阵列基板及其制备方法、显示面板与流程

本发明涉及显示，尤其涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板。

背景技术：

1、随着显示技术的发展，显示面板的应用也越来越广泛，相应的显示面板的要求也越来越高。

2、然而，现有的显示面板在显示时容易出现显示不均的现象，严重影响显示效果。

技术实现思路

1、本发明提供了一种阵列基板及其制备方法、显示面板，以解决显示面板显示不均的问题。

2、根据本发明的一方面，提供了一种阵列基板，所述阵列基板包括：

3、衬底；所述衬底上形成有像素驱动电路，所述像素驱动电路包括电容，所述电容包括：

4、第一电容极板，设于所述衬底上；

5、第二电容极板，设于所述第一电容极板远离所述衬底的一侧；沿所述阵列基板的厚度方向，所述第二电容极板与所述第一电容极板至少部分相对；

6、所述阵列基板还包括层间绝缘层，设于所述第一电容极板与所述第二电容极板之间，所述层间绝缘层对应所述电容的部分形成有至少两个凹槽。

7、可选地，所述层间绝缘层为无机层、有机层或者有机层与无机层的叠层结构。

8、可选地，所述至少两个凹槽的尺寸相同。

9、可选地，所述阵列基板还包括贯穿所述层间绝缘层的通孔；

10、所述凹槽的尺寸与所述通孔的尺寸相同。

11、可选地，所述至少两个凹槽呈阵列排布。

12、可选地，所述第一电容极板为与所述衬底平行的平面结构，所述第二电容极板为沿所述至少两个凹槽的内壁延伸的弯折结构。

13、可选地，所述像素驱动电路还包括薄膜晶体管，

14、所述第一电容极板与所述薄膜晶体管的栅极同层设置，所述第二电容极板与所述薄膜晶体管的源漏极同层设置。

15、根据本发明的另一方面，提供了一种显示面板，所述显示面板包括上述的阵列基板。

16、根据本发明的另一方面，提供了一种阵列基板的制备方法，用于制备上述的阵列基板，所述阵列基板的制备方法包括：

17、于所述衬底上形成所述第一电容极板；

18、形成覆盖所述第一电容极板的所述层间绝缘层；

19、于所述层间绝缘层对应所述电容的部分形成至少两个所述凹槽；

20、于所述层间绝缘层上形成所述第二电容极板。

21、可选地，所述层间绝缘层为无机层，所述于所述层间绝缘层对应所述电容的部分形成至少两个所述凹槽包括：

22、对所述无机层进行半刻以形成至少两个所述凹槽；

23、或者，所述层间绝缘层为有机层，所述于所述层间绝缘层对应所述电容的部分形成至少两个所述凹槽包括：

24、对所述有机层进行半刻以形成至少两个所述凹槽；

25、或者，所述层间绝缘层为有机层和无机层的叠层结构，所述于所述层间绝缘层对应所述电容的部分形成至少两个所述凹槽包括：

26、对所述叠层结构中的一部分膜层进行全刻，并保留所述叠层结构中的另一部分膜层，以形成至少两个所述凹槽，其中，全刻的膜层为所述叠层结构中距离所述衬底最远的膜层开始向靠近所述衬底的方向进行刻蚀的至少一个膜层。

27、可选地，所述阵列基板还包括贯穿所述层间绝缘层的通孔；

28、所述阵列基板的制备方法还包括：

29、利用尺寸监控设备监控所述通孔的尺寸。

30、本发明实施例的技术方案，采用的阵列基板包括衬底；衬底上形成有像素驱动电路，像素驱动电路包括电容，电容包括：第一电容极板，设于衬底上；第二电容极板，设于第一电容极板远离衬底的一侧；沿阵列基板的厚度方向，第二电容极板与第一电容极板至少部分相对；阵列基板还包括层间绝缘层，设于第一电容极板与第二电容极板之间，层间绝缘层对应电容的部分形成有至少两个凹槽。通过设置至少两个凹槽，使得每个凹槽制作时精度均较高，使得不同像素驱动电路中电容的差异较小，进而能够改善显示面板显示不均的问题。

31、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括：

2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述层间绝缘层为无机层、有机层或者有机层与无机层的叠层结构。

3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述至少两个凹槽的尺寸相同。

4.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括贯穿所述层间绝缘层的通孔；

5.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述至少两个凹槽呈阵列排布。

6.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一电容极板为与所述衬底平行的平面结构，所述第二电容极板为沿所述至少两个凹槽的内壁延伸的弯折结构。

7.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括权利要求1-6任一项所述的阵列基板。

8.一种阵列基板的制备方法，用于制备权利要求1-6任一项所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板的制备方法包括：

9.根据权利要求8所述的阵列基板的制备方法，其特征在于，

10.根据权利要求8所述的阵列基板的制备方法，其特征在于，所述阵列基板还包括贯穿所述层间绝缘层的通孔；

技术总结
本发明公开了一种阵列基板及其制备方法、显示面板。所述阵列基板包括：衬底；所述衬底上形成有像素驱动电路，所述像素驱动电路包括电容，所述电容包括：第一电容极板，设于所述衬底上；第二电容极板，设于所述第一电容极板远离所述衬底的一侧；沿所述阵列基板的厚度方向，所述第二电容极板与所述第一电容极板至少部分相对；所述阵列基板还包括层间绝缘层，设于所述第一电容极板与所述第二电容极板之间，所述层间绝缘层对应所述电容的部分形成有至少两个凹槽。本发明能够改善显示不均的现象。

技术研发人员：许传志,谢正芳,金玉,宋艳芹,胡思明
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11