树脂密封装置及树脂密封方法与流程

本发明涉及一种树脂密封装置及树脂密封方法。

背景技术：

1、已知有一种对搭载于基材上的电子组件进行树脂密封的树脂密封装置。在这种树脂密封装置中，有时在装置内会产生由粒子(树脂粉或异物等尘埃)引起的污染，而存在对将电子组件进行树脂密封的成形品的可靠性造成影响的情况。为了防止这种由粒子引起的污染，例如，专利文献1中公开了一种树脂模塑装置，其包括：压制部，包括夹持工件及模塑树脂进行树脂密封的模塑模具；以及清洁装置，对搬送至压制部的工件的背面进行清洁。

2、[现有技术文献]

3、[专利文献]

4、[专利文献1]日本专利特开2021-178411号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、粒子不仅会附着于工件背面，也有附着于工件表面或搬送工件的装载机抓手等的可能性。而且，粒子除了可附着于树脂密封前的工件以外，存在在树脂密封的工件的成形品的状态下也可附着的可能性。

3、本发明是鉴于这种情况而完成，本发明的目的在于提供一种可抑制粒子的附着而实现经树脂密封的成形品的品质的提高的树脂密封装置及树脂密封方法。

4、[解决问题的技术手段]

5、本发明的一实施例的树脂密封装置对包括基材及电子组件的工件的电子组件进行树脂密封，其包括树脂成形单元，所述树脂成形单元通过压缩成形对工件的电子组件进行树脂密封，树脂成形单元包括：树脂密封模具，包括上模及下模；以及清洁器部，包括设置于将工件搬送至树脂密封模具中的装载机抓手的搬送路径上的集尘口，清洁器部在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出成形后的工件而在搬送路径上移动时，对在搬送路径上移动的装载机抓手及工件的至少一者执行清洁动作。

6、根据所述形态，在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出工件而在搬送路径上移动时，对装载机抓手及工件的至少一者执行清洁动作。因此，可有效地抑制粒子附着于工件或装载机抓手的情况，从而实现成形品的品质的提高。

7、本发明的另一实施例的树脂密封方法是对包括基材及电子组件的工件的电子组件进行树脂密封的树脂密封方法，其包括：通过装载机抓手将工件供给至树脂密封模具；利用树脂密封模具对电子组件进行树脂密封；以及通过装载机抓手从树脂密封模具中取出经树脂密封的成形后的工件，所述树脂密封方法还包括：在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出成形后的工件而在搬送路径上移动时，对在搬送路径上移动的装载机抓手或工件执行清洁动作。

8、根据所述形态，在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出工件而在搬送路径上移动时，对装载机抓手及工件的至少一者执行清洁动作。因此，可有效地抑制粒子附着于工件或装载机抓手的情况，从而提高成形品的品质。

9、[发明的效果]

10、根据本发明，可抑制粒子的附着而实现经树脂密封的成形品的品质的提高。

技术特征：

1.一种树脂密封装置，其对包括基材及电子组件的工件的所述电子组件进行树脂密封，

2.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

3.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

4.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

5.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

6.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

7.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

8.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

9.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

10.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中

11.根据权利要求1至10中任一项所述的树脂密封装置，其中

12.根据权利要求1至10中任一项所述的树脂密封装置，其中

13.一种树脂密封方法，其对包括基材及电子组件的工件的所述电子组件进行树脂密封，所述树脂密封方法包括：

技术总结
本发明涉及一种树脂密封装置及树脂密封方法。本发明的树脂密封装置包括通过压缩成形对工件的电子组件进行树脂密封的树脂成形单元，树脂成形单元、树脂成形单元包括：树脂密封模具，包括上模及下模；以及清洁器部，包括集尘口，所述集尘口设置于将工件搬送至树脂密封模具中的装载机抓手的搬送路径上，清洁器部在装载机抓手为了将工件供给至树脂密封模具而在搬送路径上移动时、及在装载机抓手为了从树脂密封模具中取出成形后的工件而在搬送路径上移动时，对在搬送路径上移动的装载机抓手及工件的至少一者执行清洁动作。

技术研发人员：田上秀作,柳泽诚
受保护的技术使用者：山田尖端科技株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15