到所述第一像素的距离的增大而变大。

7、从所述第一微细结构体在所述第一像素中的所述位置到所述第一像素的中心的距离随着所述入射光的相对于与所述入射面垂直的方向的倾斜角的增大而变大。

8、在与所述像素区域内所包含的第二像素对应的所述多个微细结构体之中，第二微细结构体的在所述入射光的与所述第一偏振方向大致正交的第二偏振方向上的长度是最大的，并且所述第二微细结构体在所述第二像素中的位置依赖于从所述像素区域的中心到所述第二像素的距离。

9、从所述第二微细结构体在所述第二像素中的所述位置到所述第二像素的中心的距离随着从所述像素区域的中心到所述第二像素的距离的增大而变大。

10、从所述第二微细结构体在所述第二像素中的所述位置到所述第二像素的中心的距离随着所述入射光的相对于与所述入射面垂直的方向的倾斜角的增大而变大。

11、在所述第一像素中，所述多个微细结构体在所述第一偏振方向上的长度随着离所述第一微细结构体的距离的增大而变短。

12、在所述第二像素中，所述多个微细结构体在所述第二偏振方向上的长度随着离所述第二微细结构体的距离的增大而变短。

13、从所述第一微细结构体离开每当一个给定距离时，所述多个微细结构体的在所述第一偏振方向上的长度就恢复到等于所述第一微细结构体的长度。

14、从所述第二微细结构体离开每当一个给定距离时，所述多个微细结构体的在所述第二偏振方向上的长度就恢复到等于所述第二微细结构体的长度。

15、在与所述像素区域内所包含的第三像素对应的所述多个微细结构体之中，第三微细结构体的在所述入射光的从所述第一偏振方向及所述第二偏振方向倾斜的第三偏振方向上的长度是最大的，并且所述第三微细结构体在所述第三像素中的位置依赖于从所述像素区域的中心到所述第三像素的距离。

16、从所述第三微细结构体在所述第三像素中的所述位置到所述第三像素的中心的距离随着从所述像素区域的中心到所述第三像素的距离的增大而变大。

17、从所述第三微细结构体在所述第三像素中的所述位置到所述第三像素的中心的距离随着所述入射光的相对于与所述入射面垂直的方向的倾斜角的增大而变大。

18、所述固态摄像装置还包括：设置于所述入射面上方且层叠起来的多个偏振控制元件。

技术特征：

1.固态摄像装置，包括：

2.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

3.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

4.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

5.根据权利要求4所述的固态摄像装置，其中，

6.根据权利要求4所述的固态摄像装置，其中，

7.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

8.根据权利要求4所述的固态摄像装置，其中，

9.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

10.根据权利要求4所述的固态摄像装置，其中，

11.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

12.根据权利要求11所述的固态摄像装置，其中，

13.根据权利要求11所述的固态摄像装置，其中，

14.根据权利要求1所述的固态摄像装置，还包括：

技术总结
[要解决的问题]本发明旨在提供一种具有即使有光沿着倾斜方向入射到像素区域上也能够将光会聚到各像素的中央处的超构表面结构的固态摄像装置。[解决方案]根据本发明实施方案的固态摄像装置包括：像素区域，所述像素区域包括多个像素；和偏振控制元件，所述偏振控制元件被设置在所述像素区域的有入射光入射的入射面上方，且所述偏振控制元件包括与所述入射面大致平行地呈二维状布置的多个微细结构体。而且，在与所述像素区域内所包含的第一像素对应的所述多个微细结构体之中，第一微细结构体的在所述入射光的第一偏振方向上的长度是最大的，并且所述第一微细结构体在所述第一像素中的位置依赖于从所述像素区域的中心到所述第一像素的距离。

技术研发人员：森田博纪,秋叶朗
受保护的技术使用者：索尼集团公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/12